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公开(公告)号：CN114719741A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210273845.2
申请日：2022-03-19
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法，属于光学干涉检测领域；包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路；所述测试光路包括沿光路依次设置的He‑Ne激光器、线偏振片、二分之一波片、第一四分之一波片、扩束镜和待测样品，用于获得待测信息；所述衍射光路包括沿光路依次设置的缩束镜、高倍物镜、针孔线偏振点衍射板和第一成像透镜，用于获得参考光与被测光；所述移相光路包括沿光路依次设置的第二四分之一波片、第二成像透镜和阵列式偏振相机，用于实现参考光与被测光之间的空间移相，同时形成四幅干涉图像。本发明测量精度高，结构紧凑，抗干扰性好，可实现动态面型的测量。
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公开(公告)号：CN114719741B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202210273845.2
申请日：2022-03-19
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法，属于光学干涉检测领域；包括沿光路依次设置的测试光路、衍射光路和移相光路；所述测试光路包括沿光路依次设置的He‑Ne激光器、线偏振片、二分之一波片、第一四分之一波片、扩束镜和待测样品，用于获得待测信息；所述衍射光路包括沿光路依次设置的缩束镜、高倍物镜、针孔线偏振点衍射板和第一成像透镜，用于获得参考光与被测光；所述移相光路包括沿光路依次设置的第二四分之一波片、第二成像透镜和阵列式偏振相机，用于实现参考光与被测光之间的空间移相，同时形成四幅干涉图像。本发明测量精度高，结构紧凑，抗干扰性好，可实现动态面型的测量。
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公开(公告)号：CN115128800B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210734207.6
申请日：2022-06-27
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本申请涉及一种基于F‑P腔的光学位移敏感单元及逆设计方法。光学位移敏感单元包括光电探测器，所述敏感单元还包括依次沿光路设置的激光器、光隔离器、分光棱镜、光准直器、固定镜和移动镜，固定镜和移动镜形成F‑P腔体。所述逆设计方法通过基于特征矩阵法、混合离散变量优化算法和蒙特卡罗方法的容差分析的逆设计方法设计了具有高光学对比度和大线性范围的锯齿状响应的光位移敏感单元，并通过实验验证了该逆设计实现方法的有效性。同时，该逆设计方法为任意响应的光学位移敏感单元提供了可行有效的设计路径。这种结构紧凑的法布里‑珀罗腔在性能和可行性之间取得了良好的平衡，是一(56)对比文件PENG DAI.Accurate inverse design ofFabry–Perot-cavitybased color filters farbeyond sRGB via a bidirectionalartificial neural network.PhotonicsResearch.2021,全文.李志全,吴朝霞,唐旭晖.双干涉式微位移测量系统的研究与性能改善.传感技术学报.2000,(第03期),1-10.郭海凤;吕莎莎;刘芳;王春;沈辉;李刘锋;陈李生.法布里珀罗腔振动敏感度的分析.中国激光.2012,(第12期),1-10.许素安;钱飞;谢敏;黄艳岩;富雅琼;陈乐;孙坚.激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究.传感技术学报.2013,(第12期),1-10.周浩;苏伟;刘显学;唐海林.基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计.信息与电子工程.2011,(第02期),1-10.
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公开(公告)号：CN115128800A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210734207.6
申请日：2022-06-27
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本申请涉及一种基于F‑P腔的光学位移敏感单元及逆设计方法。光学位移敏感单元包括光电探测器，所述敏感单元还包括依次沿光路设置的激光器、光隔离器、分光棱镜、光准直器、固定镜和移动镜，固定镜和移动镜形成F‑P腔体。所述逆设计方法通过基于特征矩阵法、混合离散变量优化算法和蒙特卡罗方法的容差分析的逆设计方法设计了具有高光学对比度和大线性范围的锯齿状响应的光位移敏感单元，并通过实验验证了该逆设计实现方法的有效性。同时，该逆设计方法为任意响应的光学位移敏感单元提供了可行有效的设计路径。这种结构紧凑的法布里‑珀罗腔在性能和可行性之间取得了良好的平衡，是一种很有应用前景的位移传感器候选器件。
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