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公开(公告)号:CN104347359A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201410477236.4
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L21/02 , H01L31/0352 , H01L33/02 , H01L33/12
CPC classification number: H01L33/12 , H01L21/30604 , H01L21/30612 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开一种高效的衬底剥离方法,包括以下步骤:步骤一,外延结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成;步骤二,采用化学腐蚀液蚀刻和剥离牺牲层。本发明可以提高外延结构与衬底的剥离速率,且解决剥离时外延结构容易破损的问题。
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公开(公告)号:CN104409465B
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201410666659.0
申请日:2014-11-20
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明一种高发光效率的高压发光二极管制作方法,通过芯片制作工艺把n个独立发光结构的子级发光二极管串联连接,形成一体的芯片模块,其中,第一子级发光二极管上设置第一电极,第n子级发光二极管上设置第二电极。本发明可以增加有源区的出光面积,提高发光效率。
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公开(公告)号:CN104362215B
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201410477359.8
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开一种高效率柔性薄膜太阳能电池制造方法,提供外延衬底;在外延衬底上生长外延结构;在外延结构上生长欧姆接触层,在欧姆接触层上生长外延保护层;将外延保护层粘接至刚性支撑模板上;采用外延衬底减薄工艺将外延衬底减薄;在减薄后的外延衬底上蒸镀背电极,并键合在柔性薄膜衬底上;去除刚性支撑模板及外延保护层;在欧姆接触层上蒸镀正面栅线电极,并通过选择性腐蚀工艺去除吸光部分的欧姆接触层,在腐蚀区域蒸镀减反射膜,裂片处理即得。本发明制造的太阳能电池转换效率高、可靠性好,且柔性较好而减轻重量。
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公开(公告)号:CN104241205B
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201410477241.5
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L23/00 , H01L33/22 , H01L31/0352 , H01L31/0725
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明公开一种衬底可剥离的外延结构,电池外延结构或外延发光结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成。本发明还公开一种具有衬底可剥离的太阳能电池外延结构及一种具有衬底可剥离的发光二极管外延结构。本发明可以提高外延层与衬底的剥离速率,同时有效解决剥离时外延层容易破损的问题。
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公开(公告)号:CN104218108B
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201410477195.9
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L31/0445 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明公开一种高效率柔性薄膜太阳能电池,减薄的外延衬底一侧设置背电极,背电极键合在柔性薄膜衬底上;减薄的外延衬底另一侧设置外延结构,外延结构上设置欧姆接触层,欧姆接触层上设置正面栅线电极,且选择性腐蚀欧姆接触层,腐蚀区域设置减反射膜。本发明转换效率高、可靠性好,且柔性较好而减轻重量。
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公开(公告)号:CN104241205A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410477241.5
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L23/00 , H01L33/22 , H01L31/0352 , H01L31/0725
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明公开一种衬底可剥离的外延结构,电池外延结构或外延发光结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成。本发明还公开一种具有衬底可剥离的太阳能电池外延结构及一种具有衬底可剥离的发光二极管外延结构。本发明可以提高外延层与衬底的剥离速率,同时有效解决剥离时外延层容易破损的问题。
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公开(公告)号:CN104218108A
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201410477195.9
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L31/0445 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0304 , H01L31/02168
Abstract: 本发明公开一种高效率柔性薄膜太阳能电池,减薄的外延衬底一侧设置背电极,背电极键合在柔性薄膜衬底上;减薄的外延衬底另一侧设置外延结构,外延结构上设置欧姆接触层,欧姆接触层上设置正面栅线电极,且选择性腐蚀欧姆接触层,腐蚀区域设置减反射膜。本发明转换效率高、可靠性好,且柔性较好而减轻重量。
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公开(公告)号:CN104347359B
公开(公告)日:2017-06-06
申请号:CN201410477236.4
申请日:2014-09-18
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
IPC: H01L21/02 , H01L31/0352 , H01L33/02 , H01L33/12
Abstract: 本发明公开一种高效的衬底剥离方法,包括以下步骤:步骤一,外延结构与衬底之间设置牺牲层,牺牲层由交替生长的AlInP/AlAs多层结构组成;步骤二,采用化学腐蚀液蚀刻和剥离牺牲层。本发明可以提高外延结构与衬底的剥离速率,且解决剥离时外延结构容易破损的问题。
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公开(公告)号:CN104377219B
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201410666590.1
申请日:2014-11-20
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明一种高发光效率的高压发光二极管,由n个具有独立发光结构的子级发光二极管串联构成,其中,第一子级发光二极管上设置第一电极,第n子级发光二极管上设置第二电极。本发明可以增加有源区的出光面积,提高发光效率。
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公开(公告)号:CN104409465A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201410666659.0
申请日:2014-11-20
Applicant: 厦门乾照光电股份有限公司
Abstract: 本发明一种高发光效率的高压发光二极管制作方法,通过芯片制作工艺把n个独立发光结构的子级发光二极管串联连接,形成一体的芯片模块,其中,第一子级发光二极管上设置第一电极,第n子级发光二极管上设置第二电极。本发明可以增加有源区的出光面积,提高发光效率。
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