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    光模块、信号处理系统和信号处理方法
    1.
    发明授权
    光模块、信号处理系统和信号处理方法 有权

    公开(公告)号：CN113424028B

    公开(公告)日：2024-07-05

    申请号：CN202080011471.6

    申请日：2020-01-17

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 铃木智史 ,  岩崎裕也 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  户塚弘伦

    IPC分类号： G01J3/45 ,  G02B26/06

    摘要： 光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。

    光学器件
    3.
    发明公开
    光学器件 审中-实审

    公开(公告)号：CN115598830A

    公开(公告)日：2023-01-13

    申请号：CN202211376638.6

    申请日：2018-07-06

    申请人： 浜松光子学株式会社(JP)

    发明人： 杉本达哉 ,  铃木智史 ,  港谷恭辅

    IPC分类号： G02B26/08

    摘要： 本发明提供实现可动反射镜的镜面的大型化，并抑制可动反射镜的可动性能降低和装置整体的大型化的光学器件。光学器件(10)包括：具有主面的基体(12)；具有沿着与主面平行的平面的镜面的可动反射镜(11)；将可动反射镜以沿着与主面垂直的第1方向可移动的方式支承的第1弹性支承部(14)和第2弹性支承部(15)；使可动反射镜沿着第1方向移动的致动器部(16)；和配置在与第1方向垂直的第2方向上的可动反射镜的一侧的第1光学功能部(17)。第1弹性支承部(14)具有从可动反射镜(11)沿着主面向与第1和第2方向垂直的第3方向上的第1光学功能部的两侧延伸的一对第1杆(141)。第2方向上的一对第1杆(141)各自的长度(A1)大于镜面(11a)的外缘与第1光学功能部(17)的边缘之间的最短距离(D1)。

    MEMS致动器、MEMS致动器的驱动方法和MEMS致动器控制程序
    4.
    发明公开
    MEMS致动器、MEMS致动器的驱动方法和MEMS致动器控制程序 审中-实审

    公开(公告)号：CN115427344A

    公开(公告)日：2022-12-02

    申请号：CN202180025590.1

    申请日：2021-01-27

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 仓品贵之 ,  铃木智史 ,  杉本达哉 ,  山本洋夫

    IPC分类号： B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

    摘要： 本发明的MEMS致动器具备：可动梳齿电极，通过在其与固定梳齿电极之间产生的静电力来驱动可动部；驱动电路，其在固定梳齿电极与可动梳齿电极之间施加驱动电压，该驱动电压具有周期性地反复上升和下降，并且包含在上升后且下降前成为恒定电压的期间的时间波形；和时刻检测电路，其将因固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的电容的变化而在期间内从固定梳齿电极或可动梳齿电极输出的电流信号转换为电压信号，而生成表示电容的微分值的电容微分信号，并检测电容微分信号到达阈值的时刻。驱动电路将在时刻检测电路检测的时刻与驱动电压的下降的时刻的关系控制成恒定。

    光学器件
    5.
    发明授权
    光学器件 有权

    公开(公告)号：CN110720069B

    公开(公告)日：2021-12-24

    申请号：CN201880037794.5

    申请日：2018-07-06

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 铃木智史 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉

    IPC分类号： G02B26/08 ,  G01B9/02 ,  G01J3/45 ,  G02B7/198

    摘要： 光学器件中，弹性支承部具有：在垂直于第1方向的第2方向上彼此相对的一对杆；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与底座之间的一对第1扭转支承部；沿第2方向延伸，分别连接在一对杆与可动部之间的一对第2扭转支承部；和架设于一对杆之间的第1联接部件。一对杆和第1联接部件划定光通过开口。一对杆与一对第1扭转支承部的连接位置的各个在垂直于第1方向和第2方向的第3方向上相对于光通过开口的中心位于可动部的相反侧。第2方向上的光通过开口的最大宽度由第2方向上的一对杆之间的间隔规定。

    光组件
    6.
    发明授权
    光组件 有权

    公开(公告)号：CN110392857B

    公开(公告)日：2021-09-21

    申请号：CN201880017378.9

    申请日：2018-03-14

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 铃木智史 ,  杉本达哉 ,  港谷恭辅

    IPC分类号： G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G01J3/45 ,  G01N21/35 ,  G02B26/06

    摘要： 本发明光组件包括支承层(2)、设置在支承层(2)上的器件层(3)、和安装于器件层(3)的可动反射镜(5)。器件层(3)具有：安装有可动反射镜(5)的安装区域(31)、和与安装区域(31)连接的驱动区域(32)。在支承层(2)与器件层(3)之间形成有至少与安装区域(31)和驱动区域(32)对应的空间(S1)。安装区域(31)被驱动区域(32)中包含的一对弹性支承区域(34)夹着，由一对弹性支承区域(34)支承。

    光模块
    7.
    发明授权
    光模块 有权

    公开(公告)号：CN108603747B

    公开(公告)日：2020-08-18

    申请号：CN201780009338.5

    申请日：2017-02-02

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 藁科祯久 ,  铃木智史 ,  笠森浩平 ,  奥村亮介 ,  港谷恭辅

    IPC分类号： G01B11/00 ,  G01J3/02 ,  G01J3/45 ,  G02B26/06

    摘要： 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。

    光学装置
    9.
    发明公开
    光学装置 有权

    公开(公告)号：CN110799883A

    公开(公告)日：2020-02-14

    申请号：CN201880042644.3

    申请日：2018-07-06

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 杉本达哉 ,  铃木智史 ,  港谷恭辅

    IPC分类号： G02B26/00 ,  B81B3/00 ,  G01J3/45

    摘要： 本发明的光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有：扭力棒，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为，在可动部在第1方向移动的状态下，非线性缓和弹簧绕第2方向的变形量小于扭力棒绕第2方向的变形量，且与第1方向及第2方向垂直的第3方向上的非线性缓和弹簧的变形量大于第3方向上的扭力棒的变形量。相邻的第1梳齿与第2梳齿在第2方向上彼此相对。