可提高发光二极管发光效率的微光学传输系统的制作方法

    公开(公告)号:CN105118908A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510570377.5

    申请日:2015-09-09

    CPC classification number: H01L33/46 H01L2933/0016 H01L2933/0025

    Abstract: 本发明公开一种可提高发光二极管发光效率的微光学传输系统的制作方法,包括以下步骤:外延衬底上分别外延形成缓冲层、第一型导电层、有源层、第二型导电层和电极布拉格反射层;在焊台电极制作区域内保留电极布拉格反射层及经过掩膜并腐蚀形成复数个圆柱状孔洞;在所述电极布拉格反射层上及孔洞内形成图形制作层;在所述图形制作层表面的焊台电极制作区域形成复数个圆弧台型立体反射器;在焊台电极制作区域形成焊台电极;在所述外延衬底下方形成背面电极,裂片得到发光二极管芯片。本发明能够避免光再次被有源层或外延衬底吸收,有效地把焊台电极下部有源层发出的光有效地传输至外延层表面,增加焊台电极遮光处光的萃取率。

    一种具有新电极结构的四元系发光二极管的制作方法

    公开(公告)号:CN104979433A

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:CN201410147451.8

    申请日:2014-04-14

    Abstract: 本发明公开一种具有新电极结构的四元系发光二极管的制作方法,包括以下步骤:一,在基板上生长发光结构,该发光结构表层为高掺杂的GaP,掺杂浓度大于1.0E19;二,在发光结构上制作第一电极,第一电极材料为铝或/和钛金属材料;三,在发光结构上通过曝光、显影及蚀刻工艺制作电极图形;四,通过热处理方式使第一电极与发光结构融合,热处理温度介于200℃-1000℃;五,在基板另一面制作第二电极。本发明用不含黄金的电极结构取代有贵金属黄金组成的电极结构,可以降低电极材料使用成本。

    一种具有嵌入式扩展电极的红外发光二极管制作方法

    公开(公告)号:CN104201268A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410433711.8

    申请日:2014-08-29

    CPC classification number: H01L33/38 H01L33/005 H01L33/405

    Abstract: 本发明公开一种具有嵌入式扩展电极的红外发光二极管制作方法,在外延衬底上依次形成腐蚀截止层、粗化层、欧姆接触层、第一型电流扩展层、第一型限制层、有源层、第二型限制层、第二型电流扩展层;在第二型电流扩展层上蒸镀形成金属反射镜层;将金属反射层键合在基板上;去除外延衬底、腐蚀截止层,露出粗化层;在粗化层表面形成扩展电极图形的沟槽,沟槽深度至露出欧姆接触层;在沟槽内蒸镀金属材料形成扩展电极;在粗化层表面制作焊盘电极,且焊盘电极与扩展电极连接相通;在基板背面蒸镀背电极,去除焊盘电极、扩展电极的保护层,裂片后得到。本发明可以提高扩展电极的可靠性,且获得更好电流扩展效果,提高红外发光二极管的发光效率。

    一种具有多粗化层的红外发光二极管的粗化方法

    公开(公告)号:CN104167478A

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201410391491.7

    申请日:2014-08-11

    CPC classification number: H01L33/22 H01L33/007 H01L33/10

    Abstract: 本发明公开一种具有多粗化层的红外发光二极管的粗化方法,在基板上形成发光结构,在发光结构上形成N层粗化层,在粗化层上形成第一电极,在基板另一面形成第二电极;采用干法蚀刻在最外层粗化层表面形成粗化界面,蚀刻深度至第二粗化层接触表面;用粗化液蚀刻最外层粗化层及第二粗化层露出部分表面及侧面,形成粗化界面;用ICP在露出第二粗化层表面形成面积较最外层粗化层小的粗化界面,蚀刻深度至第三粗化层接触表面;用粗化液蚀刻第二粗化层及第三粗化层露出的部分表面及侧面,形成粗化界面;重复操作步骤四及步骤五,至露出N层粗化层表面及侧面,形成粗化界面。本发明增加二极管表面出光面积,提高红外发光二极管的外量子效率。

    高聚光倍数太阳能电池的散热器及制造方法

    公开(公告)号:CN102208472B

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201110132005.6

    申请日:2011-05-20

    CPC classification number: Y02E10/50 Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开一种高聚光倍数太阳能电池的散热器,由铜薄层、银铜钛合金层、金刚石膜、银铜钛合金层和铜底座组成,在聚光太阳能电池底下形成铜薄层,铜薄层下面形成银铜钛合金层,此铜薄层和银铜钛合金层上形成绝缘通道,银铜钛合金层下面形成金刚石膜,金刚石膜下面再形成银铜钛合金层,银铜钛合金层下面形成铜底座,铜底座中形成冷却水通道。本发明还公开了该散热器的制造方法。本发明的散热器能应用在聚光倍数1600倍以上的聚光太阳能电池上,整体热导率高达400W/(m·K)以上,散热效果优于热导率为280W/(m·K)的Al2O3陶瓷散热器,具有更高效的散热作用,使得聚光太阳能电池能在较高的聚光倍数下稳定工作且减少光电转换效率的下降。

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