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公开(公告)号：CN118507398A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410979057.4
申请日：2024-07-22
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本申请涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种打点机校准方法、装置、设备及存储介质，打点机校准设备包括：上位机、相机和打点机，所述打点机校准方法包括：通过所述上位机控制所述打点机的钼丝连续下压预设次数，以在测试晶圆片上打出多个墨点；通过所述相机采集所述晶圆片的墨点图像，并通过所述上位机基于所述墨点图像确定各所述墨点各自的墨点面积；通过所述上位机将各所述墨点面积与预设面积进行比较以获得比较结果，并通过所述上位机根据比较结果对所述打点机进行校准。采用本申请能够提高打点机打点的一致性。
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公开(公告)号：CN116713965A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310648771.0
申请日：2023-06-02
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种打点器，包括：外壳，具有运动腔，所述外壳具有第一磁极；运动件，设置于所述运动腔中；通电线圈，设置于所述运动腔中，所述通电线圈围绕于所述运动件，所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场，且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换；当所述通电线圈产生所述第一磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极；当所述通电线圈产生所述第二磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极，所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。本发明的打点器，能够具有较高的打点效率。
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公开(公告)号：CN219768256U
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202321386176.6
申请日：2023-06-02
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种打点器，包括：外壳，具有运动腔，所述外壳具有第一磁极；运动件，设置于所述运动腔中；通电线圈，设置于所述运动腔中，所述通电线圈围绕于所述运动件，所述通电线圈能够产生第一磁场和第二磁场，且所述通电线圈能够使所述第一磁场和所述第二磁场互相转换；当所述通电线圈产生所述第一磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第一磁极和第二磁极；当所述通电线圈产生所述第二磁场时，所述通电线圈使所述运动件的顶端和底端分别具有所述第二磁极和所述第一磁极，所述第一磁极的磁性与所述第二磁极的磁性相反。本实用新型的打点器，能够具有较高的打点效率。
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