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公开(公告)号：CN104412147B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201380033912.2
申请日：2013-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/244 , G02B21/02 , G02B21/241 , G02B21/26 , H04N5/2254 , H04N5/23212
Abstract: 本发明提供能够容易地进行高精度的焦点调整并能够容易地配置摄像元件的显微镜摄像装置。显微镜摄像装置(1A)包括：试样台(2)，其具有载置试样(3)的载置面(2b)；摄像部(6)，其具有用于对在载置面(2b)上设定的摄像区域的一部分进行摄像的摄像元件(4)；和成像光学部(8)，其配置在试样台(2)与摄像部(6)之间，具有将来自摄像区域的一部分的光导向摄像部(6)而进行成像的物镜(7)。试样台(2)以使得载置面(2b)与物镜(7)的光轴(L)正交的方式配置。试样台(2)和物镜(7)的至少一方被构成为，在将载置面(2b)相对于光轴(L)保持为正交的状态下能够向相对于光轴(L)倾斜地交叉的方向移动(A1)，因此，能够不对摄像元件(4)实施复杂的角度调整而使焦点高精度地与试样(3)对准。
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公开(公告)号：CN101688971B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200880021192.7
申请日：2008-06-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0016 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/248 , G02B21/33
Abstract: 在进行半导体组件(11)的观察的情况下，首先，如果检测出固体浸没透镜(6)接触于半导体组件(11)，则通过振动发生部使固体浸没透镜(6)振动。接着，输入来自固体浸没透镜(6)的反射光像，算出反射光像的反射光量(m)，并判断该反射光量(m)对入射光量(n)的比率(m/n)是否没有超过阈值(A)。在比率(m/n)超过阈值(A)时，判断为未获得固体浸没透镜(6)和半导体组件(11)的光学紧贴，再次使固体浸没透镜(6)振动。在比率(m/n)没有超过阈值(A)时，判断为获得固体浸没透镜(6)和半导体组件(11)的光学紧贴，取得半导体组件(11)的观察图像。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物的紧贴性的观察装置和方法。
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公开(公告)号：CN1875306A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032468.3
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B7/02
Abstract: 本发明，形成具备在使固体浸没透镜3的底面通过开口9b向下方突出的状态下在自重方向上支撑该固体浸没透镜3的保持器9的构成。由此，固体浸没透镜3被载置于观察对象物时，形成固体浸没透镜3被该观察对象物抬起的状态，形成相对于保持器9自由的状态。而且，此时，不会在观察对象物上施加过度的压力，并且，固体浸没透镜3紧密地密合于观察对象物，同时，保持器9侧或观察对象物侧的温度漂移相对于对方侧被隔断而消除温度漂移造成的影响。由此，可获得不会对观察对象物造成损伤、并且可进行高精度的观察的固体浸没透镜。
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公开(公告)号：CN101688963B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200880021184.2
申请日：2008-06-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/33 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B21/248
Abstract: 固体浸没透镜保持器(200)具备：具有保持固体浸没透镜(6)的透镜保持部(60)的保持器主体(8)和用于将该保持器主体(8)安装于物镜(21)的前端部的物镜插座(9)。固体浸没透镜(6)相对于透镜保持部(60)不固定并在自由的状态下被保持。在物镜插座(9)，安装有使保持器主体(8)振动的振动发生部(120)。振动发生部(120)具有保持于马达保持部件(130)的振动马达(140)，在该振动马达(140)的输出轴(141)，安装有在重量上偏向的构造的重物(142)。在振动发生部(120)发生的振动经由物镜插座(9)和保持器主体(8)而传播至固体浸没透镜(6)。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物之间的紧贴性的固体浸没透镜保持器。
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公开(公告)号：CN1906520A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001606.6
申请日：2005-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察：第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101688971A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880021192.7
申请日：2008-06-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0016 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/248 , G02B21/33
Abstract: 在进行半导体组件(11)的观察的情况下，首先，如果检测出固体浸没透镜(6)接触于半导体组件(11)，则通过振动发生部使固体浸没透镜(6)振动。接着，输入来自固体浸没透镜(6)的反射光像，算出反射光像的反射光量(m)，并判断该反射光量(m)对入射光量(n)的比率(m/n)是否没有超过阈值(A)。在比率(m/n)超过阈值(A)时，判断为未获得固体浸没透镜(6)和半导体组件(11)的光学紧贴，再次使固体浸没透镜(6)振动。在比率(m/n)没有超过阈值(A)时，判断为获得固体浸没透镜(6)和半导体组件(11)的光学紧贴，取得半导体组件(11)的观察图像。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物的紧贴性的观察装置和方法。
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公开(公告)号：CN101688963A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880021184.2
申请日：2008-06-13
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/33 , G01N21/9501 , G02B7/022 , G02B21/0016 , G02B21/02 , G02B21/248
Abstract: 固体浸没透镜保持器(200)具备：具有保持固体浸没透镜(6)的透镜保持部(60)的保持器主体(8)和用于将该保持器主体(8)安装于物镜(21)的前端部的物镜插座(9)。固体浸没透镜(6)相对于透镜保持部(60)不固定并在自由的状态下被保持。在物镜插座(9)，安装有使保持器主体(8)振动的振动发生部(120)。振动发生部(120)具有保持于马达保持部件(130)的振动马达(140)，在该振动马达(140)的输出轴(141)，安装有在重量上偏向的构造的重物(142)。在振动发生部(120)发生的振动经由物镜插座(9)和保持器主体(8)而传播至固体浸没透镜(6)。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物之间的紧贴性的固体浸没透镜保持器。
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公开(公告)号：CN100380153C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200480032468.3
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明，形成具备在使固体浸没透镜3的底面通过开口9b向下方突出的状态下在自重方向上支撑该固体浸没透镜3的保持器9的构成。由此，固体浸没透镜3被载置于观察对象物时，形成固体浸没透镜3被该观察对象物抬起的状态，形成相对于保持器9自由的状态。而且，此时，不会在观察对象物上施加过度的压力，并且，固体浸没透镜3紧密地密合于观察对象物，同时，保持器9侧或观察对象物侧的温度漂移相对于对方侧被隔断而消除温度漂移造成的影响。由此，可获得不会对观察对象物造成损伤、并且可进行高精度的观察的固体浸没透镜。
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公开(公告)号：CN104412147A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201380033912.2
申请日：2013-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/244 , G02B21/02 , G02B21/241 , G02B21/26 , H04N5/2254 , H04N5/23212
Abstract: 本发明提供能够容易地进行高精度的焦点调整并能够容易地配置摄像元件的显微镜摄像装置。显微镜摄像装置(1A)包括：试样台(2)，其具有载置试样(3)的载置面(2b)；摄像部(6)，其具有用于对在载置面(2b)上设定的摄像区域的一部分进行摄像的摄像元件(4)；和成像光学部(8)，其配置在试样台(2)与摄像部(6)之间，具有将来自摄像区域的一部分的光导向摄像部(6)而进行成像的物镜(7)。试样台(2)以使得载置面(2b)与物镜(7)的光轴(L)正交的方式配置。试样台(2)和物镜(7)的至少一方被构成为，在将载置面(2b)相对于光轴(L)保持为正交的状态下能够向相对于光轴(L)倾斜地交叉的方向移动(A1)，因此，能够不对摄像元件(4)实施复杂的角度调整而使焦点高精度地与试样(3)对准。
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公开(公告)号：CN100388043C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200580001606.6
申请日：2005-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察；第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。
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