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公开(公告)号：CN108886011A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201780018295.7
申请日：2017-03-14
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07
Abstract: 本发明提供一种夹持力较高、难以污染被加工物(被输送物)且耐热性优异的输送固定夹具。本发明的输送固定夹具具有第1基材、碳纳米管集合体以及配置在该第1基材与该碳纳米管集合体之间的粘接剂层，该第1基材和该碳纳米管集合体借助该粘接剂层相接合，该粘接剂层的线膨胀系数与该第1基材的线膨胀系数之比(粘接剂层/基材)为0.7～1.8。
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公开(公告)号：CN101501823B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200780029890.7
申请日：2007-06-26
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B1/00
CPC classification number: B08B1/00 , B08B7/0028 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , C01B2202/08 , C01B2202/34 , C01B2202/36
Abstract: 本发明提供一种在清洁部位不产生污染、并能够简便、可靠、充分地除去微细的异物、优选亚微米级的异物的清洁部件。并且，本发明提供一种具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及一种使用了该清洁部件或该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。本发明的清洁部件具有在表面设置有多个柱状结构的凸部的层状部件，其中，该柱状结构的凸部是碳类纳米结构体。
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公开(公告)号：CN101501823A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780029890.7
申请日：2007-06-26
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B1/00
CPC classification number: B08B1/00 , B08B7/0028 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , C01B2202/08 , C01B2202/34 , C01B2202/36
Abstract: 本发明提供一种在清洁部位不产生污染、并能够简便、可靠、充分地除去微细的异物、优选亚微米级的异物的清洁部件。并且，本发明提供一种具有该清洁部件的带清洁功能的搬送部件、以及一种使用了该清洁部件或该带清洁功能的搬送部件的基板处理装置的清洁方法。本发明的清洁部件具有在表面设置有多个柱状结构的凸部的层状部件，其中，该柱状结构的凸部是碳类纳米结构体。
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公开(公告)号：CN108541337A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201780006797.8
申请日：2017-01-10
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/677 , C01B32/152 , C01B32/158 , C09J1/00 , C09J7/00 , H01L21/683 , B82Y30/00
CPC classification number: B82Y30/00 , C01B32/152 , C01B32/158 , C09J1/00 , C09J7/00 , C09J7/20 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 提供抓持力(gripping force)及耐热性优异、并且低起尘性优异、不易污染被载置物的载置构件。本发明的载置构件为载置面由碳纳米管的集合体构成的载置构件，在该载置构件的碳纳米管集合体侧表面产生的凹部的俯视面积的比例相对于碳纳米管集合体侧表面的总面积为5％以下。
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公开(公告)号：CN108475655A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780006710.7
申请日：2017-01-10
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: H01L21/677 , B82Y30/00 , C01B32/152 , C01B32/158 , H01L21/683
CPC classification number: B82Y30/00 , C01B32/152 , C01B32/158 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 提供抓持力(gripping force)及耐热性优异、并且低起尘性优异、不易污染被载置物的载置构件。1个实施方式中，本发明的载置构件的载置面由碳纳米管的集合体构成，该碳纳米管的直径的标准偏差为3nm以下。1个实施方式中，本发明的载置构件的载置面由碳纳米管的集合体构成，该碳纳米管集合体包含多层结构的碳纳米管，该碳纳米管的层数的标准偏差为3以下。
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公开(公告)号：CN104105972A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201380007659.3
申请日：2013-01-29
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor： 前野洋平
IPC: G01Q30/20
CPC classification number: G01Q30/20 , C01B32/16 , C01B2202/08 , Y10S977/752
Abstract: 本发明提供一种原子力显微镜用试样固定部件，其能够减少测定中的试样的漂移量。本发明的原子力显微镜用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
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公开(公告)号：CN102666377A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080058725.6
申请日：2010-09-01
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor： 前野洋平
IPC: C01B31/02
CPC classification number: C01B31/0226 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , Y10T428/23979 , Y10T428/23993
Abstract: 本发明提供一种碳纳米管复合结构体，该碳纳米管复合结构体在基材上具备多个碳纳米管柱状结构体，基材与碳纳米管柱状结构体的附着力非常高。另外，提供一种含有这种碳纳米管复合结构体的粘接部件。本发明的碳纳米管复合结构体在基材上具备多个碳纳米管柱状结构体，在该基材和该碳纳米管柱状结构体之间具备中间层，该中间层的厚度为1.0nm以上且小于10nm，具备该中间层的基材与碳纳米管柱状结构体的附着力为5N/cm2以上。
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公开(公告)号：CN107848118A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680046343.9
申请日：2016-08-03
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B25J15/00 , B25J5/02 , H01L21/677
CPC classification number: B25J5/02 , B25J9/0012 , B25J9/042 , B25J9/06 , B25J11/0095 , B25J15/00 , B25J15/008 , B25J17/025 , H01L21/67706 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707
Abstract: 提供的是具有优异的抓持强度和超常的耐热性且不容易污染被加工物(被输送物)的输送装置。还提供的是能够以高的速度输送被加工物的半导体器件的制造方法和光学构件的制造方法。该输送装置设置有输送构件，其中：输送构件具有输送基材和载置构件；载置构件包含纤维状柱状结构体；纤维状柱状结构体设置有多个纤维状柱状物；纤维状柱状物沿与输送基材大致垂直的方向取向；并且纤维状柱状结构体的位于输送基材所在侧的相反侧的表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为2.0以上。
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公开(公告)号：CN106663651A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580044886.2
申请日：2015-08-18
Applicant: 日东电工株式会社
Inventor： 前野洋平
IPC: H01L21/683 , B82B1/00 , C01B32/158 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/68757 , B82B1/00 , B82Y30/00 , C01B32/05 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/68785
Abstract: 本发明提供一种具有能够表现出强的抓持力并且污染物难以附着残留于半导体侧的半导体载置部件的半导体输送部件。另外，本发明提供一种能够表现出强的抓持力并且污染物难以附着残留于半导体侧的半导体载置部件。本发明的半导体输送部件具有输送基材和半导体载置部件，其特征在于：该半导体载置部件包含纤维状柱状结构体，该纤维状柱状结构体为具备多个纤维状柱状物的纤维状柱状结构体，该纤维状柱状物沿相对于该输送基材大致垂直的方向取向，该纤维状柱状结构体的与该输送基材相反的一侧的表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为2.0以上。
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