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公开(公告)号：CN1830076A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200480021685.2
申请日：2004-07-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/304
CPC classification number: B32B38/1833 , B32B37/1284 , B32B2038/1891 , H01L21/67092 , H01L27/14634
Abstract: 在本发明的粘合方法及装置中，将薄板体(1)及其他部件(2)高平面度地保持在第一及第二保持部件(44、46)上，由控制机构(40a)，基于位置识别机构(33、34)的信息来控制移动机构(45)及调节平行度的机构(52)，从而将薄板体(1)与其他部件(2)定位成预定的位置关系，并且在通过加热单元(49)而保持为液态的液晶蜡(4)被夹在薄板体(1)与其他部件(2)之间的状态下控制移动机构(45)，从而通过使薄板体(1)与其他部件(2)相对移动来将液态的液晶蜡(4)扩展到整个表面上。因此，能够高精度且可靠、高效地将半导体晶片或金属箔等薄板体与其他部件粘合起来，而且粘合后还能够高效地进行分离。
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公开(公告)号：CN102290363B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201110166383.6
申请日：2011-06-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R31/2887 , H01L21/67242 , H01L21/67748
Abstract: 本发明提供一种实现检查装置的省空间化和轻量化的载置台驱动装置。本发明的载置台驱动装置20，具备：使检查室10内的载置台11在水平方向移动的水平方向驱动机构21；支承水平方向驱动机构21的基台22；在检查室10内使用压缩空气使载置台11从支承台12浮起的载置台浮起机构(例如，空气轴承)23；连结水平方向驱动机构21和载置台11的连结机构24；收容水平方向驱动机构21和基台22的壳体25。
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公开(公告)号：CN1698190A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200480000639.4
申请日：2004-06-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L21/67092 , B23K20/023 , B23K2101/40 , H01L21/4835 , H01L21/67057 , H01L23/481 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L24/90 , H01L2224/75 , H01L2224/7501 , H01L2224/75251 , H01L2224/75252 , H01L2224/75301 , H01L2224/75501 , H01L2224/75502 , H01L2224/75744 , H01L2224/75821 , H01L2224/80895 , H01L2224/8101 , H01L2224/81011 , H01L2224/81026 , H01L2224/81121 , H01L2224/81203 , H01L2224/81801 , H01L2224/81894 , H01L2224/83192 , H01L2224/83895 , H01L2224/90 , H01L2924/01006 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种夹压接合第一被接合物和第二被接合物的接合方法。本发明的接合方法具备：第一工序，将所述第一被接合物和所述第二被接合物分别保持在第一保持部件及第二保持部件上，以使所述第一被接合物的接合面与所述第二被接合物的接合面相向；第二工序，在将所述第一被接合物和所述第二被接合物保持在所述第一保持部件及所述第二保持部件上的状态下，用处理液处理所述第一被接合物的所述接合面及所述第二被接合物的所述接合面；第三工序，由所述第一保持部件及所述第二保持部件夹压所述第一被接合物及所述第二被接合物，使所述接合面彼此紧贴接合。
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公开(公告)号：CN102290363A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110166383.6
申请日：2011-06-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , G01R1/02 , G01R31/26
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R31/2887 , H01L21/67242 , H01L21/67748
Abstract: 本发明提供一种实现检查装置的省空间化和轻量化的载置台驱动装置。本发明的载置台驱动装置20，具备：使检查室10内的载置台11在水平方向移动的水平方向驱动机构21；支承水平方向驱动机构21的基台22；在检查室10内使用压缩空气使载置台11从支承台12浮起的载置台浮起机构(例如，空气轴承)23；连结水平方向驱动机构21和载置台11的连结机构24；收容水平方向驱动机构21和基台22的壳体25。
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公开(公告)号：CN100356538C
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200480000639.4
申请日：2004-06-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L21/67092 , B23K20/023 , B23K2101/40 , H01L21/4835 , H01L21/67057 , H01L23/481 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L24/90 , H01L2224/75 , H01L2224/7501 , H01L2224/75251 , H01L2224/75252 , H01L2224/75301 , H01L2224/75501 , H01L2224/75502 , H01L2224/75744 , H01L2224/75821 , H01L2224/80895 , H01L2224/8101 , H01L2224/81011 , H01L2224/81026 , H01L2224/81121 , H01L2224/81203 , H01L2224/81801 , H01L2224/81894 , H01L2224/83192 , H01L2224/83895 , H01L2224/90 , H01L2924/01006 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种夹压接合第一被接合物和第二被接合物的接合方法。本发明的接合方法具备：第一工序，将所述第一被接合物和所述第二被接合物分别保持在第一保持部件及第二保持部件上，以使所述第一被接合物的接合面与所述第二被接合物的接合面相向；第二工序，在将所述第一被接合物和所述第二被接合物保持在所述第一保持部件及所述第二保持部件上的状态下，用处理液处理所述第一被接合物的所述接合面及所述第二被接合物的所述接合面；第三工序，由所述第一保持部件及所述第二保持部件夹压所述第一被接合物及所述第二被接合物，使所述接合面彼此紧贴接合。
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公开(公告)号：CN100433287C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200480021685.2
申请日：2004-07-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/68 , H01L21/304
CPC classification number: B32B38/1833 , B32B37/1284 , B32B2038/1891 , H01L21/67092 , H01L27/14634
Abstract: 在本发明的粘合方法及装置中，将薄板体(1)及其他部件(2)高平面度地保持在第一及第二保持部件(44、46)上，由控制机构(40a)，基于位置识别机构(33、34)的信息来控制移动机构(45)及调节平行度的机构(52)，从而将薄板体(1)与其他部件(2)定位成预定的位置关系，并且在通过加热单元(49)而保持为液态的液晶蜡(4)被夹在薄板体(1)与其他部件(2)之间的状态下控制移动机构(45)，从而通过使薄板体(1)与其他部件(2)相对移动来将液态的液晶蜡(4)扩展到整个表面上。因此，能够高精度且可靠、高效地将半导体晶片或金属箔等薄板体与其他部件粘合起来，而且粘合后还能够高效地进行分离。
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公开(公告)号：CN100355061C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200480000487.8
申请日：2004-07-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L23/12
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/00 , H01L21/4803 , H01L21/563 , H01L21/67109 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/73203 , H01L2924/01029 , H01L2924/01078 , H01L2924/12042 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供通过将形成铸型图案的模具部件(40)按压到在作为被加工物体的基板(50)的主面上形成的膜被上，使铸型图案复印到膜被上的刻印方法。将多块基板(50)固定在吸盘台(20)上，并且可以用加热器(21)和冷却管(22)选择地加热基板。将模具部件(40)固定在与载物台(20)相对配置的顶部板(30)上。决定被选择加热的基板(50)和模具部件(40)的相互位置，使模具部件(40)按压在该基板(50)上的膜被上。反复进行该操作，对全部基板实施刻印。
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公开(公告)号：CN1698196A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200480000487.8
申请日：2004-07-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L23/12
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/00 , H01L21/4803 , H01L21/563 , H01L21/67109 , H01L24/75 , H01L24/81 , H01L2224/73203 , H01L2924/01029 , H01L2924/01078 , H01L2924/12042 , H01L2924/30107 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供通过将形成铸型图案的模具部件(40)按压到在作为被加工物体的基板(50)的主面上形成的膜被上，使铸型图案复印到膜被上的刻印方法。将多块基板(50)固定在吸盘台(20)上，并且可以用加热器(21)和冷却管(22)选择地加热基板。将模具部件(40)固定在与载物台(20)相对配置的顶部板(30)上。决定被选择加热的基板(50)和模具部件(40)的相互位置，使模具部件(40)按压在该基板(50)上的膜被上。反复进行该操作，对全部基板实施刻印。
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