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公开(公告)号：CN102989767A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210291462.4
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热轧工艺，该方法首先将锻造坯料预热至900－1200℃，然后轧制，酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。本发明通过对加热轧制生产高性能钽靶材轧制坯料，利用该高性能轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构占优的织构组分（所占比例在50％以上），并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN101920439B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201010258812.8
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，卷圆，将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，切断焊口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101920436A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258809.6
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～1100℃温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制发开坯轧制，在1000℃～1100℃温度条件下进行第二次热处理，保温时间60min～120min，采用单项单向轧制进行成品轧制，最后在1200℃～1400℃温度条件下进行第三次热处理，保温时间120min～180min，校平下料即得。本发明可以将材料利用率提高6个百分点，由于简化了加工工艺，可以提高产品的加工效率，同时由于压力加工的工序要求易于操作、控制，工艺的一致性容易保证，产品的材料性能一致性也容易保证。
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公开(公告)号：CN101920435A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258806.2
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上，再次酸洗，在规定区域内喷砂，最后利用超声波进行清洗即可。通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
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公开(公告)号：CN118374752A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410472353.5
申请日：2024-04-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明属于金属材料领域，具体涉及一种制备合金板材的方法，包括:将合金铸锭加工成坯材；将所述坯材依次进行两次锻造及三至四次轧制，得到合金板材；并且，在每次锻造、第一次轧制、第二次轧制及可选的第四次轧制之前，将所述坯材在真空度≤4.0×10‑3Pa的环境中按照特定过程进行热处理。本发明还涉及制得的合金板材。本发明方法提高了合金板材的抗拉强度、屈服强度和延伸率，降低了板材的屈强差和钨偏析度，板材的晶粒度小且均匀，板材不同方向的性能偏差小、组织均匀性好。
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公开(公告)号：CN117737536A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311723561.X
申请日：2023-12-14
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本申请提供了一种钽钨合金板材、钽钨合金铸锭及板材的制备方法。钽钨合金板材中钨的偏析度≤8％，晶粒度GS为6.5级‑8级，各向室温抗拉强度差异百分比≤10％；各向室温屈服强度差异百分比≤12％。本申请提供的钽钨合金板材的钨偏析度得到了有效控制，晶粒度较小，因此其各向室温拉伸性能差异较小，说明其具有较高的各向同性。
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公开(公告)号：CN104741872A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510021983.1
申请日：2015-01-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种钽靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钽锭进行冷旋锻，将冷旋锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；B)将步骤A)得到的钽锭进行三次镦粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；C)将步骤B)得到的钽锭进行三次墩粗拔长的热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；D)将步骤C)得到的钽锭进行热锻，将热锻后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理；E)将步骤D)得到的钽锭进行轧制，将轧制后的钽锭进行酸洗，将酸洗后的钽锭进行热处理，得到钽靶材。本申请通过热锻与热轧相配合，得到了符合半导体使用要求的内部组织织构均匀的高性能钽靶材。
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公开(公告)号：CN103009000B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210551253.9
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23P15/00
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
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公开(公告)号：CN103862073A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551254.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B23B27/005 , B23B1/00
Abstract: 本发明提供了一种车削方法，包括：采用车刀对铌靶材或铌合金靶材的外表面进行车削，所述车刀的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。本发明通过对车刀的前角、后角、主偏角、副偏角与刃倾角的选择，使切屑自已加工面排出，避免了切屑粘刀的情况，降低了切削加工的难度。本发明还提供了一种车刀，所述车刀的的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。
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公开(公告)号：CN103757596A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410031940.7
申请日：2014-01-23
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔；将热扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中，通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔，避免了长时间钻孔原料浪费的问题，同时缩短了铌靶材的制孔周期。
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