一种加速度敏感测量装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN114859075A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210421743.0

    申请日:2022-04-21

    Abstract: 本发明提供了一种加速度敏感测量装置及其制造方法,加速度敏感测量装置为无源器件,充当微加速度计中的加速度敏感模块,加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架,敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁,悬臂梁一端与敏感质量块连接,悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构,加载机构连接在框架上,框架内设有通槽,敏感质量块可活动地设置在通槽内,框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器,框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置及其制造方法的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度,保证很高的流片率和加工精度。

    一种加速度敏感测量装置

    公开(公告)号:CN217359951U

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202220928889.X

    申请日:2022-04-21

    Abstract: 本实用新型提供了一种加速度敏感测量装置,加速度敏感测量装置为无源器件,充当微加速度计中的加速度敏感模块,加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架,敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁,悬臂梁一端与敏感质量块连接,悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构,加载机构连接在框架上,框架内设有通槽,敏感质量块可活动地设置在通槽内,框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器,框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度,保证很高的流片率和加工精度。

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