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公开(公告)号：CN117395582A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311230661.9
申请日：2023-09-22
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: H04R19/00
Abstract: 本发明涉及一种含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼计算方法，包括：固定平板上均匀打满孔隙结构时，计算固定平板受到的压膜阻尼力Ff；固定平板上不含任何孔隙结构时，计算固定平板受到的压膜阻尼力Fp；将Ff除以Fp得到归一化后的压膜阻尼力 固定平板上均匀打满孔隙结构时，计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sf；将Sf除以固定平板面积Sp得到归一化后的孔径面积的总和 固定平板上打有任意数量n的孔隙结构时，计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sn；将Sn除以Sp得到归一化后的孔径面积的总和 计算含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼力Fn；该方法弥补了传统含孔隙MEMS器件压膜阻尼计算方法的缺陷，突破了经典理论对孔隙结构数量的限制，极大的提升了理论的应用范围。
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公开(公告)号：CN116412837A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310122421.0
申请日：2023-02-16
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种半球谐振陀螺力平衡模式校准电信号的生成方法，获取输入电压信号；将输入电压信号转换成谐振子振动的初始位移信息；对初始位移信息进行迭代计算，直至满足迭代终止条件，得到的最终位移信息；基于初始位移信息和最终位移信息计算半球谐振陀螺的误差；本发明通过利用电压信号转换成位移信息，再对位移信息进行迭代计算，等到趋于稳定后即可得到半球谐振陀螺的误差信息；通过利用电信号可代替模拟转台对半球谐振陀螺进行校验，可以提升校验精度。
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公开(公告)号：CN114859075A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210421743.0
申请日：2022-04-21
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种加速度敏感测量装置及其制造方法，加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架，敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁，悬臂梁一端与敏感质量块连接，悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构，加载机构连接在框架上，框架内设有通槽，敏感质量块可活动地设置在通槽内，框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器，框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置及其制造方法的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度，保证很高的流片率和加工精度。
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公开(公告)号：CN118836840A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410877389.1
申请日：2024-07-02
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C19/5691 , G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本发明实施例公开了一种全角差分调频半球谐振陀螺自激励与自补偿方法。本公开实施例以全角差分调频测控方案为基础，受全角陀螺自激励和驻波自进动实现方式的启发，设计全角差分调频陀螺自激励模块，模拟真实角速度的输入效果，完成虚拟哥氏电压对行波谐振频率的控制和在驻波检测模态上的等效施加，实现行波和驻波自进动，在此基础上设计全角差分调频陀螺力反馈控制模块和力补偿模块，完成谐振子非等阻尼误差的辨识与补偿。该方法通过上述三个模块的设计，初步解决了谐振子非等阻尼误差带来的全角差分调频陀螺角度依赖性零偏，提高了其输出精度和免拆卸自校准能力，为后续其检测、驱动、相位误差的辨识与补偿提供了方法基础和操作空间。
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公开(公告)号：CN117968729A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410032423.5
申请日：2024-01-09
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本公开实施例是关于一种全角陀螺驱动增益倾角非线性误差自标定与自补偿方法。本公开实施例在陀螺自激励操作下，驻波方位角和陀螺敏感角速度输出中将不存在明显的角度依赖性偏差；在静态测漂状态下，陀螺漂移速度输出中将不包含驱动误差引起的、幅度控制力向检测模态耦合产生的角速度漂移误差。该方法有效解决了驱动增益、倾角、非线性误差对全角半球谐振陀螺控制和输出精度的影响，综合提升了全角半球谐振陀螺的动态和静态性能以及其三自能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117521273A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311231567.5
申请日：2023-09-22
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于单元分类模型的穿孔平行平板压膜阻尼求解方法，该方法为：按照边界条件的不同，将穿孔平行平板的单个单元分为三种类型：即四条边都封闭的内部单元；一条边开放，与外界相邻的边单元；以及两条边开放，与外界相邻的角单元；将不同单元类型的压膜阻尼值用内部单元压膜阻尼值进行归一化，得到对应的权重系数，再乘以各自的单元数量，得到总单元数NR；求解单个内部单元的压膜阻尼值Rp，并与单元总数量NR相结合，得到整个穿孔平行平板的修正雷诺方程；本发明为穿孔结构压膜阻尼推导与求解提供了思路。
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公开(公告)号：CN115128800B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210734207.6
申请日：2022-06-27
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本申请涉及一种基于F‑P腔的光学位移敏感单元及逆设计方法。光学位移敏感单元包括光电探测器，所述敏感单元还包括依次沿光路设置的激光器、光隔离器、分光棱镜、光准直器、固定镜和移动镜，固定镜和移动镜形成F‑P腔体。所述逆设计方法通过基于特征矩阵法、混合离散变量优化算法和蒙特卡罗方法的容差分析的逆设计方法设计了具有高光学对比度和大线性范围的锯齿状响应的光位移敏感单元，并通过实验验证了该逆设计实现方法的有效性。同时，该逆设计方法为任意响应的光学位移敏感单元提供了可行有效的设计路径。这种结构紧凑的法布里‑珀罗腔在性能和可行性之间取得了良好的平衡，是一(56)对比文件PENG DAI.Accurate inverse design ofFabry–Perot-cavitybased color filters farbeyond sRGB via a bidirectionalartificial neural network.PhotonicsResearch.2021,全文.李志全,吴朝霞,唐旭晖.双干涉式微位移测量系统的研究与性能改善.传感技术学报.2000,(第03期),1-10.郭海凤;吕莎莎;刘芳;王春;沈辉;李刘锋;陈李生.法布里珀罗腔振动敏感度的分析.中国激光.2012,(第12期),1-10.许素安;钱飞;谢敏;黄艳岩;富雅琼;陈乐;孙坚.激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究.传感技术学报.2013,(第12期),1-10.周浩;苏伟;刘显学;唐海林.基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计.信息与电子工程.2011,(第02期),1-10.
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公开(公告)号：CN113465795B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202110740623.2
申请日：2021-07-01
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01L1/22
Abstract: 本发明提供一种柔性压力传感结构及柔性压力传感器，解决了现有压阻式压力传感器灵敏度随压力增大而降低，稳定型较差的技术问题。该柔性压力传感结构包括导电薄膜以及分别粘接在所述导电薄膜上下表面且面面交错排布的上电极和下电极；柔性压力传感结构在受到压力时，导电薄膜沿与电极平面垂直的方向产生应变，使得电阻增大，即当压力施加在结构上时，上电极作用在导电薄膜上的应力会使薄膜穿过电极间的镂空部分(即间隙)，产生垂直于电极平面的应变，传感单元的电阻随压力的增大而增大。(56)对比文件束逸.基于新型微纳结构的柔性压力传感器基础研究《.中国博士学位论文全文数据库（电子期刊）信息科技辑I140-31》.2016,(第7期),全文.Emil R. Mamleyev等.Flexible Carbon-based Urea Sensor by Laser InducedCarbonisation of Polyimide《.2018International Flexible ElectronicsTechnology Conference (IFETC)》.2018,全文.Hiro Han等.PVDF film microfabrication for the robotics skin sensorhaving flexibility and high sensitivity.《2011 Fifth International Conference onSensing Technology》.2012,全文.Lang Zhou等.Large Scale ArrayVisible-Infrared Converter Based on Free-Standing Flexible CompositeMicrostructures《. 2019 20th InternationalConference on Solid-State Sensors,Actuators and Microsystems & EurosensorsXXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORSXXXIII)》.2019,全文.
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公开(公告)号：CN116448142A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310122424.4
申请日：2023-02-16
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种半球谐振陀螺平衡模式校准方法，获取检测电极的x轴电压值和y轴电压值，并分别解算得到检测电极处谐振子的x轴第一位移值和y轴第一位移值；基于x轴第一位移值和y轴第一位移值、以及前一时刻的同相解调参考信号和正交解调参考信号生成波腹轴信号、波节轴信号、进动角解算信号和频差解算信号；根据波腹轴信号、波节轴信号、进动角解算信号和频差解算信号计算x轴驱动力和y轴驱动力；基于x轴驱动力和y轴驱动力计算x轴第二位移值和y轴第二位移值；根据x轴第一位移值、y轴第一位移值、x轴第二位移值和y轴第二位移值对半球谐振陀螺进行校准；极大地促进了半球谐振陀螺全角模式的检测便捷性和免拆卸自主标定。
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