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    检查装置及检查方法
    1.
    发明授权
    检查装置及检查方法 有权

    公开(公告)号：CN111564384B

    公开(公告)日：2023-04-18

    申请号：CN202010418363.2

    申请日：2016-01-08

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 铃木信介 ,  寺田浩敏 ,  松田俊辅

    IPC: H01L21/66 ,  H01L23/544 ,  B23K26/03 ,  B23K26/70

    Abstract: 检查装置具备：激光光源；将激光从金属层侧照射至半导体设备的激光标记用光学系统；通过控制激光光源来控制激光标记的控制部；在基板侧检测来自半导体设备的光并输出光学反射像的二维照相机；及生成半导体设备的图案图像的解析部；控制部以直至标记像显现于图案图像为止进行激光标记的方式控制激光光源。

    半导体器件检查方法及半导体器件检查装置
    2.
    发明公开
    半导体器件检查方法及半导体器件检查装置 有权

    公开(公告)号：CN114096863A

    公开(公告)日：2022-02-25

    申请号：CN202080049599.1

    申请日：2020-05-19

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 寺田浩敏 ,  岩城吉刚

    IPC: G01R31/302 ,  G01R31/26 ,  G01N21/956

    Abstract: 本发明的半导体器件检查方法具备：检测来自半导体器件(D)中的多个位置的光，取得分别与该多个位置相对应的波形的步骤；自分别与多个位置相对应的波形提取与特定的时序相对应的波形，基于提取的波形生成与特定的时序相对应的图像的步骤；以及基于与特定的时序相对应的图像中的亮度分布相关值提取特征点，基于该特征点，特定半导体器件中的驱动元件的位置的步骤。

    光学单元及光学单元的调节方法
    3.
    发明公开
    光学单元及光学单元的调节方法 无效

    公开(公告)号：CN109073872A

    公开(公告)日：2018-12-21

    申请号：CN201780025847.7

    申请日：2017-02-28

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 寺田浩敏 ,  松田俊辅 ,  伊东克秀

    IPC: G02B21/00 ,  G02B13/00 ,  G02B21/36

    Abstract: 光学单元(1)包括：将由光学显微镜(2)形成的一次成像面在摄像装置(3)侧的二次成像面上中继的中继光学系统(5)；配置在中继光学系统(5)间的光轴上的光学元件保持器(6)；在比光学元件保持器(6)更靠前级侧的光轴上配置场镜(16)的场镜配置部(7)；和在比光学元件保持器(6)更靠后级侧的光轴上可插拔地配置伯特兰透镜(19)的伯特兰透镜插拔部(8)。

    固体浸没透镜保持器
    6.
    发明授权
    固体浸没透镜保持器 有权

    公开(公告)号：CN101688963B

    公开(公告)日：2012-02-29

    申请号：CN200880021184.2

    申请日：2008-06-13

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 寺田浩敏 ,  田边浩

    IPC: G02B7/02 ,  G02B7/04 ,  G02B21/00

    CPC classification number: G02B21/33 ,  G01N21/9501 ,  G02B7/022 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/02 ,  G02B21/248

    Abstract: 固体浸没透镜保持器(200)具备：具有保持固体浸没透镜(6)的透镜保持部(60)的保持器主体(8)和用于将该保持器主体(8)安装于物镜(21)的前端部的物镜插座(9)。固体浸没透镜(6)相对于透镜保持部(60)不固定并在自由的状态下被保持。在物镜插座(9)，安装有使保持器主体(8)振动的振动发生部(120)。振动发生部(120)具有保持于马达保持部件(130)的振动马达(140)，在该振动马达(140)的输出轴(141)，安装有在重量上偏向的构造的重物(142)。在振动发生部(120)发生的振动经由物镜插座(9)和保持器主体(8)而传播至固体浸没透镜(6)。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物之间的紧贴性的固体浸没透镜保持器。

    半导体不良分析装置及方法
    7.
    发明授权
    半导体不良分析装置及方法 失效

    公开(公告)号：CN101467056B

    公开(公告)日：2011-11-09

    申请号：CN200680054977.5

    申请日：2006-10-23

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 真岛敏幸 ,  嶋瀬朗 ,  寺田浩敏 ,  堀田和宏

    IPC: G01R31/311 ,  G01N21/956

    CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N2021/95615

    Abstract: 由取得半导体器件的不良观察图像(P2)的检查信息取得部(11)、取得布图信息的布图信息取得部(12)、进行不良分析的不良分析部(13)构成不良分析装置(10)。不良分析部13，使用由多个层的每一层中的配线图案的图案数据组记述半导体器件的多个配线的构成的配线信息，将多个配线中通过分析区域的配线作为不良的候补配线而抽出，并且，在候补配线的抽出中，通过进行使用图案数据组的配线图案的等电位追踪，从而抽出候补配线。由此，实现了能够可靠且高效地进行使用不良观察图像的半导体器件的不良的分析的半导体不良分析装置、不良分析方法、以及不良分析程序。

    显微镜和试料观察方法
    9.
    发明公开
    显微镜和试料观察方法 失效

    公开(公告)号：CN1906520A

    公开(公告)日：2007-01-31

    申请号：CN200580001606.6

    申请日：2005-02-25

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  常盘正治 ,  田边浩 ,  坂本繁

    IPC: G02B21/00

    CPC classification number: G02B21/0016 ,  G02B21/33 ,  Y10S359/90

    Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察：第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。

    扫描型显微镜单元
    10.
    发明公开
    扫描型显微镜单元 有权

    公开(公告)号：CN113631981A

    公开(公告)日：2021-11-09

    申请号：CN202080025051.3

    申请日：2020-03-26

    Applicant: 浜松光子学株式会社

    Inventor： 山下慈郎 ,  田边康行 ,  松田俊辅 ,  寺田浩敏

    IPC: G02B21/00 ,  G01N21/64

    Abstract: 实施方式为安装于显微镜(50)的连接端口(P1)的共聚焦显微镜单元(1)，包括：光源(10a～10d)，其向观察对象的试样(M)输出照射光；光检测器(13a～13d)，其检测根据照射光而从试样产生的观察光；扫描镜(4)，其使照射光在试样(M)上扫描，并将从试样(M)产生的观察光朝向光检测器(13a～13d)引导；扫描透镜(7)，其将由扫描镜(4)扫描的照射光导光至显微镜光学系统，将由显微镜光学系统成像的观察光导光至扫描镜(4)；镜筒(3)，其固定有扫描透镜(7)；配件部(21)，其用于将镜筒(3)安装于连接端口(P1)；和可动部(22)，其以可变更镜筒(3)相对于配件部(21)的角度的方式支撑镜筒(3)。

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