公开(公告)号：CN114883239A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202210568824.3

申请日：2022-05-24

Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

Inventor： 沈杰 ,  周颖达 ,  刘锋强

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明公开了一种调整铁环角度及铁环转移装置的技术方案。一种铁环角度调节机构，所述铁环承载有LED晶粒，所述铁环转移机构包括，设置有承载平面的角度调节机构，能够将放置于承载平面的铁环通过旋转进行角度调节；所述角度调节机构还包括连接于承载平面的升降组件，用于实现对承载平面高度调节；设置有调位顶杆的支撑部分布于角度调节机构沿水平方向两侧，且支撑部的距离小于铁环直径；所述调位顶杆沿竖直方向延伸并分别连接有直线驱动部，使调位顶杆能够在水平方向运动；当铁环放置于支撑部时，直线驱动部使调位顶杆运动并止抵于铁环边沿，从而使铁环的中心于承载平面的旋转中心重合；使用该铁环角度调节机构的铁环转移装置。

公开(公告)号：CN217879503U

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202221253948.4

申请日：2022-05-24

Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

Inventor： 沈杰 ,  周颖达 ,  刘锋强

IPC: G01R31/26 ,  G01R31/01 ,  G01R1/02

Abstract: 本实用新型公开了一种铁环翻转机构、芯粒测试设备及芯粒测试自动线。一种铁环翻转机构包括，旋转驱动部，连接于枢接轴；用于驱动枢接轴旋转运动；与枢接轴连接的、用于固定铁环的限位部；所述限位部包括双向气缸，以及分别连接于双向气缸且相对设置的止抵部，通过所述双向气缸使相对设置的止抵部靠近止抵于铁环；一种芯粒测试设备，设置有所述的铁环翻转机构；一种芯粒测试自动线包括有多台上述芯粒测试设备；实现铁环从竖直放置到水平放置的切换，结构简单可靠。