公开(公告)号：CN101303968B

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：CN200810091639.X

申请日：2008-04-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 富藤幸雄 ,  中田宏幸 ,  松下佳彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  B08B3/02 ,  G03F7/26

Abstract: 一种基板处理装置，其防止附着在喷嘴部件上的处理液滴落到基板上。基板处理装置(1)具有：向输送中基板(S)的上表面从输送方向的上游侧向下游侧沿倾斜方向喷出冲洗液的液刀(16)和具备向该液刀(16)喷射空气的空气喷嘴(32)的气体喷射装置。而且，该基板处理装置(1)以如下方式构成，即，基于控制器(40)的控制，在液刀(16)的下方不存在基板(S)时，从上述空气喷嘴(32)向液刀(16)喷射空气。

公开(公告)号：CN101303968A

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200810091639.X

申请日：2008-04-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 富藤幸雄 ,  中田宏幸 ,  松下佳彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  B08B3/02 ,  G03F7/26

Abstract: 一种基板处理装置，其防止附着在喷嘴部件上的处理液滴落到基板上。基板处理装置(1)具有：向输送中基板(S)的上表面从输送方向的上游侧向下游侧沿倾斜方向喷出冲洗液的液刀(16)和具备向该液刀(16)喷射空气的空气喷嘴(32)的气体喷射装置。而且，该基板处理装置(1)以如下方式构成，即，基于控制器(40)的控制，在液刀(16)的下方不存在基板(S)时，从上述空气喷嘴(32)向液刀(16)喷射空气。

公开(公告)号：CN101026115A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710084128.0

申请日：2007-02-16

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 中原雅尚 ,  中田宏幸

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00 ,  G01N21/89 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明的基板裂纹检测装置能够以简单且廉价的结构更加可靠地检测搬送中的基板的裂纹。该装置是一种检测由输送机(5)搬送的基板(B)的裂纹的装置，具有基板检测传感器(30A、30B)以及控制部(38)。基板检测传感器(30A、30B)具有传感头(32)以及传感放大器(36)，由上述头部(32)对基板(B)照射光，同时接收其反射光，并从传感放大器输出与该受光状态对应的信号。在基板通过光照射位置期间，控制部基于从传感放大器输出的信号来检测基板的裂纹。此外，在光的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，传感放大器作为信号而输出具有始终比由控制部可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号。

公开(公告)号：CN100521137C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200710084128.0

申请日：2007-02-16

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 中原雅尚 ,  中田宏幸

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00 ,  G01N21/89 ,  G01N21/896

Abstract: 本发明的基板裂纹检测装置能够以简单且廉价的结构更加可靠地检测搬送中的基板的裂纹。该装置是一种检测由输送机(5)搬送的基板(B)的裂纹的装置，具有基板检测传感器(30A、30B)以及控制部(38)。基板检测传感器(30A、30B)具有传感头(32)以及传感放大器(36)，由上述头部(32)对基板(B)照射光，同时接收其反射光，并从传感放大器输出与该受光状态对应的信号。在基板通过光照射位置期间，控制部基于从传感放大器输出的信号来检测基板的裂纹。此外，在光的受光状态从存在基板的状态变化为不存在基板的状态时，传感放大器作为信号而输出具有始终比由控制部可处理的最小时间宽度大的时间宽度的信号。