公开(公告)号：CN102271857A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200980153486.X

申请日：2009-12-04

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 福满宪志 ,  大石真吾 ,  青岛绅一郎

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/03 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08

Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点P1，在X轴方向上收束在点P2。进一步，一对刀缘(13)在Y轴方向上调节入射至物镜(5)的激光(L1)的发散角θ。由此，激光(L1)的剖面形状，在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状，Y轴方向的最大长度被调节。因此，通过使点P2位于加工对象物(S)的表面，可以将在Y轴方向上延伸所期望的长度的长条形状的加工区域形成于加工对象物(S)的表面。

公开(公告)号：CN102271859A

公开(公告)日：2011-12-07

申请号：CN200980153474.7

申请日：2009-12-04

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 福满宪志 ,  大石真吾 ,  青岛绅一郎

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/03 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  B23K26/40 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即在ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点(P1)，在X轴方向上收束在点(P2)。由此，激光(L1)的剖面形状，在点(P1)成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点(P2)成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过使点(P1)位于加工对象物(S)的外部，使点(P2)位于加工对象物(S)的内部，从而在加工对象物(S)的内部的点(P2)所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。

公开(公告)号：CN102177624A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN200980140176.4

申请日：2009-09-14

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 山本晃永 ,  河田阳一 ,  大石真吾 ,  森口俊治 ,  坂本繁 ,  伊藤晴康 ,  藤本正俊 ,  高桥宏典 ,  福满宪志 ,  柴山胜己 ,  青岛绅一郎

IPC: H01S3/10 ,  G02B5/04 ,  G02B5/18

CPC classification number: G02B17/004 ,  G02B27/0944 ,  G02B27/0977 ,  H01S3/005

Abstract: 本发明提供一种光学元件、激光振荡装置和激光放大装置。本发明的光学元件(20A)由具有光透过性的介质构成，且具有比空气的折射率大的折射率，使入射的激光在壁面(20a)多次反射并在内部传播，该光学元件(20A)具备：入射窗口(21)，位于壁面(20a)的一部分，用于使激光入射；出射窗口(22)，位于壁面(20a)的一部分，用于使在内部传播的激光出射；以及波长分散补偿部(31、32)，一体地位于介质的一部分，通过使激光至少经两次透过或反射来补偿波长分散。

公开(公告)号：CN102271859B

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN200980153474.7

申请日：2009-12-04

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 福满宪志 ,  大石真吾 ,  青岛绅一郎

IPC: B23K26/53 ,  B23K26/03 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即在ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点(P1)，在X轴方向上收束在点(P2)。由此，激光(L1)的剖面形状，在点(P1)成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点(P2)成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过使点(P1)位于加工对象物(S)的外部，使点(P2)位于加工对象物(S)的内部，从而在加工对象物(S)的内部的点(P2)所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。

公开(公告)号：CN102016548B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200980115688.5

申请日：2009-04-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中西笃司 ,  河田阳一 ,  安田敬史 ,  高桥宏典 ,  藤本正俊 ,  青岛绅一郎

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/552 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3586

Abstract: 本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜，具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25)，内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此，实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。

公开(公告)号：CN102271857B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN200980153486.X

申请日：2009-12-04

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 福满宪志 ,  大石真吾 ,  青岛绅一郎

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08

Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点P1，在X轴方向上收束在点P2。进一步，一对刀缘(13)在Y轴方向上调节入射至物镜(5)的激光(L1)的发散角θ。由此，激光(L1)的剖面形状，在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状，Y轴方向的最大长度被调节。因此，通过使点P2位于加工对象物(S)的表面，可以将在Y轴方向上延伸所期望的长度的长条形状的加工区域形成于加工对象物(S)的表面。

公开(公告)号：CN102016548A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200980115688.5

申请日：2009-04-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中西笃司 ,  河田阳一 ,  安田敬史 ,  高桥宏典 ,  藤本正俊 ,  青岛绅一郎

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/552 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3586

Abstract: 本发明的全反射太赫兹波测定装置(1)具备光源(11)、分支部(12)、斩波器(13)、光程差调整部(14)、偏振片(15)、分束器(17)、太赫兹波产生元件(20)、滤波器(25)、内部全反射棱镜(31)、太赫兹波检测元件(40)、1/4波长板(51)、偏振光分离元件(52)、光检测器(53a)、光检测器(53b)、差动放大器(54)以及锁定放大器(55)。内部全反射棱镜(31)为所谓的无象差棱镜，具有入射面(31a)、出射面(31b)以及反射面(31c)。内部全反射棱镜(31)的入射面(31a)上一体地设置有太赫兹波产生元件(20)和滤波器(25)，内部全反射棱镜(31)的出射面(31b)上一体地设置有太赫兹波检测元件(40)。滤波器(25)使太赫兹波透过而使泵浦光遮断。由此，实现了可小型化的全反射太赫兹波测定装置。