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公开(公告)号：CN101028617B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200710084320.X
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN101085438A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710102166.4
申请日：2007-04-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置以及涂布方法，喷嘴从其前端部喷出所述涂布液；载物台，在其上表面上装载基板；喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯载物台面的方向使喷嘴往复移动；箱体，其至少包围载物台而设置；第一供给口设置于箱体的一侧，向所述箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给；第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体空间内供给从循环机构供给的气体。
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公开(公告)号：CN101912833B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010266807.1
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN101912833A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010266807.1
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN1833779A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610054724.X
申请日：2006-03-02
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够由狭缝喷嘴以稳定的涂敷宽度涂敷处理液的技术。本发明的狭缝喷嘴的侧板(721)的下端部(721a)的厚度(d)为0.7mm以下。因此，即使在狭缝喷嘴(42)的移动速度慢的时候、或抗蚀液90的粘度低的时候，能够缩小被涂敷的抗蚀液90向外侧的膨胀宽度。因此，能够抑制抗蚀液90的涂敷宽度的变动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101028617A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710084320.X
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN101085438B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710102166.4
申请日：2007-04-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置以及涂布方法，喷嘴从其前端部喷出所述涂布液；载物台，在其上表面上装载基板；喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯载物台面的方向使喷嘴往复移动；箱体，其至少包围载物台而设置；第一供给口设置于箱体的一侧，向所述箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给；第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体空间内供给从循环机构供给的气体。
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公开(公告)号：CN1939602A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200610138986.4
申请日：2006-09-22
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布系统(1)，具有处理单元组(2)、分度器(3)和多级搬送机械手(4)，处理单元组(2)包括有机EL胶带单元(26)、有机EL涂布单元(24)、和有机EL烘培单元(25)。在涂布系统(1)中，在处理单元组(2)，通过有机EL胶带单元(26)在基板的禁止涂布区域粘贴第二遮蔽胶带，通过有机EL涂布单元(24)在包括禁止涂布区域的基板上的区域涂布有机EL液。并且，通过由流动性材料除去单元即有机EL胶带单元(26)剥离第二遮蔽胶带，从而能容易地得到仅在涂布区域涂布了有机EL液的基板。然后，通过由有机EL烘培单元(25)进行对基板的加热处理，从而有机EL液固定在基板上，而形成了有机EL层。
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公开(公告)号：CN100581657C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200610054724.X
申请日：2006-03-02
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够由狭缝喷嘴以稳定的涂敷宽度涂敷处理液的技术。本发明的狭缝喷嘴的侧板(721)的下端部(721a)的厚度(d)为0.7mm以下。因此，即使在狭缝喷嘴(42)的移动速度慢的时候、或抗蚀液90的粘度低的时候，能够缩小被涂敷的抗蚀液90向外侧的膨胀宽度。因此，能够抑制抗蚀液90的涂敷宽度的变动。
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公开(公告)号：CN100455362C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200510129487.4
申请日：2005-12-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂敷装置，其将有机EL材料或者空穴输送材料的处理液涂敷到基板(7)上。涂敷装置具有：装载基板(7)的载物台(4)；安装在载物台内并加热该载物台的加热器(41)；以将装载在载物台(4)的基板(7)加热到适于涂敷后的搬送的温度的方式控制加热器(41)的控制机构，对装载在载物台(4)的基板(7)喷洒处理液的喷嘴单元(2)。
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