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公开(公告)号:CN117775731A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202410008152.X
申请日:2024-01-02
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: B65G49/07
Abstract: 本申请涉及半导体检测线技术领域,公开了上下料装置及其使用方法,在上下料装置中,由移动车承载存料机构、取放料机构和直角坐标式上下料机构移动调整位置,使得上下料装置可以移动至待上下料的外部的检测设备,并为该设备上下料;在半导体检测线扩产或缩减时,仅需上下料装置移动至扩产或缩减后的半导体检测线,为检测设备上下料作业;上下料装置使用时无须在使用场所安装、拆除,可根据半导体检测线扩产或缩减灵活调整移动距离,极大的提高了半导体检测线扩产或缩减的便利性。
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公开(公告)号:CN116047127A
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202310001481.7
申请日:2023-01-03
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种探针升降装置及探针台。本发明的探针升降装置包括固定座、电机、第一偏心轮、第二偏心轮和调节座;电机设置于固定座上,电机包括电机轴;第一偏心轮套设于电机轴上,并能够与电机轴同步转动;第二偏心轮包括主体部和连接轴,主体部套设于第一偏心轮,第二偏心轮与第一偏心轮转动连接;调节座用于连接探针,并能够调节探针的位置,调节座与固定座沿设定方向滑动连接,连接轴与调节座转动连接,以使电机轴的转动能够带动调节座沿设定方向的移动。该探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合,将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动,传动的误差较小,调节座的运动精度较高。
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公开(公告)号:CN114883239A
公开(公告)日:2022-08-09
申请号:CN202210568824.3
申请日:2022-05-24
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本发明公开了一种调整铁环角度及铁环转移装置的技术方案。一种铁环角度调节机构,所述铁环承载有LED晶粒,所述铁环转移机构包括,设置有承载平面的角度调节机构,能够将放置于承载平面的铁环通过旋转进行角度调节;所述角度调节机构还包括连接于承载平面的升降组件,用于实现对承载平面高度调节;设置有调位顶杆的支撑部分布于角度调节机构沿水平方向两侧,且支撑部的距离小于铁环直径;所述调位顶杆沿竖直方向延伸并分别连接有直线驱动部,使调位顶杆能够在水平方向运动;当铁环放置于支撑部时,直线驱动部使调位顶杆运动并止抵于铁环边沿,从而使铁环的中心于承载平面的旋转中心重合;使用该铁环角度调节机构的铁环转移装置。
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公开(公告)号:CN109560032B
公开(公告)日:2024-12-17
申请号:CN201811550143.4
申请日:2018-12-18
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种取料装置。所述取料装置包括,安装板;第一调节部,通过第一滑轨连接于安装板,第一滑轨限定第一调节部沿第一方向a运动;第二调节部,通过第二滑轨连接于第一调节部,第二滑轨限定第二调节部相对于第一调节部沿第一方向a运动;所述第二调节部安装有取料部;所述第一调节部安装有第一滚轮和第二滚轮,所述第一滚轮和第二滚轮通过第一皮带连接,所述第一滚轮和第二滚轮之间为第一皮带第一传动部分和第二传动部分;第一皮带第一传动部分通过第一固定部固定于安装板,第一皮带第二传动部分通过第二固定部固定于第二调节部。
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公开(公告)号:CN118893022A
公开(公告)日:2024-11-05
申请号:CN202411378469.9
申请日:2024-09-30
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: B07C5/36
Abstract: 本发明公开了一种分选设备,涉及半导体生产设备技术领域,其中,分选设备包括机座、换片装置和多个分选装置,多个分选装置间隔设置于机座,换片装置活动地设置于机座,且换片装置能运动至任意一个分选装置的上方,换片装置包括安装架、驱动机构和活动设置于安装架的夹爪机构,安装架具有至少三个容置位,各容置位均用于存放料片;在换片装置处于任意一个分选装置的上方时,驱动机构能驱动夹爪机构运动,以将经对应的分选装置分选后的料片转运至其中一个容置位,并随后将另一个容置位处待分选的料片转运至分选装置。本发明提供的技术方案能够解决现有的分选机的分选效率低的技术问题。
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公开(公告)号:CN116713965A
公开(公告)日:2023-09-08
申请号:CN202310648771.0
申请日:2023-06-02
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种打点器,包括:外壳,具有运动腔,所述外壳具有第一磁极;运动件,设置于所述运动腔中;通电线圈,设置于所述运动腔中,所述通电线圈围绕于所述运动件,所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场,且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换;当所述通电线圈产生所述第一磁场时,所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极;当所述通电线圈产生所述第二磁场时,所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极,所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。本发明的打点器,能够具有较高的打点效率。
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公开(公告)号:CN114236185A
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN202010940852.4
申请日:2020-09-09
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电激元器件光信号采集装置。所述电激元器件光信号采集装置包括,固定连接于机架的测试电极,用于对电激元器件导通电流;支撑部,沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极;采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式,便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度,从而保证测试的准确度。
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公开(公告)号:CN118893022B
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202411378469.9
申请日:2024-09-30
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: B07C5/36
Abstract: 本发明公开了一种分选设备,涉及半导体生产设备技术领域,其中,分选设备包括机座、换片装置和多个分选装置,多个分选装置间隔设置于机座,换片装置活动地设置于机座,且换片装置能运动至任意一个分选装置的上方,换片装置包括安装架、驱动机构和活动设置于安装架的夹爪机构,安装架具有至少三个容置位,各容置位均用于存放料片;在换片装置处于任意一个分选装置的上方时,驱动机构能驱动夹爪机构运动,以将经对应的分选装置分选后的料片转运至其中一个容置位,并随后将另一个容置位处待分选的料片转运至分选装置。本发明提供的技术方案能够解决现有的分选机的分选效率低的技术问题。
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公开(公告)号:CN109018801B
公开(公告)日:2024-04-30
申请号:CN201810932767.6
申请日:2018-08-16
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可移动式料架。包括:安装台;放料部,通过第一滑轨连接于安装台,所述放料部能够相对于安装台沿第一方向a运动;所述放料部能够放置多个沿第一方向a排列的料盒;第一运料部,包括定料部和第一本体,所述定料部与第一本体连接;所述第一本体通过第二滑轨连接于安装台,所述第一运料部能够相对于安装台沿第二方向b运动;满足多种设备的取料和放料需求,节省料架占用空间,提升多台多种设备的生产效率。
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公开(公告)号:CN222599788U
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202421009877.2
申请日:2024-05-10
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Inventor: 沈杰
Abstract: 本实用新型公开了一种测试系统。测试系统包括测试装置和多个输送装置,测试装置包括支撑平台和测试组件,支撑平台设置有沿第一方向延伸的通孔。输送装置包括第一移动组件和承载件,承载件用于承载芯片,第一移动组件与承载件连接,第一移动组件能够驱使承载件沿第一方向和第二方向运动,第二方向垂直于第一方向。将芯片上料至承载件,承载件沿第二方向运动至与通孔对应,并沿第一方向进入通孔内到达测试工位,即可与测试装置配合进行芯片的测试。测试完成后,承载件沿第一方向离开通孔,测试装置无需为上料和下料进行避位。且多个输送装置的承载件能够交替进入通孔内以进行芯片检测,使得测试工序紧凑,提高测试效率。
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