一种ITO薄膜LED芯片及其制造方法

    公开(公告)号:CN108269895A

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201711399169.9

    申请日:2017-12-22

    IPC分类号: H01L33/14 H01L33/22 H01L33/00

    摘要: 本发明提供一种ITO薄膜LED芯片及其制造方法,包括在GaAs衬底一侧设置第一外延层、MQW多量子阱有源层和第二外延层,第一外延层设置外延生长缓冲层、n-AIGaInP限制层,第二外延层设置p-AIGaInP限制层和p-GaP窗口层。p-GaP窗口层上制作ITO薄膜层,ITO薄膜层上制作金属电极层,GaAs衬底另一侧设置n电极层,p-GaP窗口层的掺杂浓度不低于1×1018cm-3。本发明公开一种ITO薄膜LED芯片及其制造方法,采用可粗化窗口层,既作为电流注入层又作为粗化层,分区域粗化,没有被粗化的部分作为电流注入的主要通道,粗化的区域一部分同电极连接,另一部分同ITO薄膜连接。

    一种电极无损伤且易焊线的GaAs基LED芯片的制备方法

    公开(公告)号:CN107221584A

    公开(公告)日:2017-09-29

    申请号:CN201710398206.8

    申请日:2017-05-31

    IPC分类号: H01L33/00 H01L33/38 H01L21/02

    摘要: 一种电极无损伤且易焊线的GaAs基LED芯片的制备方法,包括如下步骤:a)在GaAs衬底上生长外延层;b)在膜光刻腐蚀制成电极图形;c)沉积Au膜;d)生长出Au膜作为N电极;e)对膜进行腐蚀,形成P电极。通过先在外延片表面制备并腐蚀有电极图形的膜,再在膜上沉积Au膜形成P电极,整个GaAs基LED芯片生产过程中不需使用胶,因此有效降低了有机物的擦刘,避免了现有技术中化学药品对电极表面的损失以及电极制备后作业过程对电极表面的划伤,且最终P电极制备前使用腐蚀液对腐蚀膜且对电极表面进行了无机溶剂的清洗使表面更洁净更易焊线,焊线不需要大压力即可焊接,避免了现有技术制备的GaAs基LED芯片难焊线、电极表面异常的问题。

    一种带ITO薄膜结构的LED芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN105895771A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610410954.9

    申请日:2016-06-13

    发明人: 张银桥 潘彬

    IPC分类号: H01L33/38 H01L33/00

    摘要: 本发明公开了一种带ITO薄膜结构的LED芯片及其制备方法,属于半导体发光二极管领域,该方法是先制成发光二极管的外延片,然后在外延片上制作出图案化的介质膜层,经过蚀刻制作出图案化的ITO薄膜层和p?GaP窗口层;在图案化的ITO薄膜层和p?GaP窗口层上制作金属电极层,金属电极层包括主电极和扩展电极。本发明采用图案化的ITO薄膜层和p?GaP窗口层作为接触层,其中作为焊盘的主电极连接在p?GaP窗口层上,扩展电极连接在ITO薄膜层上。本发明提高了整个金属电极层的附着性,确保发光器件工作电压稳定,提高产品的焊线可靠性,极大地提升了产品的质量和良率。