公开(公告)号：CN117521273A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311231567.5

申请日：2023-09-22

Applicant: 西北工业大学宁波研究院

Inventor： 卢乾波 ,  孙梦奇 ,  贾泽宇 ,  徐翔 ,  王小旭

IPC: G06F30/17 ,  G06F18/15 ,  G06F18/24

Abstract: 本发明涉及一种基于单元分类模型的穿孔平行平板压膜阻尼求解方法，该方法为：按照边界条件的不同，将穿孔平行平板的单个单元分为三种类型：即四条边都封闭的内部单元；一条边开放，与外界相邻的边单元；以及两条边开放，与外界相邻的角单元；将不同单元类型的压膜阻尼值用内部单元压膜阻尼值进行归一化，得到对应的权重系数，再乘以各自的单元数量，得到总单元数NR；求解单个内部单元的压膜阻尼值Rp，并与单元总数量NR相结合，得到整个穿孔平行平板的修正雷诺方程；本发明为穿孔结构压膜阻尼推导与求解提供了思路。

公开(公告)号：CN117454592A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311230706.2

申请日：2023-09-22

Applicant: 西北工业大学宁波研究院

Inventor： 卢乾波 ,  贾泽宇 ,  徐翔 ,  孙梦奇 ,  王小旭

IPC: G06F30/20 ,  B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  G06F17/11 ,  G06F119/14 ,  G06F111/10

Abstract: 本发明涉及一种含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼计算方法，该方法为：将位于MEMS器件中心位置处的中心凸起表面压膜阻尼力与相同位置不含凸起结构时的压膜阻尼力相减，得到中心凸起对MEMS器件整体压膜阻尼造成的增量，用该增量近似表示平均每个凸起结构产生的压膜阻尼增量，并与MEMS器件所含凸起总数相乘得到所有凸起结构产生的总压膜阻尼增量，将不含任何凸起结构的MEMS器件压膜阻尼与总压膜阻尼增量相加得到含微凸起结构MEMS器件的总压膜阻尼值；该计算方法简单高效，能够在保证计算效率的同时精确计算含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼，精准预测此类MEMS结构的动态性能，大大节省计算时间和设计成本。

公开(公告)号：CN117395582A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311230661.9

申请日：2023-09-22

Applicant: 西北工业大学宁波研究院

Inventor： 王小旭 ,  贾泽宇 ,  徐翔 ,  孙梦奇 ,  卢乾波

IPC: H04R19/00

Abstract: 本发明涉及一种含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼计算方法，包括：固定平板上均匀打满孔隙结构时，计算固定平板受到的压膜阻尼力Ff；固定平板上不含任何孔隙结构时，计算固定平板受到的压膜阻尼力Fp；将Ff除以Fp得到归一化后的压膜阻尼力 固定平板上均匀打满孔隙结构时，计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sf；将Sf除以固定平板面积Sp得到归一化后的孔径面积的总和 固定平板上打有任意数量n的孔隙结构时，计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sn；将Sn除以Sp得到归一化后的孔径面积的总和 计算含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼力Fn；该方法弥补了传统含孔隙MEMS器件压膜阻尼计算方法的缺陷，突破了经典理论对孔隙结构数量的限制，极大的提升了理论的应用范围。