公开(公告)号：CN101303968B

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：CN200810091639.X

申请日：2008-04-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 富藤幸雄 ,  中田宏幸 ,  松下佳彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  B08B3/02 ,  G03F7/26

Abstract: 一种基板处理装置，其防止附着在喷嘴部件上的处理液滴落到基板上。基板处理装置(1)具有：向输送中基板(S)的上表面从输送方向的上游侧向下游侧沿倾斜方向喷出冲洗液的液刀(16)和具备向该液刀(16)喷射空气的空气喷嘴(32)的气体喷射装置。而且，该基板处理装置(1)以如下方式构成，即，基于控制器(40)的控制，在液刀(16)的下方不存在基板(S)时，从上述空气喷嘴(32)向液刀(16)喷射空气。

公开(公告)号：CN101303968A

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200810091639.X

申请日：2008-04-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 富藤幸雄 ,  中田宏幸 ,  松下佳彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  B08B3/02 ,  G03F7/26

Abstract: 一种基板处理装置，其防止附着在喷嘴部件上的处理液滴落到基板上。基板处理装置(1)具有：向输送中基板(S)的上表面从输送方向的上游侧向下游侧沿倾斜方向喷出冲洗液的液刀(16)和具备向该液刀(16)喷射空气的空气喷嘴(32)的气体喷射装置。而且，该基板处理装置(1)以如下方式构成，即，基于控制器(40)的控制，在液刀(16)的下方不存在基板(S)时，从上述空气喷嘴(32)向液刀(16)喷射空气。