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公开(公告)号：CN119939825A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510430826.X
申请日：2025-04-08
Applicant: 西北工业大学宁波研究院 , 西北工业大学
IPC: G06F30/17 , G06F30/27 , G01P15/03 , G06F111/04 , G06F111/06 , G06F111/10 , G06F119/14 , G06N3/006 , G06F3/12
Abstract: 本发明涉及一种光机腔式加速度计设计参数优化方法，使用最优化模型和粒子群优化与差分进化融合算法的结合对光学位移测量单元和微机械加速度敏感单元进行核心参数优化，而粒子群优化与差分进化融合算法专门针对复杂的约束条件，且在计算中不易忽略关键参数，进而不会导致在设计过程中丧失重要的多样性。经过粒子群优化与差分进化融合算法的多次模拟计算与算法寻优,能够确定光机腔式加速度计最优结构参数,从而提升光机腔式加速度计的结构的性能,提升光机腔式加速度计的测量精度。
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公开(公告)号：CN114719741B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210273845.2
申请日：2022-03-19
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法，属于光学干涉检测领域；包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路；所述测试光路包括沿光路依次设置的He‑Ne激光器、线偏振片、二分之一波片、第一四分之一波片、扩束镜和待测样品，用于获得待测信息；所述衍射光路包括沿光路依次设置的缩束镜、高倍物镜、针孔线偏振点衍射板和第一成像透镜，用于获得参考光与被测光；所述移相光路包括沿光路依次设置的第二四分之一波片、第二成像透镜和阵列式偏振相机，用于实现参考光与被测光之间的空间移相，同时形成四幅干涉图像。本发明测量精度高，结构紧凑，抗干扰性好，可实现动态面型的测量。
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公开(公告)号：CN117454592A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311230706.2
申请日：2023-09-22
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: G06F30/20 , B81B7/02 , B81B3/00 , G06F17/11 , G06F119/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明涉及一种含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼计算方法，该方法为：将位于MEMS器件中心位置处的中心凸起表面压膜阻尼力与相同位置不含凸起结构时的压膜阻尼力相减，得到中心凸起对MEMS器件整体压膜阻尼造成的增量，用该增量近似表示平均每个凸起结构产生的压膜阻尼增量，并与MEMS器件所含凸起总数相乘得到所有凸起结构产生的总压膜阻尼增量，将不含任何凸起结构的MEMS器件压膜阻尼与总压膜阻尼增量相加得到含微凸起结构MEMS器件的总压膜阻尼值；该计算方法简单高效，能够在保证计算效率的同时精确计算含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼，精准预测此类MEMS结构的动态性能，大大节省计算时间和设计成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117395582A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311230661.9
申请日：2023-09-22
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: H04R19/00
Abstract: 本发明涉及一种含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼计算方法，包括：固定平板上均匀打满孔隙结构时，计算固定平板受到的压膜阻尼力Ff；固定平板上不含任何孔隙结构时，计算固定平板受到的压膜阻尼力Fp；将Ff除以Fp得到归一化后的压膜阻尼力 固定平板上均匀打满孔隙结构时，计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sf；将Sf除以固定平板面积Sp得到归一化后的孔径面积的总和 固定平板上打有任意数量n的孔隙结构时，计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sn；将Sn除以Sp得到归一化后的孔径面积的总和 计算含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼力Fn；该方法弥补了传统含孔隙MEMS器件压膜阻尼计算方法的缺陷，突破了经典理论对孔隙结构数量的限制，极大的提升了理论的应用范围。
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公开(公告)号：CN114859075A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210421743.0
申请日：2022-04-21
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种加速度敏感测量装置及其制造方法，加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架，敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁，悬臂梁一端与敏感质量块连接，悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构，加载机构连接在框架上，框架内设有通槽，敏感质量块可活动地设置在通槽内，框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器，框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置及其制造方法的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度，保证很高的流片率和加工精度。
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公开(公告)号：CN117521273A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311231567.5
申请日：2023-09-22
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于单元分类模型的穿孔平行平板压膜阻尼求解方法，该方法为：按照边界条件的不同，将穿孔平行平板的单个单元分为三种类型：即四条边都封闭的内部单元；一条边开放，与外界相邻的边单元；以及两条边开放，与外界相邻的角单元；将不同单元类型的压膜阻尼值用内部单元压膜阻尼值进行归一化，得到对应的权重系数，再乘以各自的单元数量，得到总单元数NR；求解单个内部单元的压膜阻尼值Rp，并与单元总数量NR相结合，得到整个穿孔平行平板的修正雷诺方程；本发明为穿孔结构压膜阻尼推导与求解提供了思路。
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公开(公告)号：CN114719741A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210273845.2
申请日：2022-03-19
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法，属于光学干涉检测领域；包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路；所述测试光路包括沿光路依次设置的He‑Ne激光器、线偏振片、二分之一波片、第一四分之一波片、扩束镜和待测样品，用于获得待测信息；所述衍射光路包括沿光路依次设置的缩束镜、高倍物镜、针孔线偏振点衍射板和第一成像透镜，用于获得参考光与被测光；所述移相光路包括沿光路依次设置的第二四分之一波片、第二成像透镜和阵列式偏振相机，用于实现参考光与被测光之间的空间移相，同时形成四幅干涉图像。本发明测量精度高，结构紧凑，抗干扰性好，可实现动态面型的测量。
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公开(公告)号：CN217359951U
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202220928889.X
申请日：2022-04-21
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本实用新型提供了一种加速度敏感测量装置，加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架，敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁，悬臂梁一端与敏感质量块连接，悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构，加载机构连接在框架上，框架内设有通槽，敏感质量块可活动地设置在通槽内，框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器，框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度，保证很高的流片率和加工精度。
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