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公开(公告)号：CN109070268B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201780020452.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/183
Abstract: 一种激光加工装置，是将激光照射于对象物并进行上述对象物的激光加工的激光加工装置，具备输出上述激光的激光输出部、根据相位图案调制且反射从上述激光输出部输出的上述激光的空间光调制器、和将来自上述空间光调制器的上述激光向上述对象物聚光的物镜，上述空间光调制器具有：上述激光入射的入射面、将从上述入射面入射的上述激光向上述入射面反射的反射面、及配置于上述入射面和上述反射面之间且显示上述相位图案并调制上述激光的液晶层，在上述反射面形成有在彼此不连续的多个波段具有高反射率区域的电介质多层膜。
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公开(公告)号：CN108602159B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201780008410.2
申请日：2017-01-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , H01L21/301 , H01S3/00 , H01S3/10 , B23K26/53
Abstract: 激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、被安装于装置框架且支承加工对象物(1)的支承部(230)、被安装于装置框架的激光输出部(300)、以及以可相对于激光输出部移动的方式被安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、相对于加工对象物将激光聚光的聚光光学系统、以及构成反射型空间光调制器的反射面与聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的成像光学系统。
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公开(公告)号：CN109070268A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780020452.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/00
Abstract: 一种激光加工装置，是将激光照射于对象物并进行上述对象物的激光加工的激光加工装置，具备输出上述激光的激光输出部、根据相位图案调制且反射从上述激光输出部输出的上述激光的空间光调制器、和将来自上述空间光调制器的上述激光向上述对象物聚光的物镜，上述空间光调制器具有：上述激光入射的入射面、将从上述入射面入射的上述激光向上述入射面反射的反射面、及配置于上述入射面和上述反射面之间且显示上述相位图案并调制上述激光的液晶层，在上述反射面形成有在彼此不连续的多个波段具有高反射率区域的电介质多层膜。
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公开(公告)号：CN108602159A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780008410.2
申请日：2017-01-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , H01L21/301 , H01S3/00 , H01S3/10 , B23K26/53
Abstract: 激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、被安装于装置框架且支承加工对象物(1)的支承部(230)、被安装于装置框架的激光输出部(300)、以及以可相对于激光输出部移动的方式被安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、相对于加工对象物将激光聚光的聚光光学系统、以及构成反射型空间光调制器的反射面与聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的成像光学系统。
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公开(公告)号：CN120072613A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202411725678.6
申请日：2024-11-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/28
Abstract: 本发明涉及电子管和分光器。一种电子管，是安装于外部装置而使用的电子管，具备：框体，其具有包括光入射面并且使来自所述外部装置的光经由该光入射面入射的光入射窗；和光电转换部，其以与所述光入射窗相对的方式配置于所述框体内，并根据从所述光入射窗入射的所述光而出射电子；和电子倍增部，其配置于所述框体内，并对从所述光电转换部出射的电子进行倍增；以及定位部件，其与所述光入射窗分体形成并固定于所述光入射面，具有使来自所述外部装置的所述光向所述光入射面通过的光通过部，所述定位部件具有基准部，该基准部作为相对于所述外部装置的机械定位的基准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN206622751U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720102005.4
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/04
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，其能够使用激光的波长相互不同的多个激光光源。激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、安装于装置框架(210)且支撑加工对象物(1)的支撑台(230)、相对于装置框架(210)可装卸的激光输出部(300)、安装于装置框架(210)的激光聚光部(400)。激光输出部(300)具有射出激光的激光振荡器和调整激光的输出的λ/2波长板单元及偏振光板单元。激光聚光部(400)具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、使激光相对于加工对象物(1)进行聚光的聚光透镜单元、构成反射型空间光调制器的反射面和聚光透镜单元的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜。
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公开(公告)号：CN206622750U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720101990.7
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，能抑制装置的大型化，同时使聚光光学系统侧的结构相对于加工对象物移动。激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、安装于装置框架且支撑加工对象物(1)的支撑台(230)、安装于装置框架的激光输出部(300)、以相对于激光输出部(300)能够移动的方式安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有射出激光的激光振荡器。激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、使激光相对于加工对象物(1)聚光的聚光透镜单元、构成反射型空间光调制器的反射面(410a)和聚光透镜单元的入射光瞳面构成处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜。
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公开(公告)号：CN206614138U
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201720101985.6
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供一种激光输出装置，其相对于激光加工装置可以容易地进行装卸。激光输出装置(300)具备：射出激光L的激光振荡器(310)、调整激光L的输出的λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)、将激光L向外部射出的反射镜单元(360)、具有配置激光振荡器(310)、λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)以及反射镜单元(360)的主面(301a)的安装基座(301)。从激光振荡器(310)到达反射镜单元(360)的激光L的光路以沿着与主面(301a)平行的平面的方式设定。反射镜单元(360)具有用于调整激光L的光轴的反射镜(362、363)，沿着与该平面交叉的方向将激光L向外部射出。
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公开(公告)号：CN206598016U
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201720101992.6
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/046
Abstract: 本实用新型提供一种激光加工装置，其可以将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。该装置具备：支撑台；激光振荡器；反射型空间光调制器(410)；聚光透镜单元(430)；一对透镜(422、423)，其构成空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统；二向色镜(403)。从空间光调制器(410)到达反射镜(403)的激光L的光路以沿着规定的平面的方式设定。从反射镜(403)到达聚光透镜单元(430)的激光L的光路以沿着与该平面交叉的方向的方式设定。空间光调制器(410)将激光L沿着该平面以锐角反射。
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公开(公告)号：CN207606395U
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201721290849.2
申请日：2017-01-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064
Abstract: 本实用新型提供一种激光输出装置，其相对于激光加工装置可以容易地进行装卸。激光输出装置(300)具备：射出激光L的激光振荡器(310)、调整激光L的输出的λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)、将激光L向外部射出的反射镜单元(360)、具有配置激光振荡器(310)、λ/2波长板单元(330)及偏振光板单元(340)以及反射镜单元(360)的主面(301a)的安装基座(301)。从激光振荡器(310)到达反射镜单元(360)的激光L的光路以沿着与主面(301a)平行的平面的方式设定。反射镜单元(360)具有用于调整激光L的光轴的反射镜(362、363)，沿着与该平面交叉的方向将激光L向外部射出。
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