半导体装置、以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN114823596A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210041911.3

    申请日:2022-01-14

    Abstract: 本发明涉及半导体装置、以及半导体装置的制造方法。本发明的半导体装置的制造方法具备半导体芯片安装工序,其中,将多个半导体芯片依次利用第1按压构件进行按压,从而分别粘接于基板所具备的多个搭载区域,前述粘接以在各个前述多个半导体芯片与各个前述多个搭载区域之间分别夹有粘接片的状态实施,各个前述粘接片包含可通过以400℃以下的温度进行加热而烧结的烧结性金属颗粒,前述第1按压构件被加热至前述烧结性金属颗粒可烧结的温度。

    半导体装置制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112041973A

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201980028581.0

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本制造方法包括如下的工序:例如,由切割带(T1)上的半导体晶圆(W)形成包含多个半导体芯片(11)的半导体晶圆分割体(10)的工序;相对于切割带(T1)上的半导体晶圆分割体(10),粘贴烧结接合用片(20)的工序;例如,从切割带(T1)上拾取伴有源自烧结接合用片(20)的烧结接合用材料层(21)的半导体芯片(11)的工序;将带有烧结接合用材料层的半导体芯片(11)借助该烧结接合用材料层(21)而临时固定于基板的工序;以及由夹设在临时固定的半导体芯片(11)与基板之间的烧结接合用材料层(21),历经加热过程而形成烧结层,将该半导体芯片(11)接合于基板的工序。这种半导体装置制造方法适合于在降低烧结接合用材料的损耗的同时,高效地对各半导体芯片进行烧结接合用材料的供给。

    烧结接合用片及带基材的烧结接合用片

    公开(公告)号:CN111690337A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010169966.3

    申请日:2020-03-12

    Abstract: 提供适于作业效率良好地制作、且适于在经过半导体芯片的烧结接合的半导体装置制造过程中的烧结工艺中实现良好的作业效率的、烧结接合用片及带基材的烧结接合用片。本发明的烧结接合用片(10)包含含有导电性金属的烧结性颗粒及粘结剂成分、且利用SAICAS法测定的23℃下的剪切强度为2~40MPa。作为本发明的带基材的烧结接合用片的片体(X)具有包含基材(B)和烧结接合用片(10)的层叠结构。

    输送固定夹具
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108886011A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201780018295.7

    申请日:2017-03-14

    Abstract: 本发明提供一种夹持力较高、难以污染被加工物(被输送物)且耐热性优异的输送固定夹具。本发明的输送固定夹具具有第1基材、碳纳米管集合体以及配置在该第1基材与该碳纳米管集合体之间的粘接剂层,该第1基材和该碳纳米管集合体借助该粘接剂层相接合,该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7~1.8。

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