一种3D集成芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN111009520A

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201911154973.X

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本发明适用于半导体芯片技术领域,提供了一种3D集成芯片及其制备方法。其中,所述3D集成芯片包括上下堆叠集成的第一芯片和第二芯片;所述第一芯片的焊盘上制备有焊料凸点;所述第二芯片的芯片表面设置有再布线有机介质层,所述再布线有机介质层上沉积有重布线金属层,所述重布线金属层上设置有外介质层,所述外介质层具有开孔,所述开孔处沉积电镀有新焊盘,所述第二焊盘通过所述重布线金属层与所述第二芯片的原焊盘连接;所述新焊盘与所述焊料凸点之间通过钉头凸点焊接固定。本发明能够有效缓解3D集成芯片堆叠结构的热应力,提升了3D集成芯片的可靠性。

    一种陶瓷气密封装器件及封装方法

    公开(公告)号:CN110943053A

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201911155711.5

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷气密封装器件及封装方法,陶瓷气密封装器件包括:陶瓷基板,设有贯穿所述陶瓷基板的上表面和下表面的通孔,陶瓷基板的通孔内部填充金属,通孔内的金属记为金属柱;芯片,设置在所述陶瓷基板上,芯片的焊盘通过键合线与所述陶瓷基板上的金属柱连接;管帽,设置在陶瓷基板上,管帽与陶瓷基板形成容纳芯片的气密结构;耦合结构,设置在管帽的背面,且位于需要耦合的芯片的上方;散热结构,设置在所述管帽的正面。本发明通过在管帽的正面设置散热结构,提高了散热性,提高了陶瓷封装器件性能;同时在管帽的背面,芯片的上方设置耦合结构,提高了芯片的耦合性,进一步的提高了陶瓷封装器件的性能。

    电子装置封装结构
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109862734A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201811612036.X

    申请日:2018-12-27

    Abstract: 本发明适用于微波多通道装置技术领域,提供一种电子装置封装结构,包括底盒和盖板,底盒包括底板及与底板相连的若干立板,各立板和底板分别围合而成若干腔室,盖板为板体结构,盖板的下侧面对应各立板的位置设有若干第一凹槽,盖板的上侧面对应各立板的位置设有若干第二凹槽,盖板借助第一凹槽和第二凹槽与底盒通过激光焊接密封连接。本发明提供的电子装置封装结构,通过在盖板上下侧面对应底盒立板的位置分别设计凹槽结构,使盖板和底盒可以借助凹槽激光焊接密封连接起来,并使底盒内的腔室密封隔离,隔离效果明显、彻底、可靠,从而避免负公差时因使用铝箔密封而存在铝箔破碎、脱落风险,也避免因为正公差导致盖板出现机械形变的问题。

    无引线陶瓷器件的搪锡去金方法

    公开(公告)号:CN114101833B

    公开(公告)日:2022-11-29

    申请号:CN202111520164.3

    申请日:2021-12-13

    Abstract: 本发明提供了一种无引线陶瓷器件的搪锡去金方法,属于无引线陶瓷技术领域,包括:在具有多个贯通槽的基板上粘贴胶带,且所述胶带覆盖多个所述贯通槽;将多个无引线陶瓷器件对应地放置于多个所述贯通槽内,以使所述无引线陶瓷器件的搪锡面被所述胶带粘接;在所述贯通槽内印刷阻焊胶,以使所述无引线陶瓷器件除所述搪锡面以外的表面被所述阻焊胶覆盖;去除所述胶带,以使所述搪锡面裸露;将所述基板浸入锡槽内并升起,并在升起时吹平所述搪锡面的焊锡;清洗所述基板;将所述无引线陶瓷器件从所述贯通槽内取出。相对于高温烙铁的方式,搪锡效率高,适合批量生产,对无引线陶瓷器件的热冲击较小,减少无引线陶瓷器件的损伤。

    一种3D集成芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN111009520B

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN201911154973.X

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本发明适用于半导体芯片技术领域,提供了一种3D集成芯片及其制备方法。其中,所述3D集成芯片包括上下堆叠集成的第一芯片和第二芯片;所述第一芯片的焊盘上制备有焊料凸点;所述第二芯片的芯片表面设置有再布线有机介质层,所述再布线有机介质层上沉积有重布线金属层,所述重布线金属层上设置有外介质层,所述外介质层具有开孔,所述开孔处沉积电镀有新焊盘,所述第二焊盘通过所述重布线金属层与所述第二芯片的原焊盘连接;所述新焊盘与所述焊料凸点之间通过钉头凸点焊接固定。本发明能够有效缓解3D集成芯片堆叠结构的热应力,提升了3D集成芯片的可靠性。

    抗振三维堆叠电路结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN111029304B

    公开(公告)日:2021-09-14

    申请号:CN201911155672.9

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本发明提供了一种抗振三维堆叠电路结构及其制备方法,属于微电子封装领域,包括封装底板、密封罩设于封装底板上表面并与封装底板配合形成容纳腔的金属外壳、沿上下方向层叠设于容纳腔内的电路基板、设于电路基板上表面上的电路元件及设于相邻电路基板上的第一焊球,位于底层的电路基板与封装底板固定连接,相邻的电路基板之间还设有分别与相邻两个电路基板固接的缓冲胶层,缓冲胶层位于电路元件外侧。本发明提供的抗振三维堆叠电路结构及其制备方法,能有效提高堆叠电路结构的抗震动和抗机械冲击能力,避免焊球焊点开裂,同时避免了缓冲胶层使高频信号传输损耗增加进而导致信号传输性能恶化的问题。

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