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发明公开
打点机校准方法、装置、设备及存储介质无效

公开(公告)号：CN118507398A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410979057.4

申请日：2024-07-22

Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

Inventor： 黄艺谦 , 吴小明 , 黄小文 , 陈朝巍 , 杨应俊 , 李龙

IPC: H01L21/67 , G06T7/00 , G06T7/62 , G01B11/28

Abstract: 本申请涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种打点机校准方法、装置、设备及存储介质，打点机校准设备包括：上位机、相机和打点机，所述打点机校准方法包括：通过所述上位机控制所述打点机的钼丝连续下压预设次数，以在测试晶圆片上打出多个墨点；通过所述相机采集所述晶圆片的墨点图像，并通过所述上位机基于所述墨点图像确定各所述墨点各自的墨点面积；通过所述上位机将各所述墨点面积与预设面积进行比较以获得比较结果，并通过所述上位机根据比较结果对所述打点机进行校准。采用本申请能够提高打点机打点的一致性。

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