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公开(公告)号：CN119973731A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202410659532.X
申请日：2024-05-24
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本申请提供了一种铌板材的表面处理方法，该表面处理方法包括：对铌板材进行湿式抛光处理和抛光后的清洗处理。该方法能够及时去除表面抛磨所产生的残留物和碎屑，减小了铌板材的表面粗糙度，提供了加工效率。另外，本申请还提供了一种通过该铌板材表面处理方法处理后所得的一种平面铌板材。
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公开(公告)号：CN119973555A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411578200.5
申请日：2024-11-05
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钽片的制备方法、一种钽片及其用途。所述钽片的制备方法包括以下步骤：1)对钽锭进行锻造以得到锻坯；2)对锻坯进行热处理；和3)将步骤(2)得到的钽锻坯进行轧制得到钽板(轧制加工率优选大于65％，更优选大于75％)，并对钽板进行热处理。
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公开(公告)号：CN119566087A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411578283.8
申请日：2024-11-06
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌钨合金铸锭的挤压加工方法及一种铌钨合金挤压加工制品，上述挤压加工方法包括：将具有抗氧化涂层的铌钨合金铸锭采用中频感应炉进行阶梯式加热，得到待挤压坯料，阶梯式加热包括2～5个保温阶段，阶梯式加热的最低保温温度为800℃±20℃、最高保温温度为1200℃～1300℃，阶梯式加热的总时长为30min～45min；将待挤压坯料在挤压筒内进行无包套挤压加工，得到铌钨合金挤压加工制品。本申请提供的无包套挤压加工方法具有节约生产周期、降低生产损耗、改善挤压加工制品的表面质量、直线度以及加工塑性等优势。
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公开(公告)号：CN111515618A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010224935.3
申请日：2020-03-26
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种高RRR值高纯铌材的加工方法及射频超导腔用铌材，包括锭材锻造，坯料锯切，坯料表面机加工，坯料酸洗，坯料热处理，坯料开坯，板坯修料、酸洗，板坯成轧，成品下料、抛磨、酸洗，成品热处理，成品剪切及一次精抛，成品酸洗步骤，通过本发明的加工方法，使成品板材晶粒尺寸保持在4.5～5.5级之间，均匀性良好；机械性能均满足要求，横纵向差异控制在15%以内，其中抗拉、屈服控制在10%以内，延伸率控制在10%以内；RRR值控制在300以上；气体元素含量均能满足要求；而且提高了产品直收率，能够大幅度降低制造商的制造成本，可以大批量生产。
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公开(公告)号：CN106756832B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201611229097.9
申请日：2016-12-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将锻造后的坯料酸洗后热处理，所述热处理的升温速率为10～50℃/min；B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制；C)将轧制后的坯料进行酸洗，再进行热处理，得到靶材；所述热处理的升温速率为10～50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺，可制备直径在400～1000mm，厚度在6～30mm的大规格靶材，且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20～40％，织构组分分布波动控制在10％以内，能满足28nm及以下制程的半导体应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104532196B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201410754282.4
申请日：2014-12-10
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钽靶材的锻造方法。其特点是，包括如下步骤：首先取钽锭进行一次锻造，然后经过酸洗、热处理后再进行二次锻造，最后再次经过酸洗和热处理即可。本发明通过三向镦粗拔长锻造方法，采用合理的锻造道次压下量和后期热处理工艺，彻底破碎铸晶，解决常规锻造方法中钽靶材晶粒尺寸不均、铸晶残留、以及晶粒尺寸不够小的问题，得到细小均匀的微观组织。主要特点：第一，采用本发明的锻造方法，结合后期的热处理工艺，可以得到细小均匀的微观组织；第二，简化锻造流程，实现了大的锻造加工率，可彻底破碎铸晶，同时减少了锻造缺陷，提高了材料利用率。通过本发明的锻造方法，可以有效保证钽靶材在锻造结束后，获得细小、均匀的微观组织。
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公开(公告)号：CN106756832A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611229097.9
申请日：2016-12-27
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414 , C22F1/18
Abstract: 本发明提供了一种靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将锻造后的坯料酸洗后热处理，所述热处理的升温速率为10～50℃/min；B)将热处理后的坯料放置于轧机的工装上进行轧制；C)将轧制后的坯料进行酸洗，再进行热处理，得到靶材；所述热处理的升温速率为10～50℃/min。本发明通过采用特殊的轧制工装和快速升温热处理工艺，可制备直径在400～1000mm，厚度在6～30mm的大规格靶材，且使该种靶材获得的{111}、{100}织构组分比例控制在20～40％，织构组分分布波动控制在10％以内，能满足28nm及以下制程的半导体应用。
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公开(公告)号：CN102909299B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210291657.9
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B21J5/06
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺，其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径（直径大于等于160mm）钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造，并配以合适的热处理工艺，得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构比例在50％以上，并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN103866244A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210550283.8
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌管状靶材的生产方法，包括以下步骤：将铌管坯进行第一次加热；向加热后的铌管坯表面第一次喷涂玻璃粉；将喷涂玻璃粉后的铌管坯进行热挤压；将热挤压后的铌管坯进行酸洗；将酸洗后的铌管坯进行热处理，得到铌管状靶材。本发明将玻璃粉喷涂至铌管坯的表面，由于玻璃粉导热系数较小，其存在于铌管坯与挤压机工模具接触面之间，形成一层绝热、抗氧化层，从而使铌管坯易于成型；另一方面，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，避免了与铌管坯表面粘连的问题，从而使铌管坯的表面质量较好，同时由于玻璃粉的润滑效果，使铌管状靶材挤压易成型。本发明还提供了一种铌管状靶材。
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公开(公告)号：CN102990216A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210291643.7
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K15/00
Abstract: 本发明涉及一种一次真空将溅射钽环件凸台焊接在环体上的方法，其特征是：首先将凸台和环件分别酸洗，然后将所有凸台固定在环件上，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明采用夹具将凸台和环体进行固定，然后进行电子束焊接，这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接，最大限度的简化了加工工艺，从而大大提高了加工效率，降低了加工成本，同时由于先将凸台全部固定，避免电子束焊接时凸台变形，减少了废品的产生，提高了加工质量。
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