公开(公告)号：CN107077999B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201580050418.6

申请日：2015-07-10

申请人： 索尼公司

发明人： 盛田伸也

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/051 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2001/0078

摘要： 本发明涉及一种静电驱动型开关装置和包括该开关装置的电子设备。该开关装置包括：可移动电极，其具有第一可移动电极片、第二可移动电极片和可移动接触点；包括第一固定电极片和第二固定电极片的第一固定电极；包括第三固定电极片和第四固定电极片的第二固定电极；第一固定接触点；第二固定接触点；和弹性支撑部。为了迅速执行开关的切换操作，第一固定电极片以比第二固定电极片与第一可移动电极片之间的间隙窄的间隙与第一可移动电极片相对，第三固定电极片以比第四固定电极片与第二可移动电极片之间的间隙窄的间隙与第二可移动电极片相对。

公开(公告)号：CN101501805A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200780029558.0

申请日：2007-07-24

申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司

发明人： A·希尔格斯

IPC分类号： H01H57/00 ,  H01H59/00 ,  H01H61/02 ,  H01H1/50

CPC分类号： H01H57/00 ,  H01H1/50 ,  H01H59/0009 ,  H01H61/02 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2057/006 ,  H01H2061/006 ,  H03H9/02417

摘要： 提出的本发明申请描述了基于微机电系统(MEMS)技术的新颖结构的极小自锁定开关部件。常规的MEMS开关需要连续的控制信号，以便获得期望的活动(开关)状态。所提出的发明仅需要短的控制信号(非锁定键)，例如脉冲，以便将该部件开启和/或关断。根据所提出的MEMS器件的扩展，可以忽略去控制信号上的RF噪声(纹波)或反弹效应。这使得电子电路的设计更容易且特别是更鲁棒，并且增强了功能。

公开(公告)号：CN1942987A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200680000146.X

申请日：2006-03-20

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  奥克泰克有限公司

发明人： 林圣人 ,  八壁正巳 ,  长谷部铁也 ,  原田宗生 ,  奥村胜弥

IPC分类号： H01H1/26 ,  B81B7/04 ,  B81B3/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/014 ,  B81B2203/053 ,  H01H1/24 ,  H01H37/46 ,  H01H67/22 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2037/008

摘要： 在上部基板(15)的下表面的绝缘膜(14)上设有第一布线层(16)，在下部基板(11)上的绝缘膜(12)上设有与第一布线层(16)立体交差的第二布线层(13)，使悬臂(17)的一端与第一布线层(16)连接，使悬臂(17)的另一端与第二布线层(13)间隔相对。在上部基板(15)上配置覆盖贯通孔(18)的热可塑性片材(19)，通过用加热的销(20)将热可塑性片材(19)压向悬臂(17)来使之变形，并维持悬臂(17)与第二布线层(13)的连接状态，从而闭合开关(10)。

公开(公告)号：CN1733591A

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN200510091476.1

申请日：2005-08-12

申请人： 施乐公司

发明人： K·A·格尔曼 ,  P·M·古尔文 ,  J·A·库比

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C5/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  G02B6/3566 ,  G02B6/3574 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  H01H50/005 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2037/008 ,  H01H2061/006

摘要： 利用可调节压缩器将处在非弯曲状态的基本为直线的梁压缩而使该梁弯曲。此可调节压缩器将力加到梁的一端或两端，并限制对梁的压缩，使梁在第一弯曲状态和第二弯曲状态之间运动。第一弯曲状态和第二弯曲状态是大小基本相等而方向相反的远离非弯曲状态的弯曲运动。

公开(公告)号：CN1695233A

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN02826975.6

申请日：2002-11-08

申请人： 图恩斯通系统公司 ,  维斯普瑞公司

发明人： 肖恩·J·坎宁安 ,  斯韦特兰娜·塔蒂克-卢奇克

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/4763 ,  H01P1/10 ,  H01H57/00 ,  H02B1/00

CPC分类号： B81B3/0024 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/0015 ,  B81C2201/0107 ,  B81C2201/0108 ,  B81C2201/0109 ,  H01H1/04 ,  H01H1/504 ,  H01H59/0009 ,  H01H61/04 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2001/0089 ,  H01H2059/0072 ,  H01H2061/006 ,  H01L23/3735 ,  H01L23/522 ,  H01L27/1203 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H02N1/006 ,  H02N10/00 ,  Y10T29/49222 ,  H01L2924/00

摘要： 一种用于制造三层横梁MEMS器件的方法，包括：在衬底上淀积牺牲层(310)，和移去牺牲层(310)上的第一导电层的一部分来形成第一导电微型结构(312)；在第一导电微型结构(312)、牺牲层(310)和衬底(300)上淀积结构层(322)，并且形成一个穿过结构层(322)到达第一导电微型结构(312)的通路；在结构层(322)上和通路中淀积第二导电层(336)；通过移去第二导电层(336)的一部分来形成第二导电微型结构(324)，其中第二导电微型结构(324)通过该通路与第一导电微型结构(312)电通信；并且移去足够量的牺牲层(310)以使第一导电微型结构(312)和该衬底分开，其中在第一端由衬底支撑结构层(322)且在相对的第二端在衬底的上方自由悬挂。

公开(公告)号：CN1668957A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN01814923.5

申请日：2001-07-11

申请人： 亚利桑那州立大学

发明人： 阮梅春 ,  申军 ,  C·惠尔勒

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/02 ,  G02B6/35

CPC分类号： G02B6/3596 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H01H50/005 ,  H01H67/22 ,  H01H2001/0042

摘要： 一种新颖光学开关装置及其操作方法，通过应用光信号限束通道克服了对准问题。所述光信号限束通道埋置后可将光信号限制于所需的传播通路，使光信号与输出端可靠地对准。利用小角镜把光信号导入预定的光信号限束通道，实现期望的光学切换。小角镜可以是锁定微镜或非锁定微镜，可由静电驱动、热驱动或电磁驱动或者任意其他技术控制。

公开(公告)号：CN1378224A

公开(公告)日：2002-11-06

申请号：CN01140877.4

申请日：1997-08-26

申请人： 欧姆龙株式会社

发明人： 坂田稔 ,  中岛卓哉 ,  积知范 ,  藤原照彦 ,  竹内司

IPC分类号： H01H57/00

CPC分类号： H01H1/0036 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/016 ,  B81B2207/095 ,  B81C2203/0118 ,  H01H1/20 ,  H01H9/52 ,  H01H57/00 ,  H01H59/0009 ,  H01H61/02 ,  H01H67/22 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2057/006 ,  H01H2061/006

摘要： 一种电子部件,使玻璃材料制成的盖罩与硅材料制成的底座连接和集成,对与基片上的内部部件组装的电子器件芯片进行树脂模塑,从而用模塑覆盖盖罩,暴露底座底表面。借助设置在盖罩的通孔,内部部件与基片的外接线端电连接。在暴露于基片之外的底座底表面上设置散热片。这样可以获得易于辐射热量的电子部件,并且能够防止发生故障和工作特性的改变。

公开(公告)号：CN101714410B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200910168520.2

申请日：2005-05-20

申请人： 卡文迪什动力有限公司

发明人： 罗伯特·卡津齐

IPC分类号： G11C23/00 ,  H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  G11C23/00 ,  H01H2001/0042

摘要： 本发明涉及控制微机械元件的装置与方法。本发明具体提供了一种利用非易失存储器装置的方法，该非易失存储器装置具有微机械元件、接触电极和切换电极，该方法包括：向该切换电极加载第一偏压电压；将该微机械元件从与该接触电极隔开的第一状态运动到与该接触电极接触并与该切换电极隔开第一距离的第二状态；向该切换电极加载第二偏压电压；将微机械元件运动到与该切换电极隔开第二距离的位置，该第二距离小于该第一距离；将加载到该切换电极上的该偏压电压转换到第三偏压电压；和将微机械元件运动到该第一状态。为了提高本发明的效力，还提供了一种用于非易失存储器装置的短路电路和一种电路。

公开(公告)号：CN100405121C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN01814923.5

申请日：2001-07-11

申请人： 亚利桑那州立大学

发明人： 阮梅春 ,  申军 ,  C·惠尔勒

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/02 ,  G02B6/35 ,  H01H51/00

CPC分类号： G02B6/3596 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085 ,  H01H50/005 ,  H01H67/22 ,  H01H2001/0042

摘要： 一种光学开关装置及其操作方法，通过应用光信号限束通道克服了对准问题。所述光信号限束通道埋置后可将光信号限制于所需的传播通路，使光信号与输出端可靠地对准。利用小角镜把光信号导入预定的光信号限束通道，实现期望的光学切换。小角镜可以是锁定微镜或非锁定微镜，可由静电驱动、热驱动或电磁驱动或者任意其他技术控制。

公开(公告)号：CN1979715A

公开(公告)日：2007-06-13

申请号：CN200610164502.3

申请日：2006-12-06

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 福田宏 ,  峰利之

IPC分类号： H01H59/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  H01H2001/0042 ,  H01H2001/0063

摘要： 本发明提供一种双稳态MEMS开关，其小型、结构简单、可低电压驱动、保持状态长期稳定、且和半导体集成电路的混载容易。包括：衬底(101)、与上述衬底(101)隔着空气隙(103)地设置并由静电力引起弹性形变的膜片(134)、设置于衬底(101)的开关驱动电极(102)、以及设置于膜片(134)的开关驱动电极107。并且，电荷蓄积电极(105)位于开关驱动电极(102)和开关驱动电极(107)之间，并设置于膜片(134)。当在电荷蓄积电极(105)上蓄积了电荷时，电荷蓄积电极(105)和开关驱动电极(102)之间产生静电力(F)，膜片(134)变形。