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公开(公告)号：CN101606217A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200880004331.5
申请日：2008-03-28
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
IPC分类号： H01J37/317 , C23C14/48 , H01L21/265
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/147 , H01J37/304 , H01J2237/24542
摘要： 本发明的离子注入装置(10)包括：离子源(22)，产生离子束；离子束整形部(20)，将产生的离子束整形为带状离子束；射束输送部(30)，在使带状离子束的厚度方向上的厚度变薄并使其收敛后，使带状离子束照射到处理基板(62)上；处理部(60)，将带状离子束照射到处理基板(62)上；透镜单元(40)，对带状离子束的电流密度分布进行调整，在该电流密度分布中带状离子束的射束厚度方向的电流密度的和值是以射束宽度方向的分布来表示的，其中，所述透镜单元(40)按照在离子束的收敛位置(52)附近区域调整对离子束的电流密度分布进行调整的方式设置。根据该构成，将带状离子束的一部分在带状离子束的内面稍微弯曲，从而能够精度良好地调整电流密度分布。
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公开(公告)号：CN101983413B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200980112060.X
申请日：2009-03-24
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
IPC分类号： H01J37/317 , C23C14/48 , G21K1/087 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J37/04 , H01L21/265
CPC分类号： H01J37/12 , C23C14/48 , G21K1/093 , H01J37/3171 , H01J2237/0453 , H01J2237/30433
摘要： 此离子注入装置，是为了对离子束的电流密度分布作调整，而具备有：透镜要素，是沿着带状离子束的束宽幅方向来排列若干个单位透镜要素，并对于各单位透镜要素所作出的磁场或电场作调整；和控制部，是按照计测出的电流密度分布，而对在透镜要素中所调整的单位透镜要素所作出的磁场或电场的强度作设定。从透镜要素的若干个单位透镜要素中，将对应于所欲作调整的位置的单位透镜要素所作出的磁场或电场的调整强度，由计测出的电流密度分布来求取出来，同时，对于邻接于前述单位透镜要素的单位透镜要素所作出的磁场或电场，而将所求取出的调整强度乘以一定的比例所得到的值，作为磁场或电场的调整强度而求取出来。
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公开(公告)号：CN101960554A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106354.1
申请日：2009-03-23
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/08 , H01J37/3171 , H01J2237/082
摘要： 本发明的一种离子源(1)，包括设置用于引出离子束(B)的开口部(20)的第一壁面(30)、沿磁铁(26、28)的配置方向延伸的第二壁面(32)以及细丝(12)。该细丝(12)从第二壁面(32)沿与磁铁(26、28)的配置方向不同的方向竖直设置，并在其中心部折回以形成不相接触的X状交叉的环状(40)。由此，能够不扩大磁铁间的距离而增大离子束电流，同时能够低成本地制造细丝且提供鲁棒性高的离子源。
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公开(公告)号：CN101960554B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200980106354.1
申请日：2009-03-23
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/08 , H01J37/3171 , H01J2237/082
摘要： 本发明的一种离子源(1)，包括设置用于引出离子束(B)的开口部(20)的第一壁面(30)、沿磁铁(26、28)的配置方向延伸的第二壁面(32)以及细丝(12)。该细丝(12)从第二壁面(32)沿与磁铁(26、28)的配置方向不同的方向竖直设置，并在其中心部折回以形成不相接触的X状交叉的环状(40)。由此，能够不扩大磁铁间的距离而增大离子束电流，同时能够低成本地制造细丝且提供鲁棒性高的离子源。
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公开(公告)号：CN101960553B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200980108024.6
申请日：2009-03-04
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
CPC分类号： H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/082 , H01J2237/16
摘要： 本发明的离子源(1)具有：等离子体容器(10)；和一对热电子释放元件(12、14)，该一对热电子释放元件在等离子体容器(10)的内部空间中释放热电子；和电源，其使电流各流入至热电子释放元件(12、14)。曝露于等离子体容器(10)内的等离子体的内壁面，和热电子释放元件(12、14)的曝露于等离子体且释放热电子的部分，是以相同金属为主成分的材料所构成。因此，在离子源(1)在运转中，在热电子释放元件(12、14)的表面附着的堆积层的成分和热电子释放元件(12、14)的材料是同一成分，据此，能够释放稳定的热电子，同时，使至交换热电子释放元件(12、14)的离子源(1)的运转时间变长。
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公开(公告)号：CN102803693A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201180014895.9
申请日：2011-03-18
申请人： 三井造船株式会社
CPC分类号： B63H21/22 , F02D31/001 , F02D41/1402 , F02D41/1497 , F02D2041/1409 , F02D2041/1416 , F02D2041/1422 , F02D2041/1437 , F02D2200/101
摘要： 本发明提供一种船舶用发动机控制装置以及方法。设置将包括船体、主机、螺旋桨的控制对象（10）进行模拟的观测器（12）。将来自用于控制主机的控制部（11）的调速器指令（u）作为观测器（12）的输入。将主机的实际旋转数（Ne）反馈到观测器（12）。将在观测器（12）中推定的老化前的船速（Vmo）保存在存储器（13）中。在老化后，根据由观测器（12）推定的船速（Vm）与老化前的船速（Vmo）之差，修正控制参数。
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公开(公告)号：CN101983413A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200980112060.X
申请日：2009-03-24
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
IPC分类号： H01J37/317 , C23C14/48 , G21K1/087 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J37/04 , H01L21/265
CPC分类号： H01J37/12 , C23C14/48 , G21K1/093 , H01J37/3171 , H01J2237/0453 , H01J2237/30433
摘要： 此离子注入装置，是为了对离子束的电流密度分布作调整，而具备有：透镜要素，是沿着带状离子束的束宽幅方向来排列若干个单位透镜要素，并对于各单位透镜要素所作出的磁场或电场作调整；和控制部，是按照计测出的电流密度分布，而对在透镜要素中所调整的单位透镜要素所作出的磁场或电场的强度作设定。从透镜要素的若干个单位透镜要素中，将对应于所欲作调整的位置的单位透镜要素所作出的磁场或电场的调整强度，由计测出的电流密度分布来求取出来，同时，对于邻接于前述单位透镜要素的单位透镜要素所作出的磁场或电场，而将所求取出的调整强度乘以一定的比例所得到的值，作为磁场或电场的调整强度而求取出来。
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公开(公告)号：CN107614858A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680020243.9
申请日：2016-04-04
申请人： 三井造船株式会社
摘要： 设置第1燃料气体供给管路(14)，所述第1燃料气体供给管路(14)将液货舱(11)内的蒸发气体(BOG)作为燃料气体经由高压气体压缩机(13)向主发动机(12)供给。设置第2燃料气体供给管路(21)，所述第2燃料气体供给管路(21)通过泵(22)吸取液货舱(11)内的液化气，并使用高压液泵(24)、气体加热器(25)生成高压气体。在液化气装载时的航行中，当燃料气体仅凭BOG就足够时，仅使用第1燃料气体供给管路(14)，当燃料气体仅凭BOG而不够时，则组合使用第2燃料气体供给管路(21)。在液化气空载时的航行中，当不进行喷淋作业时，仅使用第2燃料气体供给管路(21)。
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公开(公告)号：CN103069135A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180040097.3
申请日：2011-07-29
申请人： 三井造船株式会社
摘要： 检测连结于主发动机（12）的主轴（14）的实际转速NE。相对于转速指令NO以及实际转速NE的偏差在控制计算部（17）实施PID计算。将通过PID计算得到的调速器指令输出至调速器（13），控制供给至主发动机（12）的燃料量。此外，将调速器指令以及实际转速NE输入至控制对象S的观测器（18），推定螺旋桨流入速度变动。在计算部（19）中使螺旋桨流入速度变动与规定增益相乘再与转速指令NO相加，对转速指令NO进行补正。
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公开(公告)号：CN102959216A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180029356.2
申请日：2011-07-29
申请人： 三井造船株式会社
CPC分类号： B63H21/22 , B63H21/12 , F02D29/02 , F02D31/001 , F02D41/021
摘要： 本发明提供一种船舶的引擎控制装置及方法。反馈作为控制对象（10）的船舶主机的转速（Ne），求得其与目标转速（No）之间的偏差，输入给控制部（11）。在控制部（11）中，进行将主机转速（Ne）维持为目标转速（No）的PID运算，输出调节器指令。在控制对象（10）中检测舵角。根据在运算部（12）中检测的舵角，计算调节器指令的校正量。根据算出的校正量，校正调节器指令。以检测的舵角越大、调节器指令越为较大的值的方式计算校正量。
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