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公开(公告)号:CN107209359B
公开(公告)日:2020-05-22
申请号:CN201680006332.8
申请日:2016-01-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种图像取得装置,具备:空间光调制器,调制照射光;控制部,以在观察对象物形成第1聚光点以及第2聚光点的方式控制调制图案;聚光光学系统,对上述照射光进行聚光;扫描部,在与上述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描上述第1以及第2聚光点的位置;光检测器,检测从上述第1聚光点产生的第1观察光以及从上述第2聚光点产生的第2观察光;上述光检测器具有用于检测上述第1观察光的第1检测区域、用于检测上述第2观察光的第2检测区域,上述光轴的方向上的上述第1聚光点以及第2聚光点的位置互相不同。
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公开(公告)号:CN104246574B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201380020852.0
申请日:2013-04-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B15/00
CPC classification number: G02B17/0896 , G02B3/0081 , G02B5/32 , G02B15/00 , G02B21/002 , G02B27/0025
Abstract: 变焦透镜(10A)具备由SLM或者VFL当中的任一者构成的第一透镜部(12)、光学结合在第一透镜部与焦平面(F)之间并且由SLM或者VFL当中的任一者构成的第二透镜部(14)、以及控制第一、第二透镜部(12,14)的焦点距离的控制部(16)。第一透镜部(12)与第二透镜部(14)的距离以及第二透镜部(14)与焦平面(F)的距离均不变。控制部(16)通过变更第一、第二透镜部(12,14)的焦点距离来使变焦透镜10A的放大倍率发生变化。由此,实现可以简易地构成并且可以缩短变更放大倍率时的所需时间的变焦透镜。
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公开(公告)号:CN104238114B
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201410406348.0
申请日:2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中,在将激光聚光于具有光透过性的介质中,以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式,修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n,将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d,将通过介质(60)而产生的像差设为Δs,则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法
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公开(公告)号:CN103403610B
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201280010047.5
申请日:2012-02-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13306 , G02B26/06 , G02F1/136 , G02F2203/12 , G02F2203/21 , G02F2203/50 , G02F2203/60 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0224 , G03H2225/32 , G09G3/36 , G09G2320/041
Abstract: 本发明所涉及的空间光调制装置(1A)具备相位调制型的空间光调制元件(10)、检测空间光调制元件(10)的温度的温度传感器、将驱动信号(SD)提供给空间光调制元件(10)的控制部(20A)。控制部(20A)具有存储部(22)。存储部(22)存储为了修正空间光调制元件(10)的相位失真而对应于空间光调制元件(10)的N个(N为2以上的整数)温度值进行制作的N个修正用图形。控制部(20A)对应于空间光调制元件(10)的温度值选择一个修正用图形,并根据通过将该一个修正用图形加到所希望的相位图形来进行制作的相位图形生成驱动信号(SD)。由此,既能够抑制动作的延迟又能够抑制伴随于空间光调制元件的温度变化的相位分布失真。
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公开(公告)号:CN105026916A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201480012124.X
申请日:2014-03-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor: 松本直也
CPC classification number: G03H1/0005 , G01N21/6456 , G01N21/6458 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008 , G02B21/16 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/005 , G03H2001/0825
Abstract: 荧光受光装置(1)具备激发光源(10)、对激发光(L1)进行相位调制并获得相位调制光(L2)的相位调制型的空间光调制器(20)、被设置于空间光调制器(20)的后段并将相位调制光(L2)聚光于试样(90)的聚光光学系统(30)、载置试样(90)的试样平台(92)、对通过相位调制光(L2)被聚光于试样(90)从而发生的荧光(L3)进行受光的荧光受光器(40)、将第1CGH显示于空间光调制器(20)的控制部(21)、修正第1CGH的修正部(22)。修正部(22)具备预先取得并容纳荧光受光器(40)固有的每个受光位置的灵敏度信息的受光器固有灵敏度信息容纳部(222)、根据荧光(L3)的强度以及灵敏度信息修正第1CGH并且生成第2CGH的第2全息图生成部(223)。控制部(21)将第2CGH显示于空间光调制器(20)。
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公开(公告)号:CN102138097B
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN200980134183.3
申请日:2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B27/00 , B23K26/064 , B23K26/073
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中,在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中,以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式,修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n,将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d,将通过介质(60)而产生的像差设为Δs,则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。
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公开(公告)号:CN103403610A
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:CN201280010047.5
申请日:2012-02-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13306 , G02B26/06 , G02F1/136 , G02F2203/12 , G02F2203/21 , G02F2203/50 , G02F2203/60 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0224 , G03H2225/32 , G09G3/36 , G09G2320/041
Abstract: 本发明所涉及的空间光调制装置(1A)具备相位调制型的空间光调制元件(10)、检测空间光调制元件(10)的温度的温度传感器、将驱动信号(SD)提供给空间光调制元件(10)的控制部(20A)。控制部(20A)具有存储部(22)。存储部(22)存储为了修正空间光调制元件(10)的相位失真而对应于空间光调制元件(10)的N个(N为2以上的整数)温度值进行制作的N个修正用图形。控制部(20A)对应于空间光调制元件(10)的温度值选择一个修正用图形,并根据通过将该一个修正用图形加到所希望的相位图形来进行制作的相位图形生成驱动信号(SD)。由此,既能够抑制动作的延迟又能够抑制伴随于空间光调制元件的温度变化的相位分布失真。
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公开(公告)号:CN118176452A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202280071824.0
申请日:2022-10-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 显微镜装置具备激励光输出部、光学系统和谐波检测部。激励光输出部输出激励光。激励光的光强度的时间波形包含正弦波的一次函数的n次方根(n为2以上的整数)。激励光的光强度的最大值超过观察对象物的饱和激励强度。光学系统将从激励光输出部输出的激励光照射于观察对象物。通过利用激励光的照射的n光子激励,在观察对象物产生荧光。谐波检测部检测包含于荧光的光强度的时间波形的第2谐波。
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公开(公告)号:CN118176451A
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202280071929.6
申请日:2022-05-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光照射装置具备:光输出部,其输出相干光;以及光学系统,其将从光输出部输出的光照射于对象物。光学系统具有:物镜,其使从光输出部输出的光在对象物聚光;以及偏振光变换部、相位变换部、及环形屏蔽,其设置于光输出部与对象物之间的光路上。偏振光变换部以将输入到偏振光变换部的光变换为角向偏振光而输出的方式构成。相位变换部以将利用螺旋型的相位图案的相位调制赋予输入到相位变换部的光的方式构成。
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公开(公告)号:CN104620163B
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201280075814.0
申请日:2012-09-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , B23K26/03 , B23K26/035 , B23K26/064 , B23K26/08 , B23K26/0622
CPC classification number: G02F1/292 , B23K26/032 , B23K26/035 , B23K26/0622 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/0853 , G02B21/0024 , G02F1/136277
Abstract: 在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中,取得激光的入射图案、以及传播路径上的第1、第2传播介质各个的折射率(步骤S101),设定聚光点的个数以及各聚光点的聚光位置、聚光强度(S104),导出由第1、第2传播介质所得到的像差条件(S107),并考虑像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制图案(S108)。另外,在调制图案的设计中,使用着眼于1个像素的相位值的影响的设计法,并且在评价聚光点的聚光状态时,使用考虑了像差条件的传播函数。由此,可以实现能够适当控制激光的聚光状态的光调制控制方法、程序、装置、以及激光照射装置。
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