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公开(公告)号：CN110577077B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN201810589246.5
申请日：2018-06-08
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了具有缓存区的物料传送设备、物料传送系统及其组装方法，解决了常见对原机台设备进行工业4.0改造时,改造成本较高的问题，其技术方案要点是，包括：机台；设于所述机台上的传送装置，所述机台上设有至少两个用于暂存产品的缓存区，所述缓存区设置于所述机台的一侧或两侧，所述传送装置可延伸出所述机台至少一个缓存区的长度；以及，滑动式设置于所述传送装置上、受所述传送装置驱动以输送产品的机械手装置，达到改造成本低，组线较为灵活，较大地降低了成本的目的。
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公开(公告)号：CN109560032B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN201811550143.4
申请日：2018-12-18
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种取料装置。所述取料装置包括，安装板；第一调节部，通过第一滑轨连接于安装板，第一滑轨限定第一调节部沿第一方向a运动；第二调节部，通过第二滑轨连接于第一调节部，第二滑轨限定第二调节部相对于第一调节部沿第一方向a运动；所述第二调节部安装有取料部；所述第一调节部安装有第一滚轮和第二滚轮，所述第一滚轮和第二滚轮通过第一皮带连接，所述第一滚轮和第二滚轮之间为第一皮带第一传动部分和第二传动部分；第一皮带第一传动部分通过第一固定部固定于安装板，第一皮带第二传动部分通过第二固定部固定于第二调节部。
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公开(公告)号：CN110749421B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201810820024.X
申请日：2018-07-24
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种发光器件测试一体机，包括机座和安装座，所述安装座沿其长度方向依次设有用于检验发光件束腰半径的近场测试组件、用于测试发光件发散角的远场测试组件和用于测试发光件波长亮度的积分球，所述机座上设有用于承载发光件的载片台、用于与发光件电极接触的测试针、以及用于驱动所述安装座沿其长度方向移动的第一驱动机构，将发光件安装在载片台后，使发光件的电极与测试针相接触，第一驱动机构驱动安装座在机座上沿安装座长度方向移动，使近场测试组件、远场测试组件和积分球分别正对载片台上发光件进行测试，以便对发光件的多种光参数进行测试；根据需要发光件的光参数测试种类，在安装座上依次安装不同的测试组件，省时省力。
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公开(公告)号：CN108615697B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201611129319.X
申请日：2016-12-09
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种自动上下芯片装置，其包括上片模块、下片模块、传动模块、机械手模块和压片模块，所述上片模块与所述下片模块相对设置，且均包括用于放置芯片的料盒和升降电机，所述升降电机驱动所述料盒沿第一方向上升或下降，所述传动模块分别与所述上片模块和所述下片模块连接，所述机械手模块由所述传动模块驱动从而在所述上片模块的料盒和所述下片模块的料盒之间往复运动，同时将上片模块中芯片的取出并将其放入下片模块，所述压片模块设置于所述机械手模块运动区域上方预定的距离。发明提供的自动上下芯片装置能够极大提高所述待检测芯片的测试效率，还解决了翘曲度较大的芯片无法真空吸附牢固的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111086906A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911173373.8
申请日：2019-11-26
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法。一种分选膜放置芯粒的位置校正方法，能够相对于视觉系统运动的分选膜设置有放置芯粒的位置标记，位置固定的视觉系统通过所述位置标记确定分选膜运动到放置芯粒的位置；分选膜通过上述的分选膜放置芯粒的位置校正方法到达放置芯粒的位置，所述分选膜沿第一运动路径抵靠于搬运部上的芯粒，使芯粒在对应位置标记处粘附于分选膜；通过采用视觉系统校正位置标记提升粘附芯粒的位置精度。
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公开(公告)号：CN210239454U
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201920641422.5
申请日：2019-05-07
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: E05F17/00
Abstract: 本实用新型公开了一种双向门控制机构。所述双向门控制机构包括，机架；第一导杆，连接于机架；第二导杆，平行于第一导杆并连接于机架；第一滑动门，同时连接于第一导杆和第二导杆，所述第一滑动门能够沿第一导杆和第二导杆限定的方向运动；第二滑动门，同时连接于第一导杆和第二导杆，所述第二滑动门能够沿第一导杆和第二导杆限定的方向运动；皮带传动结构，包括能够传动的皮带，第一滑动门固定于皮带，所述第二滑动门固定于皮带，所述第一滑动门运动带动皮带运动，所述皮带运动带动第二滑动门沿第一滑动门运动的反方向运动。
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公开(公告)号：CN210428089U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201921565213.3
申请日：2019-09-20
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型公开了一种曝光灯及光刻机。所述曝光灯包括，箱体，包括容纳腔及出光口；光源部，容纳并设置于容纳腔，所述光源部产生的光源能够沿出光口照射出；所述容纳腔内依次设置有第一凸透镜部、科勒矩阵透镜组和第二凸透镜部；所述光源部发出的光线依次经过第一凸透镜部、科勒矩阵透镜组和第二凸透镜部最终从出光口照射出。
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公开(公告)号：CN210876319U
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201921571581.9
申请日：2019-09-20
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
Abstract: 本实用新型提出了一种分选机。所述分选机，用于将芯粒分类，包括，取料部，包括能够吸附芯粒的吸嘴；接料部，包括能粘附芯粒的蓝膜；所述蓝膜连接于第一驱动部，所述第一驱动部能够带动蓝膜远离/靠近吸嘴，将吸嘴上的芯粒粘附于蓝膜；用蓝膜整体顶靠吸嘴上的芯粒，使芯粒充分接触并粘附于蓝膜；采用蓝膜整体抵靠芯粒的技术方案能够减小蓝膜受局部挤压变形而造成蓝膜扩张不均匀影响芯粒的粘附效果及粘附位置变化，增强芯粒粘附于蓝膜的稳定性，提升分选效率。
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公开(公告)号：CN210429754U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201921571299.0
申请日：2019-09-20
Applicant: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本实用新型提出一种蓝膜固定结构。一种蓝膜固定结构，所述蓝膜固定于铁环上，通过铁环实现对蓝膜的固定，所述固定结构包括，本体；第一夹块，通过第一导向轴滑动连接于本体，所述第一夹块能够沿第一导向轴远离/靠近本体，所述第一夹块与本体之间设置有第一弹性元件，所述第一弹性元件使第一夹块贴合于本体；第二夹块，通过第二导向轴滑动连接于本体，所述第二夹块能够沿第二导向轴远离/靠近本体，所述第二夹块与本体之间设置有第二弹性元件，所述第二弹性元件使第二夹块贴合于本体；所述第一导向轴平行于第二导向轴，所述第一夹块在第一弹性元件作用下将铁环的第一端抵压于本体；所述第二夹块在第二弹性元件作用下将铁环的第二端抵压于本体。
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