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公开(公告)号:CN104094161B
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201280067266.7
申请日:2012-10-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/10 , B23K26/0608 , B23K26/0648 , B29D11/00019 , G01B11/24 , G01J1/4257 , G02B13/18 , G02B27/0927 , G02B27/0955 , H01S3/005 , H01S2301/206
Abstract: 本发明的一个实施方式所涉及的激光整形用光学部件的设计方法测量入射激光的强度分布,就入射激光的短轴方向和长轴方向的各个,从测量的入射激光的强度分布和所期望的强度分布,分别求得一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状,分别进行一对非球面透镜的短轴方向和长轴方向的形状的高次多项式近似,使用修正系数修正短轴方向的高次多项式或长轴方向的高次多项式,并基于修正高次多项式求得一对非球面透镜的形状。
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公开(公告)号:CN101861228B
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN200880116064.0
申请日:2008-08-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/06
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0661 , B23K26/067 , B23K26/355 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置(1),其具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)、聚光光学系统(30)以及遮挡部件(40)。相位调制型的空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光,呈现用于在二维排列的多个像素的每一个上调制激光的相位的全息图,并输出该相位调制后的激光。控制部(22)依次在空间光调制器(20)中呈现多个全息图,利用聚光光学系统(30)使从空间光调制器(20)输出的激光聚光于一定个数M个的聚光位置,并选择性地将该M个聚光位置中的N个聚光位置配置于加工区域(91),从而对加工对象物(90)进行加工。
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公开(公告)号:CN102138097A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200980134183.3
申请日:2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , B23K26/06 , B23K26/073 , H01S3/10
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中,在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中,以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式,修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n,将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d,将通过介质(60)而产生的像差设为Δs,则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。
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公开(公告)号:CN102227667B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN200980147787.1
申请日:2009-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08 , G02B5/28 , B23K26/064
CPC classification number: G02B26/0833 , G02B5/285 , G02F2203/02 , G02F2203/055 , G02F2203/12 , G03B15/02 , G03B15/03 , G03B15/05 , G03B2215/0567 , G03B2215/0571 , G03B2215/0592 , H04N9/3161
Abstract: 本发明涉及光调制装置和激光加工装置。光调制装置(101A)包括:反射型SLM(107),其调制沿按第1方向延伸的第1光路而入射的激光(Lr);电介质多层膜镜(106),形成于使照明光(Li)透射的透光性部件(105)上,将从反射型SLM(107)而入射至前面的激光(Lr)反射到沿与第1方向相交叉的第2方向延伸的第2光路上,并将入射到背面的照明光(Li)在第2光路上透射;聚光透镜(109),从电介质多层膜镜(106)接收照明光(Li)和激光(Lr),并聚光照明光(Li)和激光(Lr)。
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公开(公告)号:CN102137731B
公开(公告)日:2014-01-01
申请号:CN200980133930.1
申请日:2009-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , G02F1/061
CPC classification number: G02B5/32 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/066 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2210/452 , G03H2225/32 , G03H2240/51
Abstract: 本发明涉及激光加工装置以及激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光,分别在二维排列的多个像素中展示调制激光的相位的全息图,并输出该相位调制后的激光。控制部(22)在存在于加工区域的聚光位置上使一部分相位调制后的激光(入射光)作为具有规定的阈值(X)以上的一定的能量的激光(贡献光)而聚光。另一方面,聚光在存在于加工区域的聚光位置上的贡献光以外的激光(不要光)在存在于非加工区域的聚光位置上作为具有不到规定的阈值(X)的能量的多个激光(非贡献光)而被分散并被聚光。
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公开(公告)号:CN102137731A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200980133930.1
申请日:2009-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , G02F1/061
CPC classification number: G02B5/32 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/066 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2210/452 , G03H2225/32 , G03H2240/51
Abstract: 本发明涉及激光加工装置以及激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光,分别在二维排列的多个像素中展示调制激光的相位的全息图,并输出该相位调制后的激光。控制部(22)在存在于加工区域的聚光位置上使一部分相位调制后的激光(入射光)作为具有规定的阈值(X)以上的一定的能量的激光(贡献光)而聚光。另一方面,聚光在存在于加工区域的聚光位置上的贡献光以外的激光(不要光)在存在于非加工区域的聚光位置上作为具有不到规定的阈值(X)的能量的多个激光(非贡献光)而被分散并被聚光。
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公开(公告)号:CN101542355B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200780044127.1
申请日:2007-09-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/09 , G02B5/3025 , G02B21/32 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及一种光束发生装置(1),其具备激光光源(10)和光相位调制元件(15)等。光相位调制元件(15),输入从激光光源(10)输出并经过分光器(14)的相干光,根据该光的光束截面上的位置对该光进行相位调制,并向分光器(14)输出该相位调制后的光。在输入到光相位调制元件(15)的光的光束截面上,在设定以规定位置为原点的极坐标系(r,θ),并且设定由以所述规定位置为中心的p个圆周划分的(p+1)个区域时,在这些(p+1)个区域中,从内侧开始计算的第偶数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ=qθ”表示,从内侧开始计算的第奇数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ=qθ+π”表示。
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公开(公告)号:CN101542355A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200780044127.1
申请日:2007-09-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/09 , G02B5/3025 , G02B21/32 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及一种光束发生装置(1),其具备激光光源(10)和光相位调制元件(15)等。光相位调制元件(15),输入从激光光源(10)输出并经过分光器(14)的相干光,根据该光的光束截面上的位置对该光进行相位调制,并向分光器(14)输出该相位调制后的光。在输入到光相位调制元件(15)的光的光束截面上,在设定以规定位置为原点的极坐标系(r,θ),并且设定由以所述规定位置为中心的p个圆周划分的(p+1)个区域时,在这些(p+1)个区域中,从内侧开始计算的第偶数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ=qθ”表示,从内侧开始计算的第奇数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ=qθ+π”表示。
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公开(公告)号:CN116157224A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202180060829.9
申请日:2021-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor: 伊藤晴康
IPC: B23K26/00
Abstract: 本发明的衰减器装置具备:第1窗口对,其具有一对第1窗口,该一对第1窗口包含以与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第1表面;旋转保持部,其将第1窗口对以第1窗口对可绕光轴旋转的方式保持;第2窗口对,其具有一对第2窗口,该一对第2窗口包含以在与光轴形成布鲁斯特角的方式延伸的一对第2表面;及λ/4相位元件,其当激光的波长设为λ时,对与光学轴平行的偏振光分量和与光学轴正交的偏振光分量之间赋予λ/4的相位差。第2窗口对以如下方式配置,即:从在与光轴平行的方向观察的情况下,透过第2窗口对的P偏振光分量的振动方向相对于λ/4相位元件的光学轴倾斜45度。
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公开(公告)号:CN108886567B
公开(公告)日:2020-09-25
申请号:CN201780018766.4
申请日:2017-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 摄像系统(1A)包括:输出初始脉冲光(Lp)的光源(21);使初始脉冲光(Lp)的偏光面旋转的偏光控制部(22);光脉冲整形部(10A),输入使偏光面旋转后的初始脉冲光(Lp),使具有第1偏光方向的第1脉冲光(Lp1)和具有与第1偏光方向不同的第2偏光方向的第2脉冲光(Lp2)彼此具有时间差而输出;将脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)照射到摄像对象物(B)的照射光学系统(23);基于偏光方向将在摄像对象物(B)反射或透过后的脉冲光(Lp1)、脉冲光(Lp2)分离的光分离元件(24);对分离后的脉冲光(Lp1)进行摄像的摄像部(25);和对分离后的脉冲光(Lp2)进行摄像的摄像部(26)。由此,实现了摄像速度能够进一步高速化的摄像系统和摄像方法。
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