发明公开
- 专利标题: 光学器件
- 专利标题(英): OPTICAL DEVICE
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申请号: CN201880041551.9申请日: 2018-07-06
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公开(公告)号: CN110809728A公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 铃木智史 , 港谷恭辅 , 杉本达哉 , 藏本丰 , 柴山胜己 , 细川畅郎
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2017-133089 2017.07.06 JP
- 国际申请: PCT/JP2018/025646 2018.07.06
- 国际公布: WO2019/009403 JA 2019.01.10
- 进入国家日期: 2019-12-20
- 主分类号: G02B26/00
- IPC分类号: G02B26/00 ; B81B3/00 ; G01B9/02 ; G01J3/45 ; G02B7/198
摘要:
在光学器件中,基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。构成基体的第1半导体层比构成基体的第2半导体层厚。基体的一侧的表面位于比光学功能部靠一侧。
公开/授权文献
- CN110809728B 反射镜单元 公开/授权日:2022-06-07