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公开(公告)号：CN1526154A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN02807672.9
申请日：2002-04-03
申请人： 瓦里安半导体设备联合公司
发明人： 詹米·M·雷耶斯
CPC分类号： H01J27/04 , H01J27/08 , H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/31701 , H01L21/26506 , H01L21/2658
摘要： 这项发明提供离子源灯丝以及相关联的方法和装置。这种离子源灯丝具有与某些传统的离子源灯丝相比发射电子的表面区域(即活性部分)较小的设计。适当的设计包括具有V－形或U－形活性部分的灯丝，而不是在某些传统的离子源灯丝中的那种卷曲的活性部分。这项发明的离子源灯丝能提高离子生成的效率，尤其是多电荷离子的生成效率。这种提高的离子生成效率可以使形成具有适合植入的较高的束电流的离子束成为可能。
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公开(公告)号：CN101960553B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200980108024.6
申请日：2009-03-04
申请人： 三井造船株式会社
发明人： 辻康之
CPC分类号： H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/082 , H01J2237/16
摘要： 本发明的离子源(1)具有：等离子体容器(10)；和一对热电子释放元件(12、14)，该一对热电子释放元件在等离子体容器(10)的内部空间中释放热电子；和电源，其使电流各流入至热电子释放元件(12、14)。曝露于等离子体容器(10)内的等离子体的内壁面，和热电子释放元件(12、14)的曝露于等离子体且释放热电子的部分，是以相同金属为主成分的材料所构成。因此，在离子源(1)在运转中，在热电子释放元件(12、14)的表面附着的堆积层的成分和热电子释放元件(12、14)的材料是同一成分，据此，能够释放稳定的热电子，同时，使至交换热电子释放元件(12、14)的离子源(1)的运转时间变长。
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公开(公告)号：CN101401185A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200780008535.1
申请日：2007-01-15
申请人： 威科仪器有限公司
发明人： 戴维·M·伯特内尔 , 斯科特·A·汤森 , 丹尼尔·E·西格弗里德
CPC分类号： H01J27/14
摘要： 一种具有可拆卸的阳极组件(1550)的离子源(1500)，该阳极组件可与底部组件(1552)分开，以允许容易地维修阳极组件(1550)的消耗构件。这些消耗件易于拆卸及替换并可以包括气体分配器(1510)、热控制板(1508)、阳极(1512)、以及介于其他构件(1516、1518、1520)之间的一个或多个传热片(1516、1518、1520)。磁极片(1514)及阴极(1540)也可以是阳极组件(1550)的一部分。阳极组件(1550)可以通过磁极片(1514)连接至底部组件(1552)。热控制板(1508)可以具有用于使工作气体从热控制板(1508)的一侧流向另一侧的口(1598)。热控制板(1508)上的接合表面(1521)可以具有凹口图案，以允许工作气体散布到气体分配器(1510)下面。气体分配器(1510)可以通过多个固定螺钉(1542)安装至阳极组件(1550)中的热控制板(1508)。气体分配器(1510)可以是在一表面中具有沉孔(1548)的圆盘状，以使固定螺钉(1542)的螺母(1544)凹入。可替代地，气体分配器(1510)可以通过离子源(1500)的其他结构或构件夹紧或保持在适当位置。阳极组件(1550)内的消耗构件之间可以插入有传热片(1516、1518、1520)。传热片(1516、1518、1520)可以是导热的且是电绝缘的或导电的。
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公开(公告)号：CN1132219C
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：CN97198178.7
申请日：1997-07-24
申请人： 菲尔帕斯真空技术私人有限公司
CPC分类号： H01J37/32055 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C14/3414 , H01J27/14 , H01J37/32614 , H01J37/3266
摘要： 阴极电弧源具有用于产生彼此相反或反向的第一和第二磁场的装置。所得到的磁场包括靶和衬底之间但接近于靶的零点。在零点垂直于靶的场强为零，而在零点平行于靶的场强很强。靶是通过没有粘合材料而在高温和高压力下模压石墨粉末制成的。源和靶都对减小淀积膜中的宏观粒子起作用。
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公开(公告)号：CN1235695A
公开(公告)日：1999-11-17
申请号：CN97198178.7
申请日：1997-07-24
申请人： 菲尔帕斯真空技术私人有限公司
CPC分类号： H01J37/32055 , C23C14/0605 , C23C14/325 , C23C14/3414 , H01J27/14 , H01J37/32614 , H01J37/3266
摘要： 阴极电弧源具有用于产生彼此相反或反向的第一和第二磁场的装置。所得到的磁场包括靶和衬底之间但接近于靶的零点。在零点垂直于靶的场强为零,而在零点平行于靶的场强很强。靶是通过没有粘合材料而在高温和高压力下模压石墨粉末制成的。源和靶都对减小淀积膜中的宏观粒子起作用。
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公开(公告)号：CN103298969B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201180053875.2
申请日：2011-10-31
CPC分类号： H05H1/48 , C23C14/325 , H01J27/14 , H01J37/32055 , H01J37/3266 , H05H1/50
摘要： 本发明涉及一种用于形成真空电弧阴极侵蚀等离子体流以产生高质量涂层的技术。在利用电磁线圈产生的传输磁场的作用下，等离子体流在等离子体光学系统中从电弧蒸发器传输至等离子体源出口。传输磁场由恒定磁场和强度可变附加磁场的叠加产生，该强度可变附加磁场使等离子体流从等离子体源的结构元件的表面偏转。当等离子体流接近等离子体源的结构元件的表面时，对应的附加磁场强度增强，当等离子体流远离该元件的表面时对应的附加磁场强度减弱。在用于实施上述方法的装置中，真空电弧电源（15）通过环绕所述阳极的电磁线圈（16）的绕组与阳极（2）连接。在等离子体光学系统的线性实施例中，阳极（2）内的管（11）的导电部分与电磁偏转线圈（12）的绕组的一端电连接。该绕组的另一端与真空电弧电源（15）的正极端子连接。利用上述方法和装置，显著降低了大粒子自由等离子体的损失。
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公开(公告)号：CN101401185B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200780008535.1
申请日：2007-01-15
申请人： 威科仪器有限公司
发明人： 戴维·M·伯特内尔 , 斯科特·A·汤森 , 丹尼尔·E·西格弗里德
CPC分类号： H01J27/14
摘要： 一种具有可拆卸的阳极组件(1550)的离子源(1500)，该阳极组件可与底部组件(1552)分开，以允许容易地维修阳极组件(1550)的消耗构件。这些消耗件易于拆卸及替换并可以包括气体分配器(1510)、热控制板(1508)、阳极(1512)、以及介于其他构件(1516、1518、1520)之间的一个或多个传热片(1516、1518、1520)。磁极片(1514)及阴极(1540)也可以是阳极组件(1550)的一部分。阳极组件(1550)可以通过磁极片(1514)连接至底部组件(1552)。热控制板(1508)可以具有用于使工作气体从热控制板(1508)的一侧流向另一侧的的口(1598)。热控制板(1508)上的接合表面(1521)可以具有凹口图案，以允许工作气体散布到气体分配器(1510)下面。气体分配器(1510)可以通过多个固定螺钉(1542)安装至阳极组件(1550)中的热控制板(1508)。气体分配器(1510)可以是在一表面中具有沉孔(1548)的圆盘状，以使固定螺钉(1542)的螺母(1544)凹入。可替代地，气体分配器(1510)可以通过离子源(1500)的其他结构或构件夹紧或保持在适当位置。阳极组件(1550)内的消耗构件之间可以插入有传热片(1516、1518、1520)。传热片(1516、1518、1520)可以是导热的且是电绝缘的或导电的。
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公开(公告)号：CN1288696C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN01138429.8
申请日：2001-11-09
申请人： 日新意旺机械股份公司
发明人： 宫本直树
CPC分类号： H01J27/14
摘要： 在离子源中，背反射器(10)与等离子体产生器(2)和与灯丝(6)之间均为电绝缘。背反射器(10)与反向反射器之间为电连接。此外，直流偏置电源(32)是与灯丝电源(24)和与电弧电源(26)相独立的电源。直流偏置电源(32)用于在反向反射器8和背反射器(10)与等离子体产生器之间施加偏压(VB)，并且以二个反射器(8)和(10)作为负电位。在运行离子源时，控制来自所述直流偏置电源的直流偏压输出的幅度以便对从所述离子源拉出的离子束的数量进行控制。
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公开(公告)号：CN1420521A
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN02160609.9
申请日：2002-11-16
申请人： 日新电机株式会社
发明人： 山下贵敏
CPC分类号： H01J27/14
摘要： 一种称为Bernas－型的离子源又另外增设正极和偏置电源。正极设置在等离子体产生窒内并且与等离子体产生窒电绝缘。正极至少在磁场产生器产生的磁场的X方向的两边和抽出口的一边(离子束抽出方向的一边)各形成有一个开口共三个开口。偏置电源把偏置电压施加于正极和等离子体产生窒上。组成部件结合在一起后，正极可用作回推等离子体内的离子，另外还可以吸收二次电子，由此来增加在等离子体中的多电荷离子的比率。
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