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公开(公告)号:CN109216400B
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN201811268052.1
申请日:2018-10-29
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本申请提供的一种Micro LED阵列器件及其制作方法、巨量转移装置及转移方法,通过在Micro LED阵列器件的外延衬底上形成磁性纳米薄膜层,作为Micro LED阵列器件的一个电极,从而能够直接采用磁力对Micro LED阵列器件进行吸附,而无需额外增加设置磁性层,避免了磁性层的制作以及去除的工艺,能够简化Micro LED阵列器件的转移方法,进而提高Micro LED巨量转移的效率。
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公开(公告)号:CN104576859A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310489600.4
申请日:2013-10-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/10
Abstract: 本发明公开一种发光二极管结构,提供一衬底,在衬底的下表面具有第一电极,在衬底的上表面依次分布DBR反射层、第一型限制层、有源层、第二型限制层及电流扩展层;第二电极形成于电流扩展层之上;DBR反射层中的低折射率层被局部氧化,且各低折射率层的氧化深度在DBR反射层的法向上由下而上渐变或者周期性变化。本发明氧化层氧化深度渐变或者周期性变化使射入DBR的光线发生弯曲,从而增加DBR的反射角度,提高DBR的反射率,使芯片的亮度得到提升。
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公开(公告)号:CN113054060A
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN202110291674.1
申请日:2021-03-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种发光元件的制备方法及发光元件,通过对所述ITO层的表面疏水处理,形成疏水表面;所述疏水表面通过将所述ITO层表面的杂质与解离的氧离子结合后排出而形成;如此,可有效除去ITO层表面的杂质(如C和/或H等),使得ITO层的表面由亲水性转变为疏水性,提高ITO层及钝化层之间的粘附性,制备出较为致密的二氧化硅钝化层。
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公开(公告)号:CN109216400A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201811268052.1
申请日:2018-10-29
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本申请提供的一种Micro LED阵列器件及其制作方法、巨量转移装置及转移方法,通过在Micro LED阵列器件的外延衬底上形成磁性纳米薄膜层,作为Micro LED阵列器件的一个电极,从而能够直接采用磁力对Micro LED阵列器件进行吸附,而无需额外增加设置磁性层,避免了磁性层的制作以及去除的工艺,能够简化Micro LED阵列器件的转移方法,进而提高Micro LED巨量转移的效率。
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公开(公告)号:CN104979433A
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:CN201410147451.8
申请日:2014-04-14
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明公开一种具有新电极结构的四元系发光二极管的制作方法,包括以下步骤:一,在基板上生长发光结构,该发光结构表层为高掺杂的GaP,掺杂浓度大于1.0E19;二,在发光结构上制作第一电极,第一电极材料为铝或/和钛金属材料;三,在发光结构上通过曝光、显影及蚀刻工艺制作电极图形;四,通过热处理方式使第一电极与发光结构融合,热处理温度介于200℃-1000℃;五,在基板另一面制作第二电极。本发明用不含黄金的电极结构取代有贵金属黄金组成的电极结构,可以降低电极材料使用成本。
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公开(公告)号:CN102208508B
公开(公告)日:2014-05-07
申请号:CN201010140053.5
申请日:2010-03-30
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/24
Abstract: 本发明公开一种发光二极管结构,包括基板、外延层、第一电极和第二电极;外延层生长在基板上,依次包括遂穿层、p型限制层、有源层、n型限制层、晶向蚀刻层和欧姆接触层,第一电极形成在欧姆接触层上,第二电极形成在基板上。其制造方法是:在一基板上生长外延层;在欧姆接触层上蒸镀形成第一电极层;用蚀刻液去蚀刻欧姆接触层,用晶向蚀刻液去腐蚀晶向蚀刻层;减薄基板,并用热蒸发的方式在基板的表面形成第二电极。本发明通过化学溶液腐蚀带有晶向蚀刻的n型层,在发光表面形成规则的光学几何形状,大大降低了全反射造成出射光的损耗,提高了出光效率,试验证明亮度可提高80%。
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公开(公告)号:CN102208506B
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201010140070.9
申请日:2010-03-30
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/14
Abstract: 本发明公开一种掩埋式高亮度发光二极管结构,采用MOCVD、MBE或其他设备在基板生长外延层,外延层可以通过键合方式或某种方式转移到另一基板,出光层另一侧作为第一电极,通过掩膜保护,利用干法蚀刻或湿法蚀刻制作掩埋区,蚀刻深度越过有源层,再通过真空溅射设备掩埋区内镀制钝化膜作为隔离层,隔离层上方或附近镀制第二电极。本发明提高了电流的注入效率和发光效率。
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公开(公告)号:CN102208508A
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN201010140053.5
申请日:2010-03-30
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/24
Abstract: 本发明公开一种发光二极管结构,包括基板、外延层、第一电极和第二电极;外延层生长在基板上,依次包括遂穿层、p型限制层、有源层、n型限制层、晶向蚀刻层和欧姆接触层,第一电极形成在欧姆接触层上,第二电极形成在基板上。其制造方法是:在一基板上生长外延层;在欧姆接触层上蒸镀形成第一电极层;用蚀刻液去蚀刻欧姆接触层,用晶向蚀刻液去腐蚀晶向蚀刻层;减薄基板,并用热蒸发的方式在基板的表面形成第二电极。本发明通过化学溶液腐蚀带有晶向蚀刻的n型层,在发光表面形成规则的光学几何形状,大大降低了全反射造成出射光的损耗,提高了出光效率,试验证明亮度可提高80%。
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公开(公告)号:CN102208506A
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN201010140070.9
申请日:2010-03-30
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L33/14
Abstract: 本发明公开一种掩埋式高亮度发光二极管结构,采用MOCVD、MBE或其他设备在基板生长外延层,外延层可以通过键合方式或某种方式转移到另一基板,出光层另一侧作为第一电极,通过掩膜保护,利用干法蚀刻或湿法蚀刻制作掩埋区,蚀刻深度越过有源层,再通过真空溅射设备掩埋区内镀制钝化膜作为隔离层,隔离层上方或附近镀制第二电极。本发明提高了电流的注入效率和发光效率。
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公开(公告)号:CN113054060B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN202110291674.1
申请日:2021-03-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种发光元件的制备方法及发光元件,通过对所述ITO层的表面疏水处理,形成疏水表面;所述疏水表面通过将所述ITO层表面的杂质与解离的氧离子结合后排出而形成;如此,可有效除去ITO层表面的杂质(如C和/或H等),使得ITO层的表面由亲水性转变为疏水性,提高ITO层及钝化层之间的粘附性,制备出较为致密的二氧化硅钝化层。
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