公开(公告)号：CN103028898A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210292279.6

申请日：2012-08-16

Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司

Inventor： 李桂鹏 ,  张春恒 ,  李兆博 ,  汪凯 ,  同磊 ,  陈文明

IPC: B23P15/00 ,  B21J5/00 ,  B21B37/00

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B21B1/024 ,  B21B1/026 ,  B21B15/0007 ,  B21B45/004 ,  C22C27/02 ,  C22F1/18 ,  C23C14/14 ,  H01J37/3426 ,  H01J37/3491 ,  H01J2237/3323 ,  H01L21/2855

Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的制备方法，其特征是：首先将钽锭采用冷锻结合热锻的方法制成锻造坯料，然后再采用热轧法进行轧制，最后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钽靶材。本发明采用冷锻结合热锻工艺对钽锭进行锻造，然后再采用热轧工艺对锻造坯料进行轧制，从而得到满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材。该高性能钽靶材：第一，结晶均匀，晶粒尺寸在50－120μm之间；第二，在靶材厚度方向获得（100）织构占优的织构组分（所占比例在50%以上），并且在厚度方向均匀一致。与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。