半导体芯片封装结构及封装方法

    公开(公告)号:CN102969286B

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201210553812.X

    申请日:2012-12-19

    发明人: 王之奇 喻琼 王蔚

    IPC分类号: H01L23/31 H01L23/29 H01L21/56

    CPC分类号: H01L2224/11

    摘要: 本发明揭示了一种半导体芯片封装结构及封装方法,其中,所述封装结构包括芯片,所述芯片包括上表面、与上表面相背的下表面,所述下表面上设有感光区和焊垫;基底,所述基底包括上表面,与上表面相背的下表面,所述基底上表面与所述芯片下表面连接;焊球,所述焊球设置于所述芯片上表面;导电层,电连接所述焊垫和所述焊球;所述半导体芯片封装结构还包括覆盖于除基底下表面外的所有芯片封装体外表面的气相沉积高分子有机薄膜。本发明不仅可更好的保护芯片封装体,同时,优化了芯片封装体的成像质量。

    金属圆片级凹槽埋孔型表面声滤波芯片封装结构及方法

    公开(公告)号:CN105742255A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610203034.X

    申请日:2016-04-01

    发明人: 张江华

    摘要: 本发明涉及一种金属圆片级凹槽埋孔型表面声滤波芯片封装结构及方法,所述结构包括表面声滤波芯片晶圆(1),所述表面声滤波芯片晶圆(1)表面设置有第一金属层(2),所述表面声滤波芯片晶圆(1)上方设置有贴合晶圆(4),所述贴合晶圆(4)与表面声滤波芯片晶圆(1)之间形成空腔(6),所述贴合晶圆(4)上设置有第一开孔(7),所述贴合晶圆(4)表面设置有第一绝缘层(8),所述第一开孔(7)内填充有导电胶或电镀金属(9),所述导电胶或电镀金属(9)的表面设置有第二金属层(10),所述第二金属层(10)上设置有金属球(11)。本发明一种金属圆片级凹槽埋孔型表面声滤波芯片封装结构及方法,它能提供一种更小面积和体积的表面声滤波器件,并且具有更低的制造成本。

    半导体装置及固态摄像装置

    公开(公告)号:CN105702692A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201510897480.0

    申请日:2015-12-08

    发明人: 河野光贵

    IPC分类号: H01L27/146

    摘要: 本发明涉及半导体装置及固态摄像装置。实施方式的半导体装置具备:半导体基板,具有元件部;绝缘膜,设于所述半导体基板的主面上;配线,设于所述绝缘膜上,与所述元件部电连接;凹凸部,设于所述半导体基板的所述主面侧;及保护膜,以接触所述配线及所述凹凸部,且接触所述绝缘膜的方式设置。

    通过制备超细间距微凸点实现金属互连的方法及相应器件

    公开(公告)号:CN103258791B

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201310186602.6

    申请日:2013-05-16

    发明人: 张文奇

    CPC分类号: H01L2224/11

    摘要: 本发明公开了一种通过制备超细间距微凸点来实现半导体或固体器件金属互连的方法及相应器件,首先沉积碳化硅刻蚀停止层和电解质层,涂胶,干法在电解质层中刻蚀出孔,沉积金属种子层,填充金属,用CMP清除面上的金属,对电解质层进行刻蚀,形成金属露头结构并镀上抗氧化或低熔点的金属,再进行键合,该方法避免了凸点钻蚀,可以将凸点的间距缩小到几个微米级,甚至纳米级,远远小于目前的凸点间距尺寸;金属端面比电解质层高,可以克服由于CMP造成的金属表面的凹穴现象,保证在键合时上下金属通过塑性变形能完全接触,对晶圆CMP后的平整度要求降低;可以通过常规的热压法在较低的温度下完成键合,具有成本低的优势。