公开(公告)号：CN105829971B

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201480066168.0

申请日：2014-11-28

Applicant: FOGALE 纳米技术公司

Inventor： 吉莱斯·弗莱斯阔特 ,  格纳尔·瑞贝特

IPC: G03F9/00

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F9/703 ,  G03F9/7038 ,  G03F9/7088

Abstract: 本发明涉及用于相对于晶片(11)的表面定位掩模(10)以暴露所述晶片(11)的装置。所述装置包括：(i)第一定位单元(20)，其能够使所述掩模(10)和所述晶片(11)相对于彼此保持和移动；(ii)成像单元(20、22、23、30)，其能够沿着至少一个视场(14)生成掩模(10)的和晶片(11)的表面的至少一个图像，以在所述视场(14)内对所述掩模(10)和所述晶片(11)的定位标记(12、13)同时成像；和(iii)至少一个光学距离传感器(26)，其能够利用至少部分穿过成像单元的测量光束(15、28)在所述视场(一个或更多个)(14)内产生晶片(11)的表面和掩模(10)之间的距离测量。本发明还涉及在所述装置中实施的方法和一种设备。

公开(公告)号：CN105829971A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201480066168.0

申请日：2014-11-28

Applicant: FOGALE纳米技术公司

Inventor： 吉莱斯·弗莱斯阔特 ,  格纳尔·瑞贝特

IPC: G03F9/00

CPC classification number: G03F7/70733 ,  G03F9/703 ,  G03F9/7038 ,  G03F9/7088

Abstract: 本发明涉及用于相对于晶片(11)的表面定位掩模(10)以暴露所述晶片(11)的装置。所述装置包括：(i)第一定位单元(20)，其能够使所述掩模(10)和所述晶片(11)相对于彼此保持和移动；(ii)成像单元(20、22、23、30)，其能够沿着至少一个视场(14)生成掩模(10)的和晶片(11)的表面的至少一个图像，以在所述视场(14)内对所述掩模(10)和所述晶片(11)的定位标记(12、13)同时成像；和(iii)至少一个光学距离传感器(26)，其能够利用至少部分穿过成像单元的测量光束(15、28)在所述视场(一个或更多个)(14)内产生晶片(11)的表面和掩模(10)之间的距离测量。本发明还涉及在所述装置中实施的方法和一种设备。