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公开(公告)号：CN114008405A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201980097215.0
申请日：2019-06-07
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
Inventor： 阿兰·库特维尔 , 查兰库马尔·戈达瓦拉蒂
IPC: G01B9/0209 , G01B9/023 , G01B11/00 , G01B11/06 , G01B11/14 , G01B11/27 , G01M11/02 , G02B21/00 , G02B27/62 , G06T7/00 , G01B11/24 , G06T7/521
Abstract: 本发明涉及一种用于测量包括多个界面的光学元件(1000)的界面(103)的形状的方法和设备(1)，该设备(1)包括：测量装置(4000、6000、7000)，其具有由低相干源(402、612、712)照射的至少一个干涉测量传感器，其配置为将测量光束(106、606)导向光学元件(1000)以穿过所述多个界面，并且选择性地检测由被所述待测界面(103)反射的测量光束(106、606)与参考光束(616、716)之间的干涉产生的干涉信号；定位装置(608、611、708、711)，其配置用于将干涉测量传感器的相干区域相对定位在待测界面的层面处；数字处理装置，其配置以基于干涉信号、根据视场(108)产生所述待测界面(103)的形状信息。
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公开(公告)号：CN113841023A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202080018726.1
申请日：2020-03-02
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
IPC: G01B9/02 , G01B11/14 , G01B11/27 , G01M11/02 , G01B11/00 , G01B11/06 , G06T7/00 , G02B27/62 , G02B21/00
Abstract: 一种用于测量形成包括称为“参考”光学元件的至少一个光学元件的多个类似光学元件的一部分的待测量光学元件(5)的界面的设备和方法(100)，该方法(100)包括以下步骤：所述参考光学元件和测量光束(11)的相对定位(102)；获取(104)“参考”图像；相对于视场定位(106)待测量光学元件(5)，以允许获取“测量”图像；确定(107)所述待测量光学元件(5)相对于参考光学元件的位置差别；调整(110)所述待测量光学元件(5)的位置，以消除所述位置差别；以及，借助于所述测量光束(11)来测量(112)待测量光学元件(5)的界面。
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公开(公告)号：CN113767421A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080030497.5
申请日：2020-02-10
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
Inventor： 阿兰·库特维尔 , 阿德里安·凯撒 , 荷西·阿朗索·伊瓦内斯·塞佩达
IPC: G06T7/254
Abstract: 本发明涉及一种用于监控机器人的环境的方法(200)，所述方法具有包括以下步骤的检测阶段(220)的至少一次迭代：‑在测量时刻，通过所述至少一个3D摄像机，获取(222)所述环境的称作测量图像的深度图像，‑校准(228)所述参考图像和测量图像，和‑通过比较所述参考图像和测量图像，检测(230)关于所述机器人的环境中的物体的变化。本发明还涉及一种实施这种方法的设备和配备有这种设备的机器人。
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公开(公告)号：CN105829971B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201480066168.0
申请日：2014-11-28
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
IPC: G03F9/00
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F9/703 , G03F9/7038 , G03F9/7088
Abstract: 本发明涉及用于相对于晶片(11)的表面定位掩模(10)以暴露所述晶片(11)的装置。所述装置包括：(i)第一定位单元(20)，其能够使所述掩模(10)和所述晶片(11)相对于彼此保持和移动；(ii)成像单元(20、22、23、30)，其能够沿着至少一个视场(14)生成掩模(10)的和晶片(11)的表面的至少一个图像，以在所述视场(14)内对所述掩模(10)和所述晶片(11)的定位标记(12、13)同时成像；和(iii)至少一个光学距离传感器(26)，其能够利用至少部分穿过成像单元的测量光束(15、28)在所述视场(一个或更多个)(14)内产生晶片(11)的表面和掩模(10)之间的距离测量。本发明还涉及在所述装置中实施的方法和一种设备。
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公开(公告)号：CN104620072A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380044286.7
申请日：2013-08-16
Applicant: FOGALE纳米技术公司
CPC classification number: G06T7/0012 , B24B37/005 , B24B49/12 , G01B9/02091 , G01B11/06 , G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01B11/14 , G01N21/9501 , G06T7/0008 , G06T7/001 , G06T2207/10004 , G06T2207/10152 , G06T2207/30148 , H04N5/2256 , H04N7/18
Abstract: 本发明涉及一种用于透过对象(20)、如晶片的表面来定位结构以相对于所述结构布置测量传感器(45、46、47)的成像装置，其包括：(i)成像传感器(22)；(ii)能够在所述成像传感器(22)上产生在视场中的对象(20)的图像的光学成像单元(34)；和(iii)用于产生照明光束(25、30)并以反射方式照亮所述视场的照明单元(23、27)，其中所述照明单元能够产生照明光束(25、30)，所述照明光束(25、30)的光谱成分适合于所述对象(20)的性质以使得所述光束(25、30)的光基本能够射入到所述对象(20)中。本发明还涉及用于在对象(20)、如晶片上进行尺寸测量的系统和方法。
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公开(公告)号：CN104321726A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380021798.1
申请日：2013-04-16
Applicant: FOGALE纳米技术公司
CPC classification number: G06F3/044 , G06F3/0416 , G06F3/0418 , G06F3/0484 , G06F2203/04104 , G06F2203/04107 , G06F2203/04108
Abstract: 本发明涉及具有透明检测区域和通路区域的人机界面设备，所述设备包括：在检测区域中的具有由透明导电材料制成的电极的表面，布置在所述通路区域中并连接至所述具有电极的表面的导电连接轨道，存在于透明区域中并用作对所述具有电极的表面的保护装置的由透明材料制成的第一导电表面。导电连接轨道布置在用作这些导电连接轨道的第二和第三保护装置的第二和第三导电表面之间。设备还包括由透明导电材料制成的联接轨道以将导电连接轨道连接至具有电极的表面的电极，这些联接轨道为：当这些连接轨道位于检测表面上时，定位于电极之间，和当这些联接轨道位于通路区域中时，定位于第二和第三保护装置之间。
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公开(公告)号：CN112154311B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201980032657.7
申请日：2019-02-14
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
Abstract: 本发明涉及一种电容感测装置(200)，该电容感测装置包括一组多个检测电极(202i)，用于分别在检测位置进行电容检测。每个检测电极(202i)至少由第一测量电极(204i)和第二测量电极(206i)形成。该装置(200)还包括第一检测电子器件(1001)，其与第一测量电极(2021‑202n)一起形成第一测量通道，该第一测量通道独立于由第二检测电子器件(1002)与第二测量电极形成的第二测量通道(2021‑202n)。因此，对于每个检测位置，检测装置实施至少两个冗余且独立的检测操作。
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公开(公告)号：CN109304734B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201810751669.2
申请日：2018-07-10
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
Inventor： 迪迪埃·罗齐埃 , 弗雷德里克·奥萨尔特
Abstract: 本发明涉及一种机器人(300)，其包括电容检测电极(118)；和至少一个电极化装置(1202)，用于在称为工作频率的频率下以与一般地电位(MG)不同的第一交变电位使测量电极(118)极化。所述机器人的特征在于，对于外壁(1041、1141)至少部分不导电的被称为装配子部件(104、114)的至少一个子部件，所述至少一个极化装置(1202)还设置为在所述工作频率下以与所述第一电位相同或基本相同的称为保护电位的交变电位(VG)对所述装配子部件(104、114)的电元器件(1042、1142)进行电保护。
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公开(公告)号：CN106575356A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580040396.5
申请日：2015-07-29
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
Inventor： 伯努瓦·图伊
IPC: G06K9/00 , G06T5/00 , G06T5/10 , H01L23/544
CPC classification number: G06T7/0004 , G06K9/00503 , G06K9/0051 , G06K9/36 , G06K19/06009 , G06T5/002 , G06T5/10 , G06T2207/20048 , G06T2207/20056 , G06T2207/30141 , G06T2207/30148 , H01L21/67294 , H01L23/544 , H01L2223/544 , H01L2223/54406 , H01L2223/54413 , H01L2223/54433 , H01L2223/54453 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及用于从包括周期性干扰图案的测量信号中提取感兴趣的信息的方法，其包括以下步骤：(i)通过基于形态学标准对测量信号的幅度谱进行分析来生成代表干扰图案的频率分量的滤波函数，(ii)对测量信号应用所述滤波函数以生成基本上由干扰图案构成的干扰信号，以及(iii)通过确定测量信号和干扰信号之差来计算滤波信号。本发明还涉及执行该方法的装置。
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公开(公告)号：CN110249529B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201780085655.5
申请日：2017-11-23
Applicant: FOGALE 纳米技术公司
Inventor： 克里斯蒂安·尼尔 , 弗雷德里克·奥萨尔特 , 迪迪埃·罗齐埃
IPC: H03K17/975 , H03K17/955 , H03K17/96
Abstract: 本发明涉及一种检测装置(300)包括：检测电极(106)和第二电极(108)，检测电极与第二电极分离通过物体(102)施加到检测表面(104)上的负荷而局部弹性可改变的距离(D)；以及控制器件(116)，其被设置为将电极(106、108)连接到交流保护电位(Vg)以测量表示接近和接触的电容，并且将第二电极(108)连接到与保护户电位(Vg)成比例并且具有不同振幅的第二电位或者连接到地电位(M)，以测量表示压力的电容。本发明还涉及一种使用这种装置的检测方法。
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