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公开(公告)号：CN103028898A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210292279.6
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414 , B21B1/024 , B21B1/026 , B21B15/0007 , B21B45/004 , C22C27/02 , C22F1/18 , C23C14/14 , H01J37/3426 , H01J37/3491 , H01J2237/3323 , H01L21/2855
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的制备方法，其特征是：首先将钽锭采用冷锻结合热锻的方法制成锻造坯料，然后再采用热轧法进行轧制，最后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钽靶材。本发明采用冷锻结合热锻工艺对钽锭进行锻造，然后再采用热轧工艺对锻造坯料进行轧制，从而得到满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材。该高性能钽靶材：第一，结晶均匀，晶粒尺寸在50－120μm之间；第二，在靶材厚度方向获得（100）织构占优的织构组分（所占比例在50%以上），并且在厚度方向均匀一致。与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN102909299A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210291657.9
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B21J5/06
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺，其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径（直径大于等于160mm）钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造，并配以合适的热处理工艺，得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构比例在50％以上，并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN101920438B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010258811.3
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920435B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010258806.2
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
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公开(公告)号：CN101920437B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010258810.9
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104741872B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510021983.1
申请日：2015-01-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钽靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钽锭进行冷旋锻，将冷旋锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；B)将步骤A)得到的钽锭进行三次镦粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；C)将步骤B)得到的钽锭进行三次墩粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；D)将步骤C)得到的钽锭进行热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；E)将步骤D)得到的钽锭进行轧制，将轧制后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理，得到钽靶材。本申请通过热锻与热轧相配合，得到了符合半导体使用要求的内部组织织构均匀的高性能钽靶材。
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公开(公告)号：CN103757596B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201410031940.7
申请日：2014-01-23
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔；将热扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中，通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔，避免了长时间钻孔原料浪费的问题，同时缩短了铌靶材的制孔周期。
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公开(公告)号：CN103866245B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210551195.X
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法，首先将铌合金管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工，从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中，首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌合金管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化；最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材。本发明还提供了一种铌合金靶材。
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公开(公告)号：CN103240417B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310200279.3
申请日：2013-05-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种钽带及其制备方法，所述钽带的制备方法具体包括：a）将钽粉进行烧结，得到钽棒，将所述钽棒进行锻造；b）将步骤a）得到的钽棒进行轧制，将轧制得到的钽条进行热处理；c）将步骤b）得到的钽条再次进行轧制，将再次轧制得到的钽条再次进行热处理，得到钽带。在制备钽带的过程中，首先经过高温烧结后得到了晶粒均匀细小的初始钽棒，然后将钽棒进行锻造，使其发生变形，最后将钽棒进行了两次轧制，使钽棒在多个方向进行加工，有利于钽棒的各向均匀性；同时本发明在轧制之后进行了热处理，从而消除加工过程的残余应力，使最终制备的钽带为均匀细小的等轴晶。
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公开(公告)号：CN102989767B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210291462.4
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热轧工艺，该方法首先将锻造坯料预热至900－1200℃，然后轧制，酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。本发明通过对加热轧制生产高性能钽靶材轧制坯料，利用该高性能轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构占优的织构组分（所占比例在50％以上），并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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