RRAM、集成芯片及其形成方法

    公开(公告)号:CN112151673A

    公开(公告)日:2020-12-29

    申请号:CN202010592590.7

    申请日:2020-06-24

    Abstract: 本发明的各个实施例针对电阻式随机存取存储器(RRAM)单元,该RRAM单元包括:顶电极阻挡层,被配置为阻挡氮或一些其它合适的非金属元素从RRAM单元的顶电极至RRAM单元的有源金属层的移动。阻挡非金属元素的移动可以防止有源金属层和顶电极之间的不期望的切换层的形成。不期望的切换层将增加RRAM单元的寄生电阻,从而使得顶电极阻挡层可以通过防止不期望的切换层的形成来减小寄生电阻。本发明的实施例还涉及集成芯片及其形成方法。

    集成电路及其形成方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109560040A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811108925.2

    申请日:2018-09-21

    Abstract: 本申请涉及一种包含用以增进电极粘合性的粘合层的集成电路及其形成方法。一些实施例中,集成电路包含连通柱介电层、粘合层及第一电极。粘合层上覆连通柱介电层,第一电极上覆并直接接触粘合层。粘合层在第一电极接触粘合层的界面处具有第一表面能,第一电极在界面处具有第二表面能。并且,第一表面能大于第二表面能,用以增进粘合性。

    半导体装置及其制作方法

    公开(公告)号:CN112687791B

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202010411079.2

    申请日:2020-05-15

    Abstract: 本发明实施例涉及半导体装置及其制作方法。本发明实施例提供一种半导体装置,其包含扩散势垒结构、底部电极、所述底部电极上方的顶部电极、切换层及罩盖层。所述底部电极在所述扩散势垒结构上方。所述顶部电极在所述底部电极上方。所述切换层在所述底部电极与所述顶部电极之间,且经配置以存储数据。所述罩盖层在所述顶部电极与所述切换层之间。所述扩散势垒结构的热导率大于近似20W/mK。

    RRAM器件及其形成方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112670407B

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202010639969.9

    申请日:2020-07-06

    Abstract: 本发明的实施例涉及电阻式随机存取存储器(RRAM)器件及其形成方法。在一些实施例中,可以通过在衬底上方形成第一电极结构来执行该方法。在第一电极结构上方形成掺杂的数据存储元件。通过在第一电极结构上方形成第一数据存储层以及在第一数据存储层上方形成第二数据存储层来形成掺杂的数据存储元件。第一数据存储层形成为具有第一掺杂浓度的掺杂剂,并且第二数据存储层形成为具有第二掺杂浓度的掺杂剂,该第二掺杂浓度小于第一掺杂浓度。在掺杂的数据存储元件上方形成第二电极结构。

    RRAM、集成芯片及其形成方法

    公开(公告)号:CN112151673B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202010592590.7

    申请日:2020-06-24

    Abstract: 本发明的各个实施例针对电阻式随机存取存储器(RRAM)单元,该RRAM单元包括:顶电极阻挡层,被配置为阻挡氮或一些其它合适的非金属元素从RRAM单元的顶电极至RRAM单元的有源金属层的移动。阻挡非金属元素的移动可以防止有源金属层和顶电极之间的不期望的切换层的形成。不期望的切换层将增加RRAM单元的寄生电阻,从而使得顶电极阻挡层可以通过防止不期望的切换层的形成来减小寄生电阻。本发明的实施例还涉及集成芯片及其形成方法。

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