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公开(公告)号：CN109070268A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780020452.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/00
Abstract: 一种激光加工装置，是将激光照射于对象物并进行上述对象物的激光加工的激光加工装置，具备输出上述激光的激光输出部、根据相位图案调制且反射从上述激光输出部输出的上述激光的空间光调制器、和将来自上述空间光调制器的上述激光向上述对象物聚光的物镜，上述空间光调制器具有：上述激光入射的入射面、将从上述入射面入射的上述激光向上述入射面反射的反射面、及配置于上述入射面和上述反射面之间且显示上述相位图案并调制上述激光的液晶层，在上述反射面形成有在彼此不连续的多个波段具有高反射率区域的电介质多层膜。
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公开(公告)号：CN109070268B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201780020452.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/183
Abstract: 一种激光加工装置，是将激光照射于对象物并进行上述对象物的激光加工的激光加工装置，具备输出上述激光的激光输出部、根据相位图案调制且反射从上述激光输出部输出的上述激光的空间光调制器、和将来自上述空间光调制器的上述激光向上述对象物聚光的物镜，上述空间光调制器具有：上述激光入射的入射面、将从上述入射面入射的上述激光向上述入射面反射的反射面、及配置于上述入射面和上述反射面之间且显示上述相位图案并调制上述激光的液晶层，在上述反射面形成有在彼此不连续的多个波段具有高反射率区域的电介质多层膜。
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公开(公告)号：CN101861228B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN200880116064.0
申请日：2008-08-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/06
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0661 , B23K26/067 , B23K26/355 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置(1)，其具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)、聚光光学系统(30)以及遮挡部件(40)。相位调制型的空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光，呈现用于在二维排列的多个像素的每一个上调制激光的相位的全息图，并输出该相位调制后的激光。控制部(22)依次在空间光调制器(20)中呈现多个全息图，利用聚光光学系统(30)使从空间光调制器(20)输出的激光聚光于一定个数M个的聚光位置，并选择性地将该M个聚光位置中的N个聚光位置配置于加工区域(91)，从而对加工对象物(90)进行加工。
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公开(公告)号：CN101889238A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200880119574.3
申请日：2008-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13318 , G02F1/136277 , G02F2203/50 , G09G3/2092 , G09G3/3611 , G09G2300/0491 , G09G2320/02 , G09G2320/0285
Abstract: 本发明涉及相位调制装置以及相位调制方法。即使入射光的条件发生变化，该相位调制装置也能够高精度且简单地进行反射型电寻址空间光调制器的相位调制特性的修正。该LCOS型相位调制装置中，输入部输入输入光的条件，处理部对各像素设定输入值。修正值导出部对应于输入光的条件决定修正条件。控制输入值变换部基于修正条件，将对各像素所设定的输入值变换为修正后输入值。查找表处理部将修正后输入值变换为电压值，并使用相当于变换了的电压值的驱动电压来驱动各像素。
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公开(公告)号：CN101861228A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200880116064.0
申请日：2008-08-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/06
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0661 , B23K26/067 , B23K26/355 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置(1)，其具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)、聚光光学系统(30)以及遮挡部件(40)。相位调制型的空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光，呈现用于在二维排列的多个像素的每一个上调制激光的相位的全息图，并输出该相位调制后的激光。控制部(22)依次在空间光调制器(20)中呈现多个全息图，利用聚光光学系统(30)使从空间光调制器(20)输出的激光聚光于一定个数M个的聚光位置，并选择性地将该M个聚光位置中的N个聚光位置配置于加工区域(91)，从而对加工对象物(90)进行加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102137731B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN200980133930.1
申请日：2009-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , G02F1/061
CPC classification number: G02B5/32 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/066 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2210/452 , G03H2225/32 , G03H2240/51
Abstract: 本发明涉及激光加工装置以及激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光，分别在二维排列的多个像素中展示调制激光的相位的全息图，并输出该相位调制后的激光。控制部(22)在存在于加工区域的聚光位置上使一部分相位调制后的激光(入射光)作为具有规定的阈值(X)以上的一定的能量的激光(贡献光)而聚光。另一方面，聚光在存在于加工区域的聚光位置上的贡献光以外的激光(不要光)在存在于非加工区域的聚光位置上作为具有不到规定的阈值(X)的能量的多个激光(非贡献光)而被分散并被聚光。
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公开(公告)号：CN101889238B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200880119574.3
申请日：2008-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13318 , G02F1/136277 , G02F2203/50 , G09G3/2092 , G09G3/3611 , G09G2300/0491 , G09G2320/02 , G09G2320/0285
Abstract: 本发明涉及相位调制装置以及相位调制方法。即使入射光的条件发生变化，该相位调制装置也能够高精度且简单地进行反射型电寻址空间光调制器的相位调制特性的修正。该LCOS型相位调制装置中，输入部输入输入光的条件，处理部对各像素设定输入值。修正值导出部对应于输入光的条件决定修正条件。控制输入值变换部基于修正条件，将对各像素所设定的输入值变换为修正后输入值。查找表处理部将修正后输入值变换为电压值，并使用相当于变换了的电压值的驱动电压来驱动各像素。
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公开(公告)号：CN102137731A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200980133930.1
申请日：2009-08-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/073 , G02F1/061
CPC classification number: G02B5/32 , B23K26/032 , B23K26/064 , B23K26/0643 , B23K26/066 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2210/452 , G03H2225/32 , G03H2240/51
Abstract: 本发明涉及激光加工装置以及激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)以及聚光光学系统(30)。空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光，分别在二维排列的多个像素中展示调制激光的相位的全息图，并输出该相位调制后的激光。控制部(22)在存在于加工区域的聚光位置上使一部分相位调制后的激光(入射光)作为具有规定的阈值(X)以上的一定的能量的激光(贡献光)而聚光。另一方面，聚光在存在于加工区域的聚光位置上的贡献光以外的激光(不要光)在存在于非加工区域的聚光位置上作为具有不到规定的阈值(X)的能量的多个激光(非贡献光)而被分散并被聚光。
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公开(公告)号：CN101542355B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200780044127.1
申请日：2007-09-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/09 , G02B5/3025 , G02B21/32 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及一种光束发生装置(1)，其具备激光光源(10)和光相位调制元件(15)等。光相位调制元件(15)，输入从激光光源(10)输出并经过分光器(14)的相干光，根据该光的光束截面上的位置对该光进行相位调制，并向分光器(14)输出该相位调制后的光。在输入到光相位调制元件(15)的光的光束截面上，在设定以规定位置为原点的极坐标系(r，θ)，并且设定由以所述规定位置为中心的p个圆周划分的(p+1)个区域时，在这些(p+1)个区域中，从内侧开始计算的第偶数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ＝qθ”表示，从内侧开始计算的第奇数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ＝qθ+π”表示。
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公开(公告)号：CN101542355A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780044127.1
申请日：2007-09-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/09 , G02B5/3025 , G02B21/32 , G02B26/06
Abstract: 本发明涉及一种光束发生装置(1)，其具备激光光源(10)和光相位调制元件(15)等。光相位调制元件(15)，输入从激光光源(10)输出并经过分光器(14)的相干光，根据该光的光束截面上的位置对该光进行相位调制，并向分光器(14)输出该相位调制后的光。在输入到光相位调制元件(15)的光的光束截面上，在设定以规定位置为原点的极坐标系(r，θ)，并且设定由以所述规定位置为中心的p个圆周划分的(p+1)个区域时，在这些(p+1)个区域中，从内侧开始计算的第偶数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ＝qθ”表示，从内侧开始计算的第奇数个区域内的各位置上的相位调制量φ用式“φ＝qθ+π”表示。
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