-
公开(公告)号：CN1665129A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN200510051403.X
申请日：2005-03-02
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 田中雅子
CPC分类号： H03H9/17 , H03H9/02086 , H03H9/0519 , H03H9/0547
摘要： 本发明提供一种压电振动片、压电振子及压电振荡器。在以厚度方向的滑动振动为主振动的压电振动片(10)中，形成包围主面(11)的中央部的第1槽部(12)、第2槽部(13)，使第1槽部(12)、第2槽部(13)的厚度形成为是振动片(10)的中央部厚度的96％以上70％以下。由此，在压电振动片中，可以抑制主振动的衰减振动到达压电振动片的四周端部，不会使CI值恶化，并且不会诱发其他振动模式，可以使谐振频率稳定。
-
公开(公告)号：CN108463720A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201680075266.X
申请日：2016-10-19
申请人： QORVO美国公司
CPC分类号： H03H9/17 , B06B1/0685 , G01H11/08 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N29/2437 , G01N2291/012 , G01N2291/014 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0426 , G10K11/04 , G10K11/24 , H03H9/02086 , H03H9/175
摘要： 一种牢固安装的谐振器结构包括多层声反射器结构和布置在第一电极结构和第二电极结构之间以形成有源区的压电材料层，其中所述声反射器结构提供声学振动的剪切模式和纵向模式的增强反射。所述牢固安装的谐振器结构构造成转换包含纵向分量和剪切分量的声波。所述声反射器结构包括多个顺次布置的差分声阻抗层单元，每个差分声阻抗层单元包括与高声阻抗材料层接触的低声阻抗材料层。对应于纵向响应的第二谐波共振的最小透射率的频率与对应于剪切响应的第三谐波共振的最小透射率的频率基本匹配。
-
公开(公告)号：CN108336982A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810039429.X
申请日：2018-01-16
申请人： 三星电机株式会社
CPC分类号： H03H9/02118 , H03H3/02 , H03H9/02015 , H03H9/02157 , H03H9/132 , H03H9/17 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021 , H03H2003/023
摘要： 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
-
公开(公告)号：CN105659495B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201480041241.9
申请日：2014-08-06
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 梅田圭一
CPC分类号： H03H9/17 , H03H3/02 , H03H9/0504 , H03H9/13 , H03H9/174 , H03H9/21 , H03H2003/0407
摘要： 本发明涉及压电谐振器及其制造方法。提供一种抑制了基于Si的厚度偏差的谐振频率的偏差的压电谐振器。压电谐振器(1)具备单晶Si(5)、设置在上述单晶Si(5)上的由氮化铝构成的压电膜(8)、以及被设置成夹着上述压电膜(8)的第一电极和第二电极(6、7)，在由上述氮化铝构成的压电膜(8)掺杂有除了氮以及铝的元素，除了上述单晶Si(5)的部分的音速的合成音速实质上与上述单晶Si(5)的音速一致。
-
公开(公告)号：CN108141197A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680060159.X
申请日：2016-08-01
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/0595 , H03H9/10 , H03H9/1057 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H9/2489 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供谐振子和谐振装置。能够在面外折曲的谐振子中抑制寄生模式的产生。谐振子具备：基部；多个振动臂，它们具有压电体和之间隔着该压电体相互对置的一对电极层，被设置为一端与基部的前端连接，且相互空开规定空间地向离开基部的方向延伸；以及连结部，其将多个振动臂中的在施加了电场的情况下向相同方向折曲的振动臂的局部彼此连结起来。
-
公开(公告)号：CN108139364A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680063164.6
申请日：2016-10-28
申请人： QORVO美国公司
发明人： R.里瓦斯
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/22
CPC分类号： B01L3/50273 , B01L2200/10 , B01L2300/0645 , B01L2300/0816 , B01L2300/0887 , B01L2400/0496 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N29/222 , G01N33/54386 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0426 , G01N2610/00 , H03H9/17 , H03H9/175
摘要： 一种流体设备，包括衬底、至少一个体声波(BAW)谐振器结构和至少部分地由所述至少一个BAW谐振器结构界定的流体通道。该流体设备还包括至少一个流体通孔，该流体通孔通过衬底的至少一部分限定，由此允许在流体设备的相对的上表面和下表面上提供流体连接和电连接。所述至少一个BAW谐振器结构可以包括压电材料，该压电材料包括具有主要不平行于衬底的面的法线的取向分布的c轴，且可以用官能化材料(例如，覆盖自组装单层的特异性结合材料)覆盖，以能够检测供应到流体设备的样品中的目标物质。
-
公开(公告)号：CN108075740A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711143853.0
申请日：2017-11-17
申请人： 三星电机株式会社
CPC分类号： H03H9/17 , H01L41/0477 , H01L41/081 , H01L41/18 , H01L41/29 , H01L41/35 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/173 , H03H2003/021
摘要： 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：基板，所述基板上设置有基板保护层；膜层，与所述基板一起形成腔；及谐振部，设置在所述膜层上。所述腔通过使用通过混合卤化物基气体和氧气而获得的混合气体去除牺牲层形成，并且在形成所述腔后，所述膜层和所述基板保护层中的至少一者具有170或更小的厚度差。
-
公开(公告)号：CN107294507A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201710242539.1
申请日：2017-04-13
申请人： 日本电波工业株式会社
CPC分类号： H03H9/17 , H03H3/04 , H03H9/02015 , H03H2003/0407 , H03H9/19 , H03H9/10
摘要： 本发明提供一种晶体振子，该晶体振子能够抑制副振动与主振动的耦合且将晶体阻抗值抑制得低。晶体振子(100)包括：晶体片(110)，具有与X′轴及Z′轴平行的一对主面，所述X′轴是使作为晶体的结晶轴的X轴以作为晶体的结晶轴的Z轴为中心而在15度至25度的范围内旋转所得，所述Z′轴是使Z轴以X′轴为中心而在33度至35度的范围内旋转所得；以及激振电极(120)，形成于晶体片的各主面。在各主面，形成着比主面的外周突出且形成为椭圆形状的台面部(111)或比主面的外周凹陷且形成为椭圆形状的逆台面部。
-
公开(公告)号：CN107104652A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710099544.1
申请日：2017-02-23
申请人： 精工电子水晶科技股份有限公司
发明人： 市村直也
CPC分类号： H02N2/0015 , B06B1/0603 , H01L41/0933 , H01L41/187 , H03H9/0538 , H03H9/10 , H03H9/132 , H03H9/17
摘要： 本发明题为压电振动片及压电振动器。更大地确保压电振动片的有助于振动的电极部分的面积。压电振动片为音叉形的压电振动片，从基部延伸设置有一对振动臂部，在振动臂部的长边方向，在其主面（背面和表面）形成有一定宽度的槽部。在振动臂部的侧面和主面、槽部内形成有2个系统的激振电极。在将形成在振动臂部的侧面和槽部的侧面的堤部的宽度设为W0、形成在振动臂部的主面上的激振电极与激振电极的间隔设为电极分割宽度W1的情况下，以使电极分割宽度W1成为1μm＜W1＜3μm的范围、W0＞W1的方式形成。通过使电极分割宽度窄于3μm，能够加宽形成在振动臂部的主面上（堤部上）的激振电极的宽度。由此，能够增大有助于振动的电极部分的面积，并能使压电效应优良。
-
公开(公告)号：CN106992764A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611119497.4
申请日：2016-12-07
申请人： 日本电波工业株式会社
IPC分类号： H03H3/04
CPC分类号： H03H3/04 , H03H9/09 , H03H9/17 , H03H2003/0407 , H03H2003/0428 , H03H2003/0435
摘要： 本发明涉及一种压电振子的频率调整方法及压电振子，可以抑制由压电振子的频率调整所引起的频率温度特性的恶化。压电振子是通过宽度纵模及长度纵模的结合而进行振动，包括平面形状为矩形的第1振动部、与第1振动部的一端连接并且平面形状为矩形的第2振动部、以及与第1振动部的另一端连接并且平面形状为矩形的第3振动部。将第2振动部沿宽度纵模的振动方向，从第1振动部侧起定义为第1区域、第2区域及第3区域。将第3振动部从第1振动部侧起定义为第1区域、第2区域、第3区域。频率调整是通过减少第2振动部及第3振动部各自的第1区域及第3区域的质量，或在所述区域内添加质量来进行。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
154 条记录 (耗时 0.017 秒)
