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公开(公告)号：CN100410718C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200480032462.6
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/33 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/0004
Abstract: 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。
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公开(公告)号：CN1922526A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200580005167.6
申请日：2005-02-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B7/003
Abstract: 本发明的目的是提供一种容易安装并且既能确保组装时的低成本以及再现性，又能提高定位精度的光学部件保持单元。通过围绕或形成可使光通过的开口部(22a、22b)，横截面为非圆形的矩形凸部(8a)以及矩形孔的嵌合，和横截面为圆形的圆形凸部(11a)以及圆形孔的嵌合，将邻接的光学部件保持单元(35)导入规定的位置并可拔脱地进行连接，在三维方向定位，同时，通过矩形凸部(8a)以及矩形孔的嵌合，和弹簧销(13a)以及嵌合孔的嵌合，在旋转方向限制邻接的光学部件保持单元(35)，在旋转方向上进行定位。
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公开(公告)号：CN100529831C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200480007556.8
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 一种固浸透镜(1)，具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此，观察后可以很容易从观察对象物分离，并且观察时可以使高NA的光束通过，本发明用来获得此种固浸透镜和使用该固浸透镜的显微镜。
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公开(公告)号：CN100388043C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200580001606.6
申请日：2005-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察；第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。
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公开(公告)号：CN1875308A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032462.6
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/33 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/0004
Abstract: 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1209074C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN01804524.3
申请日：2001-02-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: A61B5/145
CPC classification number: A61B5/14558 , A61B5/14552 , A61B5/6826 , A61B5/6838
Abstract: 提供非侵袭性生物体光计测装置、测定部位保持器具及其制造方法。本装置具备使用测定部位(10)的印模构成的测定部位保持器具，由此，减少由于测定部位(10)内成分的不均匀分布引起的测定值的分散性，减少伴随着测定部位(10)的形状变化引起的光路长度变化以及伴随着接触压力的不同引起的血流变化等产生的测定值的分散性，通过在安装于被检查人个人专用的测定部位保持器具(3)的记录媒体(11)中记录被检查人的生物体信息或者测定参数，防止误取出对于每一名被检查人的生物体信息，同时，进行具有再现性的测定。
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公开(公告)号：CN1761901A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200480007556.8
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 一种固浸透镜(1)，具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此，观察后可以很容易从观察对象物分离，并且观察时可以使高NA的光束通过，本发明用来获得此种固浸透镜和使用该固浸透镜的显微镜。
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公开(公告)号：CN103038600A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201180027724.X
申请日：2011-02-25
CPC classification number: G02B27/145 , G01B9/02 , G01B9/02051 , G01B9/02056 , G01B2290/70 , G02B5/04 , G02B27/283
Abstract: 光学元件20通过粘合第一～第四三角棱镜21、22、23、24的各个构成顶角的相应面来构成，第一及第二三角棱镜的两接合面21a、22b、第二及第三三角棱镜的两接合面22a、23b、第三及第四三角棱镜的两接合面23a、24b和第四及第一三角棱镜的两接合面24a、21b分别通过光学薄膜接合，各光学薄膜具有把射入光根据其偏光状态透过或反射的特性。光学元件20在光学薄膜的第一位置P1分割光路，在光学薄膜的第二位置P2合成光路。
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公开(公告)号：CN102177624A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200980140176.4
申请日：2009-09-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B17/004 , G02B27/0944 , G02B27/0977 , H01S3/005
Abstract: 本发明提供一种光学元件、激光振荡装置和激光放大装置。本发明的光学元件(20A)由具有光透过性的介质构成，且具有比空气的折射率大的折射率，使入射的激光在壁面(20a)多次反射并在内部传播，该光学元件(20A)具备：入射窗口(21)，位于壁面(20a)的一部分，用于使激光入射；出射窗口(22)，位于壁面(20a)的一部分，用于使在内部传播的激光出射；以及波长分散补偿部(31、32)，一体地位于介质的一部分，通过使激光至少经两次透过或反射来补偿波长分散。
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公开(公告)号：CN100458486C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200580005167.6
申请日：2005-02-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B7/003
Abstract: 本发明的目的是提供一种容易安装并且既能确保组装时的低成本以及再现性，又能提高定位精度的光学部件保持单元。通过围绕或形成可使光通过的开口部(22a、22b)，横截面为非圆形的矩形凸部(8a)以及矩形孔的嵌合，和横截面为圆形的圆形凸部(11a)以及圆形孔的嵌合，将邻接的光学部件保持单元(35)导入规定的位置并可拔脱地进行连接，在三维方向定位，同时，通过矩形凸部(8a)以及矩形孔的嵌合，和弹簧销(13a)以及嵌合孔的嵌合，在旋转方向限制邻接的光学部件保持单元(35)，在旋转方向上进行定位。
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