拆解装置
    82.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104760400A

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201510159011.9

    申请日:2015-04-03

    Inventor: 赵婷婷

    Abstract: 本发明提供一种拆解装置,所述拆解装置用于拆卸组件,所述组件包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板和所述第二基板之间设置有粘合胶,所述拆解装置包括相对设置的两个固定机构,所述两个固定机构分别用于固定第一基板和第二基板,所述两个固定机构之间能够产生互相靠近或远离的相对移动,所述拆解装置还包括用于对所述粘合胶进行处理的胶体处理机构,以使得处理后的粘合胶与所述第一基板之间的粘合力小于处理前的粘合胶与第一基板之间的粘合力;和/或处理后的粘合胶与所述第二基板之间的粘合力小于处理前的粘合胶与第二基板之间的粘合力。本发明能够有效地将互相粘合的第一基板和第二基板进行拆解。

    压电设备以及压电设备的制造方法

    公开(公告)号:CN102668376A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080052988.6

    申请日:2010-11-22

    Inventor: 伊藤是清

    Abstract: 本发明提供一种即使在压电薄膜与支撑体之间设置用于接合的中间层,谐振特性也不会劣化的压电设备及压电设备的制造方法。在注入氢离子在压电单晶基板(1)内形成离子注入部分之后,在压电单晶基板(1)的背面(12)形成金属制的中间层(32)。然后,经由该中间层(32)对压电单晶基板(1)与支撑体(30)进行接合。将形成了离子注入部分的复合压电体(2)、或者对压电单晶基板(1)进行了加热分离的复合压电基板(3)以450℃至700℃进行加热,使中间层的金属氧化来使导电性降低。这样,通过形成金属的中间层,从而能够使压电基板与支撑体可靠地贴紧,而且由于使中间层的金属氧化,因此能够使中间层的导电性降低,能够提供一种谐振特性良好的压电设备。

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