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公开(公告)号：CN100351422C
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200410074975.5
申请日：1998-12-04
申请人： 韩国科学技术研究院
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C16/4417 , C23C16/486 , D06B19/00 , H01J37/317 , H01J2237/338
摘要： 本发明公开了一种用离子束对粉末材料进行表面改性的装置，该装置包括：室腔；用于在该室腔中保持真空的真空设施；带有用于产生离子束的离子枪的、安装在室腔上部的离子源；用于夹持被来自离子源的离子束照射的粉末材料并搅拌该粉末材料的夹持器设施；和用于向该粉末材料输送反应气体的反应气体输送设施。
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公开(公告)号：CN1272141A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN98805947.9
申请日：1998-12-03
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/503 , B05D1/62 , B05D3/148 , B05D5/083 , C23C16/30 , C23C16/50 , C23C16/515 , C23C16/56 , F25B47/003 , F28F13/18 , F28F2245/02 , F28F2245/04
摘要： 本发明提供了一种利用等离子体聚合进行表面处理的方法,该方法通过DC放电等离子体对金属表面进行处理以提高该金属在制冷和空调装置中的应用,包括如下步骤:在反应室内安装阴极电极和表面待改进的金属基质的阳极电极;将反应室内的压力维持在预定的真空度下;向反应室内送入反应气体,所述反应气体包括预定压力的不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和含硅单体气,和预定压力的非聚合气;以及为获得DC放电,向电极施加电压,以此获得由不饱和脂肪烃单体气和非聚合气产生的正、负离子和激离基所组成的等离子体,然后通过等离子体沉积在阳极电极表面上形成具有亲水性的聚合物。本发明还提供了利用RF等离子体通过等离子聚合反应对金属进行表面出来的方法,以提高该金属在制冷和空调装置中如在构造热交换器中的应用。
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公开(公告)号：CN1227385C
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN98811776.2
申请日：1998-12-04
申请人： 韩国科学技术研究院
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C16/4417 , C23C16/486 , D06B19/00 , H01J37/317 , H01J2237/338
摘要： 公开了一种用离子束(IB)对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置，该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压(220)以控制照射到该材料上的离子束的能量，能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度，在该真空室中离子束从产生离子束的部分照射，而且该装置也能够用于两面照射处理和连续处理。
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公开(公告)号：CN1619008A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN200410074975.5
申请日：1998-12-04
申请人： 韩国科学技术研究院
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C16/4417 , C23C16/486 , D06B19/00 , H01J37/317 , H01J2237/338
摘要： 公开了一种用离子束(IB)对聚合物，金属和陶瓷材料进行表面改性的装置，该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压(220)以控制照射到该材料上的离子束的能量，能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度，在该真空室中离子束从产生离子束的部分照射，而且该装置也能够用于两面照射处理和连续处理。
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公开(公告)号：CN1116437C
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN98805946.0
申请日：1998-11-21
申请人： 韩国科学技术研究院
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/30 , B05D1/62 , B05D5/083 , B05D2201/00 , B05D2203/30 , C23C16/503
摘要： 本发明提供了一种通过等离子体聚合进行表面处理的方法，该方法利用DC放电等离子体对金属表面进行处理，包括如下步骤：在反应室内安装阴极电极和表面待处理的金属基质的阳极电极；将反应室内的压力维持在预定的真空度下；以预定的压力向反应室内送入不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和以预定的压力向反应室内送入非聚合气；以及为获得DC放电，向电极施加电压，以此获得由不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和非聚合气产生的正、负离子和游离基所组成的等离子体，然后通过等离子体沉积在阳极电极表面上形成具有亲水性或疏水性的聚合物。本发明还提供了利用RF放电等离子体由等离子体聚合对材料(包括金属、陶瓷或聚合物)的表面进行处理的方法。
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公开(公告)号：CN1116438C
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN98805947.9
申请日：1998-12-03
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/503 , B05D1/62 , B05D3/148 , B05D5/083 , C23C16/30 , C23C16/50 , C23C16/515 , C23C16/56 , F25B47/003 , F28F13/18 , F28F2245/02 , F28F2245/04
摘要： 本发明提供了一种利用等离子体聚合进行表面处理的方法，该方法通过DC放电等离子体对金属表面进行处理以提高该金属在制冷和空调装置中的应用，包括如下步骤：在反应室内安装阴极电极和表面待改进的金属基质的阳极电极；将反应室内的压力维持在预定的真空度下；向反应室内送入反应气体，所述反应气体包括预定压力的不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和含硅单体气，和预定压力的非聚合气；以及为获得DC放电，向电极施加电压，以此获得由不饱和脂肪烃单体气和非聚合气产生的正、负离子和游离基所组成的等离子体，然后通过等离子体沉积在阳极电极表面上形成具有亲水性的聚合物。本发明还提供了利用RF等离子体通过等离子聚合反应对金属进行表面出来的方法，以提高该金属在制冷和空调装置中如在构造热交换器中的应用。
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公开(公告)号：CN1280631A
公开(公告)日：2001-01-17
申请号：CN98811776.2
申请日：1998-12-04
申请人： 韩国科学技术研究院
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C16/4417 , C23C16/486 , D06B19/00 , H01J37/317 , H01J2237/338
摘要： 公开了一种用离子束(IB)对聚合物,金属和陶瓷材料进行表面改性的装置,该装置能够提供并控制一种施加于材料上进行表面改性的电压(220)以控制照射到该材料上的离子束的能量,能够区别在部分真空室中的反应气体的真空度,在该真空室中离子束从产生离子束的部分照射,而且该装置也能够用于两面照射处理和连续处理。
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公开(公告)号：CN1259173A
公开(公告)日：2000-07-05
申请号：CN98805946.0
申请日：1998-11-21
申请人： 韩国科学技术研究院
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/30 , B05D1/62 , B05D5/083 , B05D2201/00 , B05D2203/30 , C23C16/503
摘要： 本发明提供了一种通过等离子体聚合进行表面处理的方法,该方法利用DC放电等离子体对金属表面进行处理,包括如下步骤:在反应室内安装阴极电极和表面待处理的金属基质的阳极电极:将反应室内的压力维持在预定的真空度下;以预定的压力向反应室内送入不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和以预定的压力向反应室内送入非聚合气;以及为获得DC放电,向电极施加电压,以此获得由不饱和脂肪烃单体气或含氟单体气和非聚合气产生的正、负离子和游离基所组成的等离子体,然后通过等离子体沉积在阳极电极表面上形成具有亲水性或疏水性的聚合物。本发明还提供了利用RF放电等离子体由等离子体聚合对材料(包括金属、陶瓷或聚合物)的表面进行处理的方法。
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