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公开(公告)号：CN1841012A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610068377.6
申请日：2006-03-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板的形成了膜的上表面射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其移动载物台；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，通过将从光射出部入射到基板的光相对上表面的入射角θ1设为60°，从而能够使可进行高精度不匀检测的膜厚的范围变大，同时能够防止相对膜厚的反射率的极大点附近区域、即低灵敏度区域的宽度变宽。其结果是能够防止膜厚的变化幅度包含在低灵敏度区域内，并精度较高地检测出微小侧膜厚不匀。
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公开(公告)号：CN100535587C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200610068379.5
申请日：2006-03-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板形成了膜的上表面上射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其使载物台移动；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，在由波段切换机构变更选择光学滤光片时，基于与预先存储在校正信息存储部中的选择波段(被选择的光学条件)对应的校正信息，校正由各光学滤光片的光学特性带来的影响和随着选择波段的变更而产生的线型传感器的CCD灵敏度的偏差的影响之后，进行膜厚不匀的检查，其结果是能够更高精度地检测出膜厚不匀。
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公开(公告)号：CN101082592B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200710106524.9
申请日：2007-06-01
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。
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公开(公告)号：CN1841013A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610068379.5
申请日：2006-03-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板形成了膜的上表面上射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其使载物台移动；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，在由波段切换机构变更选择光学滤光片时，基于与预先存储在校正信息存储部中的选择波段(被选择的光学条件)对应的校正信息，校正由各光学滤光片的光学特性带来的影响和随着选择波段的变更而产生的线型传感器的CCD灵敏度的偏差的影响之后，进行膜厚不匀的检查，其结果是能够更高精度地检测出膜厚不匀。
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公开(公告)号：CN1758021A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510109770.0
申请日：2005-09-20
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种不均检查装置(1)，检查涂敷在基板(9)上的抗蚀剂的浓淡不均，其对基板(9)的拍摄图像进行压缩后进行低通滤波处理，进而通过高通滤波部(4214)进行高通滤波处理。在高通滤波部(4214)，在高通窗口存在于边缘附近时，高通窗口被缩小从而避开成为滤波处理的像素值算出的对象的关注像素所属的区域以外的区域。这样，在不均检查装置(1)中，通过将利用于高通滤波处理的像素组限制为高通窗口内的像素、即实质上关注像素所属的区域内的像素，从而能提高边缘附近的不均检查的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100582655C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200610107520.8
申请日：2006-07-20
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种不均匀检查装置及不均匀检查方法。在该装置(1)中，由光照射部(3)以规定的入射角对基板(9)上的膜(92)照射光线，且在来自光照射部的光线中由膜反射的特定波长的干涉光被摄像部(41)接收，取得表示膜的原始图像。在存储部(6)中，存储有表示灵敏度与特定波长的干涉光的强度的关系的灵敏度信息(61)，通过参照灵敏度信息及原始图像的各像素的像素值对灵敏度依赖于膜厚而变化的影响进行修正的同时，将从原始图像被导出的图像中的规定的空间频率范围的振幅程度作为膜厚不均匀而进行检测，其中，上述灵敏度为特定波长的干涉光的强度变动相对膜厚变动的比率。由此，能够高精度地检查形成在基板上的膜的膜厚不均匀。
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公开(公告)号：CN100427877C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200610068377.6
申请日：2006-03-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板的形成了膜的上表面射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其移动载物台；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，通过将从光射出部入射到基板的光相对上表面的入射角θ1设为60°，从而能够使可进行高精度不匀检测的膜厚的范围变大，同时能够防止相对膜厚的反射率的极大点附近区域、即低灵敏度区域的宽度变宽。其结果是能够防止膜厚的变化幅度包含在低灵敏度区域内，并精度较高地检测出微小侧膜厚不匀。
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公开(公告)号：CN100385200C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200510109770.0
申请日：2005-09-20
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种不均检查装置(1)，检查涂敷在基板(9)上的抗蚀剂的浓淡不均，其对基板(9)的拍摄图像进行压缩后进行低通滤波处理，进而通过高通滤波部(4214)进行高通滤波处理。在高通滤波部(4214)，在高通窗口存在于边缘附近时，高通窗口被缩小从而避开成为滤波处理的像素值算出的对象的关注像素所属的区域以外的区域。这样，在不均检查装置(1)中，通过将利用于高通滤波处理的像素组限制为高通窗口内的像素、即实质上关注像素所属的区域内的像素，从而能提高边缘附近的不均检查的精度。
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公开(公告)号：CN101082592A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200710106524.9
申请日：2007-06-01
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。
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公开(公告)号：CN1904547A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610107520.8
申请日：2006-07-20
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种不均匀检查装置及不均匀检查方法。在该装置(1)中，由光照射部(3)以规定的入射角对基板(9)上的膜(92)照射光线，且在来自光照射部的光线中由膜反射的特定波长的干涉光被摄像部(41)接收，取得表示膜的原始图像。在存储部(6)中，存储有表示灵敏度与特定波长的干涉光的强度的关系的灵敏度信息(61)，通过参照灵敏度信息及原始图像的各像素的像素值对灵敏度依赖于膜厚而变化的影响进行修正的同时，将从原始图像被导出的图像中的规定的空间频率范围的振幅程度作为膜厚不均匀而进行检测，其中，上述灵敏度为特定波长的干涉光的强度变动相对膜厚变动的比率。由此，能够高精度地检查形成在基板上的膜的膜厚不均匀。
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