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公开(公告)号：CN101082592A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200710106524.9
申请日：2007-06-01
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。
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公开(公告)号：CN101058481A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710001928.1
申请日：2003-07-07
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。
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公开(公告)号：CN101053861A
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200710088631.3
申请日：2007-03-16
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种注射泵、使用了注射泵的基板处理装置以及基板处理方法，除去附着在活塞的侧面上的处理液和颗粒，并且能够维持活塞与密封部件之间的润滑性。基板处理装置(1)的注射泵(8)，在缸体(81)的后部侧形成的后方室(85)内，将清洗液供给到活塞(82)的侧面上。因此，在活塞(82)的侧面所附着的抗蚀液和颗粒被清洗液冲洗掉，而被从活塞(82)的侧面除去。此外，向后方室85内供给的清洗液的一部分，附着在第一密封部件(83b)、第二密封部件(87b)、以及活塞(82)的表面上，发挥润滑剂的作用。因此，维持着第一密封部件(83b)以及第二密封部件(87b)与活塞(82)之间的润滑性。
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公开(公告)号：CN101045224A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710084715.X
申请日：2007-02-26
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种喷嘴制造方法及喷嘴。在该喷嘴制造方法中，使具有多个喷出口的原喷嘴对基底构件(51)进行相对移动，并且，使原喷嘴对基底构件(51)进行相对移动的同时，从原喷嘴向基底构件(51)上喷出浆料，同时照射紫外线而使刚刚喷出到基底构件(51)上的浆料固化，由此在基底构件(51)上排列形成多个隔断壁(53)。然后，相对基底构件(51)固定盖构件(54)，从而能够容易地制造具有多个喷出口(52)的喷嘴(5)，其中，上述盖构件(54)与多个隔断壁(53)的顶部(531)相抵接的同时，覆盖多个隔断壁(53)。
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公开(公告)号：CN101043018A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710091808.5
申请日：2007-03-23
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , H01L21/027
CPC classification number: B25B11/005 , H01L21/67103 , H01L21/6838 , H01L21/68735 , H01L21/68742 , H01L21/6875
Abstract: 一种热处理装置，在热处理板的上表面上设置有支撑片。在支撑片的上表面上形成有抵接支撑基板的凸部以及与基板的周缘部相抵接的凸缘部。因为该支撑片通过蚀刻处理而形成，所以凸部的周围成为凹部，不会如激光加工那样使凸部的周围成为开口。利用具有这些热处理板和支撑片的基板支撑结构，而能够适当地支撑基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101034666A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710096850.6
申请日：2004-12-11
Applicant: 日本网目版制造株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67748 , H01L21/67178 , H01L21/67225 , H01L21/67276 , Y10S414/135
Abstract: 形成单一正向路径(第一基板输送路径)，用于在正向输送基板以将基板输送到曝光装置上。形成分开的基板输送路径(第二基板输送路径)，专用于后曝光烘烤(PEB)。沿着每条路径进行基板输送，而与沿着另一条的基板输送无关。将第四主输送机构插入输送点之间作为预定的基板输送机构，该输送点由用作临时存储模组的临时存储基板的缓冲器和对应预定处理单元的后曝光烘烤(PEB)单元组成。这种布置形成用于在缓冲器和PEB单元之间输送基板的路径，以使基板的PEB处理顺利进行。同样，顺利地将基板输送到缓冲器。
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公开(公告)号：CN101028617A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710084320.X
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN100336241C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN03146547.1
申请日：2003-07-07
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。
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公开(公告)号：CN101026115A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710084128.0
申请日：2007-02-16
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: H01L21/66 , H01L21/00 , G01N21/89 , G01N21/896
Abstract: 本发明的基板裂纹检测装置能够以简单且廉价的结构更加可靠地检测搬送中的基板的裂纹。该装置是一种检测由输送机(5)搬送的基板(B)的裂纹的装置，具有基板检测传感器(30A、30B)以及控制部(38)。基板检测传感器(30A、30B)具有传感头(32)以及传感放大器(36)，由上述头部(32)对基板(B)照射光，同时接收其反射光，并从传感放大器输出与该受光状态对应的信号。在基板通过光照射位置期间，控制部基于从传感放大器输出的信号来检测基板的裂纹。此外，在光的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，传感放大器作为信号而输出具有始终比由控制部可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号。
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公开(公告)号：CN100334539C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200510106306.6
申请日：2005-09-21
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 松田隆雄
CPC classification number: G06F3/1212 , G06F3/1256 , G06F3/1288
Abstract: 本发明提供一种控制打印机的打印控制设备，其中该打印控制设备驱使打印机逐份连续打印用于正常用途的打印资料的多份拷贝，该打印资料包含作为一份拷贝的多页纸；该打印控制设备在打印用于正常用途的打印资料的预定份数拷贝时，驱使打印机以该打印资料的页序，打印用作样页的打印资料页；用于正常用途打印的打印资料推向打印机的输出托盘，以及用作样页的打印资料与用于正常用途的打印资料分开推出。
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