溅射靶材
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105385995B

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201510536644.7

    申请日:2015-08-27

    Abstract: 本发明提供在溅射成膜时、尤其是利用直流溅射法成膜时,在靶材的放电面不易产生结节的溅射靶材。一种溅射靶材,其为包含含Zn、Sn、O以及Al的氧化物烧结体的溅射靶材,前述氧化物烧结体的用[(Al的质量)/(氧化物烧结体的总质量)×100(%)]表示的Al的含有比率为0.005%~0.2%,前述溅射靶材的放电面的电子探针显微分析仪(EPMA)的面分析结果的数码图像所显示的含Al区域各自收纳于[x]×[y](x=75μm、y=75μm)的范围。

    溅射靶材
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105385995A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201510536644.7

    申请日:2015-08-27

    Abstract: 本发明提供在溅射成膜时、尤其是利用直流溅射法成膜时,在靶材的放电面不易产生结节的溅射靶材。一种溅射靶材,其为包含Zn、Sn、O以及Al的氧化物烧结体的溅射靶材,前述氧化物烧结体的用[(Al的质量)/(氧化物烧结体的总质量)×100(%)]表示的Al的含有比率为0.005%~0.2%,前述溅射靶材的放电面的电子探针显微分析仪(EPMA)的面分析结果的数码图像所显示的含Al区域各自收纳于[x]×[y](x=75μm、y=75μm)的范围。

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