公开(公告)号：CN103649814B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201280032676.8

申请日：2012-05-17

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村共则 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘

IPC: G02B21/00 ,  G02B7/02 ,  G02B21/02

CPC classification number: G02B21/361 ,  G02B5/006 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/04 ,  G02B21/16 ,  G02B21/248 ,  G02B27/0018

Abstract: 显微观察用光学装置（4）是使来自样本（S）的红外光入射至摄像机（3）的光学装置，具备：冷屏（13），其是具有对应于低倍率的显微光学系统（5）的开口（13d、13e）且使来自样本（S）的光通过至摄像机（3）的配置于真空容器（12）内的光圈构件；暖屏（10），其是具有对应于高倍率的显微光学系统（5）的开口（14）且使来自样本（S）的光向冷屏（13）通过的配置于真空容器（12）外的光圈构件；以及支撑构件（11），其将暖屏（10）能够出入地支撑于来自样本（S）的光的光轴上；暖屏（10）在摄像机（3）侧具有反射面（15），开口（14）小于开口（13d、13e）。

公开(公告)号：CN1906520A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200580001606.6

申请日：2005-02-25

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  常盘正治 ,  田边浩 ,  坂本繁

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0016 ,  G02B21/33 ,  Y10S359/90

Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察：第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。

公开(公告)号：CN114616475A

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202080074955.5

申请日：2020-11-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 活洲政敬 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘 ,  石塚利道

IPC: G01R31/265 ,  G01R31/302 ,  G01N21/41 ,  G01N21/59 ,  G01N25/72

Abstract: 本发明的半导体故障解析装置(1)具备：测试器(2)，其对半导体器件(100)施加刺激信号；光源(3)，其产生照射于半导体器件(100)的照射光(L1)；固体浸没式透镜(4)，其配置于照射光(L1)的光路上；光检测部(5)，其接受反射光(L2)，并且输出对应于反射光(L2)的检测信号；光学系统(6)，其配置于光源(3)与固体浸没式透镜(4)之间，经由固体浸没式透镜(4)对半导体器件(100)出射照射光(L1)，且配置于固体浸没式透镜(4)与光学检测部(5)之间，将经由固体浸没式透镜(4)而接受的反射光(L2)出射至光检测部(5)；及计算机(7)，其利用检测信号获得与半导体器件(100)的故障部位相关的信息。光源(3)出射中心波长为880nm以上且980nm以下的照射光(L1)。固体浸没式透镜(4)由GaAs形成。

公开(公告)号：CN107076957B

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201580051416.9

申请日：2015-09-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  活洲政敬

IPC: G02B7/02 ,  G02B7/16 ,  G02B21/00 ,  G02B21/36

CPC classification number: G02B7/027 ,  G02B7/02 ,  G02B7/16 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/02 ,  G02B21/26 ,  G02B21/33 ,  G02B21/361 ,  G02B21/362

Abstract: 固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有配置于第1开口(71)的物镜(21)侧的3个板构件(93)。在3个板构件(93)的各个，设置有构成为能够与球面部(6a)接触的突出部(73)。

公开(公告)号：CN105842836B

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201610322172.X

申请日：2012-05-17

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村共则 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘

IPC: G02B21/18 ,  G02B21/02 ,  G02B21/36 ,  G02B7/02

CPC classification number: G02B21/361 ,  G02B5/006 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/04 ,  G02B21/16 ,  G02B21/248 ,  G02B27/0018

Abstract: 显微观察用光学装置(4)是使来自样本(S)的红外光入射至摄像机(3)的光学装置，具备：冷屏(13)，其是具有对应于低倍率的显微光学系统(5)的开口(13d、13e)且使来自样本(S)的光通过至摄像机(3)的配置于真空容器(12)内的光圈构件；暖屏(10)，其是具有对应于高倍率的显微光学系统(5)的开口(14)且使来自样本(S)的光向冷屏(13)通过的配置于真空容器(12)外的光圈构件；以及支撑构件(11)，其将暖屏(10)能够出入地支撑于来自样本(S)的光的光轴上；暖屏(10)在摄像机(3)侧具有反射面(15)，开口(14)小于开口(13d、13e)。

公开(公告)号：CN100529831C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200480007556.8

申请日：2004-03-19

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  坂本繁

IPC: G02B13/00 ,  G02B21/02 ,  G02B3/04 ,  G01N21/17

CPC classification number: G01N21/1717 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/0342 ,  G02B21/02 ,  G02B21/365

Abstract: 一种固浸透镜(1)，具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此，观察后可以很容易从观察对象物分离，并且观察时可以使高NA的光束通过，本发明用来获得此种固浸透镜和使用该固浸透镜的显微镜。

公开(公告)号：CN100388043C

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN200580001606.6

申请日：2005-02-25

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 寺田浩敏 ,  荒田育男 ,  常盘正治 ,  田边浩 ,  坂本繁

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0016 ,  G02B21/33 ,  Y10S359/90

Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察；第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。

公开(公告)号：CN1875308A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200480032462.6

申请日：2004-10-28

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 荒田育男 ,  坂本繁 ,  寺田浩敏

IPC: G02B21/00 ,  G01N13/14 ,  G12B21/06

CPC classification number: G02B21/33 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/0342 ,  G02B21/0004

Abstract: 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。

公开(公告)号：CN114787580B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202080081801.9

申请日：2020-08-31

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 荒田育男 ,  泷本觉司 ,  大塚贤一

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明的光学单元(13)具备：输入部(21)，其输入自紫外区域遍及可视区域的波长的测量光(L1)；光学系统(22)，其以产生色像差的状态将测量光(L1)聚光；及开口部(31)，其中，产生了色像差的测量光(L1)中的、可视区域的波长的光(La)不成像，而紫外区域的波长的光(Lb)成像。

公开(公告)号：CN114556183A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202080071969.1

申请日：2020-07-16

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 中村共则 ,  荒田育男 ,  毛祥光

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/02 ,  G02B7/02

Abstract: 本发明的固体浸没式透镜单元具备：固体浸没式透镜；及固持件，其可摆动地保持固体浸没式透镜。固体浸没式透镜具有：第1透镜部，其由第1材料形成；及第2透镜部，其由具有比第1材料的折射率小的折射率的第2材料形成，并且结合于第1透镜部。第1透镜部包含：抵接于观察对象物的抵接面、及凸状的第1球面。第2透镜部包含：面向第1球面的凹状的第2球面、及以面向物镜的方式配置的凸状的第3球面。固持件具有构成为可与第3球面接触的接触部。