一种纳米颗粒空间原子层沉积连续包覆装置及方法

    公开(公告)号:CN107254675B

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201710423764.5

    申请日:2017-06-07

    CPC分类号: C23C16/45551 C23C16/4417

    摘要: 本发明公开了一种纳米颗粒空间原子层沉积连续包覆装置,包括依次连接的第一、第二、第三及第四级管路单元;所述第一级管路单元用于提供第一前驱体(3),并使第一前驱体(3)在纳米颗粒的表面完成吸附;所述第三级管路单元用于提供第二前驱体(6),并使第二前驱体(6)与所述纳米颗粒表面的第一前驱体(3)发生反应,以在纳米颗粒表面生成单分子薄膜层;所述第二、第四级管路单元用于对所述纳米颗粒进行清洗,排出多余的第一前驱体(3)、第二前驱体(6)或反应产生的副产物。本发明还公开了一种纳米颗粒空间原子层沉积连续包覆方法。本发明的装置,提高沉积薄膜的包覆率和均匀性,提高粉体表面包覆的效率。